噴霧噴嘴單元的制作方法
【專利摘要】本發明公開了一種噴霧噴嘴單元，該噴霧噴嘴單元包括：噴嘴主體、密封構件、墊圈構件、及彈簧構件。噴嘴主體包括噴霧孔，該噴霧孔內部地形成為豎直地穿透噴嘴主體并且蒸發的原材料經過該噴霧孔，并且該噴嘴主體穿透地聯接至容置有原材料的腔室的外壁。密封構件安裝在噴嘴主體與腔室的外壁之間，并且將噴嘴主體與腔室的外壁之間氣密地密封住以防止蒸發的原材料在噴嘴主體與腔室的外壁之間泄漏。墊圈構件聯接至噴嘴主體的放置于腔室的內部的下端部分。彈簧構件安裝在墊圈構件與腔室的外壁的內表面之間，并且朝向腔室的外壁和墊圈構件彈性地偏壓，使得噴嘴主體可緊密地接觸該腔室的外壁。
【專利說明】噴霧噴嘴單元
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種噴霧噴嘴單元，并且更具體地，涉及一種將蒸發的原材料噴灑到基片上以便將該原材料以薄膜的形式沉積在該基片上的噴霧噴嘴。
【背景技術】
[0002]可單獨地發光的有機發光顯示設備包括有機發光裝置，該有機發光裝置以矩陣的形式連接在掃描線與數據線之間以形成像素。該有機發光裝置包括陽極電極、陰極電極、和有機薄膜層，該有機薄膜層形成在陽極電極與陰極電極之間并包括電洞傳遞層(holetransfer layer)、有機發光層、和電子傳遞層。
[0003]與無機材料不同，在沉積該有機薄膜層的過程中所使用的有機材料并不需要高蒸汽壓力，而是在高溫下是易于被分解和變質的。由于這種材料的特性，該有機薄膜通過下述方式沉積在基片上:為由鎢、鈦、不銹鋼(SUS)等制成的容器填充該有機材料，并且對該容器加熱以使該有機材料蒸發。
[0004]將被蒸發以用于沉積該有機薄膜層的原材料均勻地噴灑到該基片上。為此，噴霧噴嘴聯接至容置有蒸發的原材料的容器的外壁，并且該容器中的原材料通過該噴霧噴嘴并由此被蒸發到該基片上。
[0005]圖1是示出了常規噴霧噴嘴的示例的視圖。參照圖1，常規噴霧噴嘴10通過螺紋聯接部分12等聯接至腔室20的外壁21。
[0006]由于腔室20和噴霧噴嘴10接觸通過噴霧孔11的蒸發的原材料，因此，該腔室20和噴霧噴嘴10由于在沉積過程期間從蒸發的原材料傳遞的熱量而具有高溫，并且當沉積過程完成時，該腔室20和噴霧噴嘴10返回至低溫。當該沉積過程反復進行時，腔室20和噴霧噴嘴10由于熱量而受到在膨脹和收縮之間交替的反復性的載荷。這種由于加熱而造成的反復性的載荷可能使將噴霧噴嘴10聯接至該腔室的外壁21的螺紋聯接部分12變松或者破裂，并且可能在噴霧噴嘴10與腔室的外壁21之間導致微小的裂縫。
[0007]在噴霧噴嘴與腔室之間的聯接部分中發生的前述損壞可能導致腔室內部的蒸發的原材料通過已損壞的部分泄漏，從而不僅損失昂貴的原材料而且也由于泄漏的原材料污染了除基片以外的其它區域。
【發明內容】
[0008]因此，本發明設想來解決前述問題，并且本發明的一方面提供了一種噴霧噴嘴單元，其中，用于噴灑蒸發的原材料的噴霧噴嘴和容置有原材料的腔室被密封住而不會受損，使得可防止昂貴的原材料泄漏，從而降低生產成本，并且可防止原材料沉積在除基片以外的區域以由此防止由于原材料而導致的污染。
