一種防腐抗摩擦的機械設備拋光液的制作方法
【專利摘要】本發明公開了一種防腐抗摩擦的機械設備拋光液，其特征在于，包括下列重量份數的物質：水楊酸鈉2-6份，醋酸鈉20-35份，草酸鈉8-10份，苯甲酸鈉2-8份，EDTA1-5份，氧化鋅3-5份，鋅粉1-2份，氧化鉛1-2份，酒石酸1-3份，羥乙基纖維素7-13份，苯甲酸甲酯1-3份，液體石酯8-13份，硬脂酸3-8份，硬脂酸鹽1-7份，甲基硅油4-9份，聚乙烯醇5-9份，硼酸鈉2-4份，片層結構的云母粉2-3份，空心玻璃微珠1-2份。本發明的化學機械拋光液可抑制低介電材料的拋光速率，而對銅和二氧化硅的去除速率影響不大，同時可減少被拋光材料的表面污染物。
【專利說明】一種防腐抗摩擦的機械設備拋光液
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種防腐抗摩擦的機械設備拋光液。
【背景技術】
[0002]傳統介電層材料由于具有較高的介電常數，會導致傳導層之間電容增大，從而影響集成電路的速度，使效率降低，隨著集成電路的復雜化和精細化，這種基底材料越發不能滿足更先進制程的技術要求，在襯底中引入低介電材料是集成電路技術發展的必然趨勢，隨之產生了許多用于低介電材料的拋光衆液。但目前現有技術中的低介電材料拋光液都沒有達到制造成本和技術表現的完美結合。
【發明內容】
[0003]本發明所要解決的技術問題是提供一種防腐抗摩擦的機械設備拋光液。
[0004]為解決上述技術問題，本發明采用的技術方案是:
一種防腐抗摩擦的機械設備拋光液，其特征在于，包括下列重量份數的物質:水楊酸鈉2-6份，醋酸鈉20-35份，草酸鈉8-10份，苯甲酸鈉2-8份，EDTA1-5份，氧化鋅3-5份，鋅粉
1-2份，氧化鉛1-2份，酒石酸1-3份，羥乙基纖維素7-13份，苯甲酸甲酯1-3份，液體石酯8-13份，硬脂酸3-8份，硬脂酸鹽1-7份，甲基硅油4-9份，聚乙烯醇5-9份，硼酸鈉2-4份，片層結構的云母粉2- 3份，空心玻璃微珠1-2份。
[0005]本發明的化學機械拋光液可抑制低介電材料的拋光速率，而對銅和二氧化娃的去除速率影響不大，同時可減少被拋光材料的表面污染物。
【具體實施方式】
[0006]實施例1
一種防腐抗摩擦的機械設備拋光液，其特征在于，包括下列重量份數的物質:水楊酸鈉
2-6份，醋酸鈉20-35份，草酸鈉8-10份，苯甲酸鈉2-8份，EDTA1-5份，氧化鋅3-5份，鋅粉1-2份，氧化鉛1-2份，酒石酸1-3份，羥乙基纖維素7-13份，苯甲酸甲酯1-3份，液體石酯8-13份，硬脂酸3-8份，硬脂酸鹽1-7份，甲基硅油4-9份，聚乙烯醇5-9份，硼酸鈉2-4份，片層結構的云母粉2-3份，空心玻璃微珠1-2份。
【權利要求】
1.一種防腐抗摩擦的機械設備拋光液，其特征在于，包括下列重量份數的物質:水楊酸鈉2-6份，醋酸鈉20-35份，草酸鈉8-10份，苯甲酸鈉2-8份，EDTA1-5份，氧化鋅3-5份，鋅粉1-2份，氧化鉛1-2份，酒石酸1-3份，羥乙基纖維素7-13份，苯甲酸甲酯1-3份，液體石酯8-13份，硬脂酸3-8份，硬脂酸鹽1-7份，甲基硅油4-9份，聚乙烯醇5-9份，硼酸鈉2-4 份，片層結構的云母粉2-3份，空心玻璃微珠1-2份。
【文檔編號】C09G1/02GK104046262SQ201410291898
【公開日】2014年9月17日 申請日期:2014年6月26日 優先權日:2014年6月26日
【發明者】范向奎 申請人:青島寶泰新能源科技有限公司