一種提高氧化層去除速率的拋光液的制作方法

本發(fā)明涉及化學(xué)機(jī)械拋光，尤其涉及一種提高氧化層去除速率的拋光液。

背景技術(shù)：

1、隨著半導(dǎo)體、光電顯示及微電子封裝等領(lǐng)域的快速發(fā)展，對(duì)芯片、玻璃基板等材料的表面質(zhì)量要求日益嚴(yán)格，特別是對(duì)氧化層(oxide)的高效去除成為關(guān)鍵工藝之一。

2、oxide拋光液主要用于氧化層材料的化學(xué)機(jī)械拋光(cmp)過(guò)程。通過(guò)cmp工藝，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓表面或其他基材上氧化硅層等材料的精確拋光，以達(dá)到所需的表面平整度和厚度控制。這種拋光液廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)，特別是晶圓制造過(guò)程中，對(duì)提升器件性能和可靠性至關(guān)重要。隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對(duì)oxide拋光液的需求不斷增長(zhǎng)。

3、現(xiàn)有的oxide拋光液在拋光過(guò)程中存在拋光速率較低的問(wèn)題，嚴(yán)重制約了生產(chǎn)效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的發(fā)明目的在于，提供一種提高氧化層去除速率的拋光液，通過(guò)各組分的協(xié)同作用，提高oxide拋光速率。

2、本發(fā)明解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：

3、一種提高氧化層去除速率的拋光液，按照重量份數(shù)計(jì)，包括如下組分：

4、

5、所述溶膠型二氧化硅的粒徑范圍為100-200nm。

6、可選地，所述溶膠型二氧化硅中二氧化硅膠體顆粒的質(zhì)量濃度為20％-50％。

7、可選地，所述溶膠型二氧化硅中二氧化硅膠體顆粒的質(zhì)量濃度為40％

8、可選地，所述速率促進(jìn)劑選自堿金屬氫氧化物、堿金屬碳酸鹽中的至少一種。

9、可選地，所述速率促進(jìn)劑選自氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、碳酸鉀中的至少一種。

10、可選地，所述速率促進(jìn)劑選自氫氧化鉀、碳酸鉀中的至少一種。

11、可選地，所述表面活性劑選自非離子型表面活性劑、兩性型表面活性劑、多元醇型表面活性劑中的至少一種。

12、可選地，所述表面活性劑選自長(zhǎng)鏈脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基酚聚氧乙烯醚、脂肪酸聚氧乙烯酯、聚氧乙烯烷基胺、聚氧乙烯烷基酰胺、聚醚類(lèi)化合物中的至少一種。

13、可選地，所述分散劑選自聚酯型分散劑、聚醚型分散劑、聚氨酯型分散劑、多嵌段共聚物分散劑、非離子型聚合物分散劑、高分子量分散劑中的至少一種。

14、可選地，所述分散劑為聚乙二醇。

15、本發(fā)明的有益效果是：

16、本發(fā)明提供的提高氧化層去除速率的拋光液，憑借其獨(dú)特的成分組合和優(yōu)異的性能表現(xiàn)，用作oxide拋光液時(shí)，在去除速率、表面粗糙度、表面顆粒控制等方面均展現(xiàn)出顯著優(yōu)勢(shì)。該拋光液不僅能夠提高拋光效率和質(zhì)量，還能降低生產(chǎn)成本和環(huán)境污染，具有廣泛的應(yīng)用前景和市場(chǎng)價(jià)值。

技術(shù)特征：

1.一種提高氧化層去除速率的拋光液，其特征在于，按照重量份數(shù)計(jì)，包括如下組分：

2.如權(quán)利要求1所述的提高氧化層去除速率的拋光液，其特征在于，所述溶膠型二氧化硅中二氧化硅膠體顆粒的質(zhì)量濃度為20％-50％。

3.如權(quán)利要求2所述的提高氧化層去除速率的拋光液，其特征在于，所述溶膠型二氧化硅中二氧化硅膠體顆粒的質(zhì)量濃度為40％。

4.如權(quán)利要求1所述的提高氧化層去除速率的拋光液，其特征在于，所述速率促進(jìn)劑選自堿金屬氫氧化物、堿金屬碳酸鹽中的至少一種。

5.如權(quán)利要求4所述的提高氧化層去除速率的拋光液，其特征在于，所述速率促進(jìn)劑選自氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、碳酸鉀中的至少一種。

6.如權(quán)利要求5所述的提高氧化層去除速率的拋光液，其特征在于，所述速率促進(jìn)劑選自氫氧化鉀、碳酸鉀中的至少一種。

7.如權(quán)利要求1所述的提高氧化層去除速率的拋光液，其特征在于，所述表面活性劑選自非離子型表面活性劑、兩性型表面活性劑、多元醇型表面活性劑中的至少一種。

8.如權(quán)利要求7所述的提高氧化層去除速率的拋光液，其特征在于，所述表面活性劑選自長(zhǎng)鏈脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基酚聚氧乙烯醚、脂肪酸聚氧乙烯酯、聚氧乙烯烷基胺、聚氧乙烯烷基酰胺、聚醚類(lèi)化合物中的至少一種。

9.如權(quán)利要求1所述的提高氧化層去除速率的拋光液，其特征在于，所述分散劑選自聚酯型分散劑、聚醚型分散劑、聚氨酯型分散劑、多嵌段共聚物分散劑、非離子型聚合物分散劑、高分子量分散劑中的至少一種。

10.如權(quán)利要求1所述的提高氧化層去除速率的拋光液，其特征在于，所述分散劑為聚乙二醇。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種提高氧化層去除速率的拋光液，按照重量份數(shù)計(jì)，包括如下組分：溶膠型二氧化硅75?85份；速率促進(jìn)劑0.01?20份；表面活性劑0.01?0.5份；分散劑0.01?0.5份；水15?25份；所述溶膠型二氧化硅的粒徑范圍為100?200nm。本發(fā)明提供的提高氧化層去除速率的拋光液，憑借其獨(dú)特的成分組合和優(yōu)異的性能表現(xiàn)，用作OXIDE拋光液時(shí)，在去除速率、表面粗糙度、表面顆?？刂频确矫婢宫F(xiàn)出顯著優(yōu)勢(shì)。該拋光液不僅能夠提高拋光效率和質(zhì)量，還能降低生產(chǎn)成本和環(huán)境污染，具有廣泛的應(yīng)用前景和市場(chǎng)價(jià)值。

技術(shù)研發(fā)人員：徐志國(guó),褚鑫,李星,李仕權(quán)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇山水半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/30