[0009]根據本發明的一方面，提供了一種噴霧噴嘴單元，其包括:噴嘴主體，該噴嘴主體包括噴霧孔，該噴霧孔內部地形成為豎直地穿透噴嘴主體并且蒸發的原材料經過該噴霧孔，并且該噴嘴主體穿透地聯接至容置有原材料的腔室的外壁；密封構件，該密封構件安裝在噴嘴主體與腔室的外壁之間，并且將噴嘴主體與腔室的外壁之間氣密地密封住以防止蒸發的原材料在噴嘴主體與腔室的外壁之間泄漏；墊圈構件，該墊圈構件聯接至噴嘴主體的放置在腔室的內部的下端部分；以及彈簧構件，該彈簧構件安裝在墊圈構件與腔室的外壁的內表面之間，并且朝向腔室的外壁和墊圈構件彈性地偏壓，使得噴嘴主體可緊密地接觸該腔室的外壁。
[0010]噴嘴主體可包括:第一主體,該第一主體插置在形成于腔室的外壁中的通孔中并且朝向腔室的內部突出；以及第二主體，該第二主體設置在第一主體的上部部分中，并且該第二主體具有比第一主體大的截面面積并且該第二主體朝向腔室的外部突出。
[0011]密封構件可包括:第一密封構件，該第一密封構件安裝在第二主體與腔室的外壁的外表面之間；以及第二密封構件，該第二密封構件安裝在彈簧構件與腔室的外壁的內表面之間。
[0012]墊圈構件可形成為具有“U”形形狀，噴嘴主體的下端部分可形成有從噴嘴主體的橫向側部凹陷的并且面朝彼此相反的方向的一對凹陷部分，并且墊圈構件與噴嘴主體可以以將墊圈構件裝配至凹陷部分的方式聯接。
[0013]密封構件可由銅材料制成。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0014]結合附圖根據對示例性的實施方式進行的下列描述，本發明的上述和/或其它部分將變得清楚并且更容易被理解，其中:
[0015]圖1為示出了常規噴霧噴嘴的示例的視圖；
[0016]圖2為示出了根據本發明的實施方式的噴霧噴嘴單元的視圖；及
[0017]圖3為示出了將圖2的噴霧噴嘴單元的噴嘴主體與墊圈構件裝配在一起的視圖。
【具體實施方式】
[0018]下面，將參照附圖對根據本發明的噴霧噴嘴單元的實施方式進行描述。
[0019]圖2為示出了根據本發明的實施方式的噴霧噴嘴單元的視圖；并且圖3為示出了將圖2的噴霧噴嘴單元的噴嘴主體與墊圈構件裝配在一起的視圖。
[0020]參照圖2和圖3，根據本實施方式的噴射噴嘴單元100使蒸發的原材料噴灑在基片上以便將原材料以薄膜的形式沉積到基片上，該噴霧噴嘴單元100包括:噴嘴主體110、密封構件120、墊圈構件130、及彈簧構件140。
[0021]用于將腔室20內部蒸發的原材料傳遞并噴灑到基片上的噴嘴主體110聯接成穿透容置原材料的腔室20的外壁21。在該實施方式中，該噴嘴主體110包括噴霧孔111、第一主體112、及第二主體113。
[0022]噴霧孔111形成為豎直地穿透該噴嘴主體110的內部，使得容置在腔室20中的蒸發的原材料可通過穿過噴霧孔111而被噴灑到基片上。容置在腔室20中的蒸發的原材料通過噴霧孔111并且隨后被噴灑到基片上。噴霧孔111的上端部分是錐形的以便擴散該原材料。
[0023]第一主體112插置在形成于腔室的外壁21上的通孔23中，并且朝向腔室的內部22突出。[0024]第二主體113設置在第一主體112的上部部分中，并且具有比第一主體112大的截面面積。例如，第一主體112和第二主體113成形為類似于圓柱，并且第二主體113的直徑比第一主體112的直徑大，使得第二主體113的截面面積大于第一主體112的截面面積。因此，第二主體113并不插置在形成于腔室的外壁21上的通孔23中，而是當噴嘴主體110聯接至腔室20的外壁21時暴露在腔室20的外側。
[0025]密封構件120將噴嘴主體110與腔室20的外壁21之間密封住，使得蒸發的原材料不能在噴嘴主體110與腔室20的外壁21之間泄漏。密封構件120設置在噴嘴主體110與腔室的外壁21之間。在本實施方式中，密封構件120包括第一密封構件121和第二密封構件122。
[0026]第一密封構件121捕捉在形成于第一主體112與第二主體113之間的突出部分中，并且安裝在第二主體113與腔室的外壁的外表面21a之間，從而防止蒸發的原材料通過腔室20的外壁21泄漏。
[0027]第二密封構件122安裝在彈簧構件140與腔室的外壁的內表面21b之間，從而防止腔室20內部的蒸發的原材料進入腔室的外壁的通孔23。由于附加地設置了第二密封構件122，因此，確保防止原材料通過腔室的外壁的通孔23泄漏。
[0028]在本實施方式中，密封構件120可以由金屬的并且具有高熱傳導性的銅制成。由銅制成的密封構件120是很軟的，使得當該密封構件120由于彈簧構件140的彈性而被噴嘴主體110按壓時，該密封能夠是更為有效的。
[0029]墊圈構件130聯接至噴嘴主體110的放置在腔室的內部22中的下端部分110b，并且支承該彈簧構件140。
[0030]參照圖3，噴嘴主體110的放置在腔室的內部22中的下端部分110b、即第一主體112的下端部分形成有從橫向側部凹陷的一對凹陷部分114。這對凹陷部分114形成為面向彼此相反的方向、即在周向方向上間隔開180度。
[0031]在本實施方式中，墊圈構件130形成為具有“U”形形狀。當將該墊圈構件130裝配到形成在噴嘴主體Iio的下端部分IlOb中的一對凹陷部分114中時，該墊圈構件130與噴嘴主體110相聯接。
[0032]彈簧構件140迫壓噴嘴主體110以緊密地接觸該腔室的外壁21。
[0033]彈簧構件140安裝在墊圈構件130與腔室的外壁的內表面21b之間，并且在其一端由腔室的外壁21支承的狀態下被朝向墊圈構件130彈性地偏壓。由此，噴嘴主體110被朝向腔室的內部22迫壓，使得第二主體113可緊密地接觸該腔室的外壁的外表面21a。當第二主體113緊密地接觸該腔室的外壁的外表面21a時，第一密封構件121被按壓，從而完成了第二主體113與腔室20的外壁21之間的氣密密封。
[0034]另外，彈簧構件140被朝向腔室的外壁的內表面21b彈性地偏壓，使得第二密封構件122可緊密地接觸該腔室的外壁的內表面21b，從而完成了第一主體112與腔室20的外壁21之間的氣密密封。
[0035]在根據一種實施方式的具有前述結構的噴霧噴嘴單元中，密封構件插置在噴嘴主體與腔室的外壁之間，并且彈簧構件的彈性用于按壓該密封構件，使得將噴嘴主體與腔室的外壁之間密封住，從而即使長期使用也防止在噴霧噴嘴與腔室之間形成原材料可能通過其泄漏的裂縫。因此，可防止昂貴的原材料泄漏，從而降低生產成本，并且可防止原材料沉積到除基片以外的區域上以由此防止由于原材料而產生的污染。
[0036]另外，在根據一種實施方式的具有前述結構的噴霧噴嘴單元中，密封構件分別安裝至腔室的外壁的外表面和內表面，從而在提高防止原材料從腔室泄漏的密封效率方面產生效果。
[0037]另外，在根據一種實施方式的具有前述結構的噴霧噴嘴單元中，由相對軟的銅制成的密封構件被彈簧構件的彈性輕微地按壓，從而在氣密地密封住形成在噴嘴主體與腔室的外壁的通孔之間的裂縫方面產生效果。
[0038]圖2的實施方式示出了第一主體和第二主體被成形為類似于圓柱，但是并不限于此。作為選擇，第一主體和第二主體兩者都可被成形為類似于多棱柱。作為選擇，第一主體和第二主體中的一個可以被成形為類似于多棱柱，并且另一個被成形為類似于圓柱。
[0039]圖2的實施方式示出了墊圈構件和噴嘴主體以具有“U”形形狀的墊圈構件裝配至噴嘴主體的凹陷部分的方式聯接，但是不限于此。作為選擇，墊圈構件和噴嘴主體以下述方式聯接:墊圈構件和噴嘴主體的下端部分以螺紋或多種其它方法聯接。
[0040]在根據一種實施方式的噴霧噴嘴單元中，即使長時間使用也防止在噴霧噴嘴與腔室之間形成原材料可能通過其泄漏的裂縫，使得可防止昂貴的原材料泄漏，從而降低了生產成本，并且可防止原材料沉積到除基片之外的區域上以由此防止由于原材料而導致的污染。
[0041]另外，在根據一種實施方式的噴霧噴嘴單元中，提高用于防止原材料從腔室泄漏的氣密密封的效率是可能的。
[0042]另外，在根據一種實施方式的噴霧噴嘴單元中，使由于加熱和冷卻而導致的熱變形最小化從而防止噴嘴受損是可能的。
[0043]另外，在根據一種實施方式的噴霧噴嘴單元中，有助于受損的噴嘴的維修是可能的。
[0044]另外，在根據一種實施方式的噴霧噴嘴單元中，將噴嘴主體與腔室的外壁的通孔之間的裂縫氣密地密封住是可能的。
[0045]盡管已經示出和描述了本發明的一些示例性實施方式，但對于所屬領域技術人員而言將會明白的是，在不背離本發明的原理和精神的情況下可在這些實施方式中做出改變，本發明的范圍限定在所附權利要求及其等效物中。
【權利要求】
1.一種噴霧噴嘴單元，包括: 噴嘴主體，所述噴嘴主體包括噴霧孔，所述噴霧孔內部地形成為豎直地穿透所述噴嘴主體并且蒸發的原材料經過所述噴霧孔，并且所述噴嘴主體穿透地聯接至容置有所述原材料的腔室的外壁； 密封構件，所述密封構件安裝在所述噴嘴主體與所述腔室的所述外壁之間，并且將所述噴嘴主體與所述腔室的所述外壁之間氣密地密封住以防止所述蒸發的原材料在所述噴嘴主體與所述腔室的所述外壁之間泄漏； 墊圈構件，所述墊圈構件聯接至所述噴嘴主體的放置在所述腔室的內部的下端部分；以及 彈簧構件，所述彈簧構件安裝在所述墊圈構件與所述腔室的所述外壁的內表面之間，并且所述彈簧構件朝向所述腔室的所述外壁和所述墊圈構件彈性地偏壓，使得所述噴嘴主體能夠緊密地接觸所述腔室的所述外壁。
2.根據權利要求1所述的噴霧噴嘴單元，其中，所述噴嘴主體包括:第一主體，所述第一主體插置在形成于所述腔室的所述外壁中的通孔中并且朝向所述腔室的內部突出；以及第二主體，所述第二主體設置在所述第一主體的上部部分中，所述第二主體具有比所述第一主體大的截面面積并且所述第二主體朝向所述腔室的外部突出。
3.根據權利要求2所述的噴霧噴嘴單元，其中，所述密封構件包括:第一密封構件，所述第一密封構件安裝在所述第二主體與所述腔室的所述外壁的外表面之間；以及第二密封構件，所述第二密封構件安裝在所述彈簧構件與所述腔室的所述外壁的內表面之間。
4.根據權利要求1所述的噴霧噴嘴單元，其中， 所述墊圈構件形成為具有“U”形形狀； 所述噴嘴主體的所述下端部分形成有從所述噴嘴主體的橫向側部凹陷的并且面朝彼此相反的方向的一對凹陷部分；以及 所述墊圈構件和所述噴嘴主體以將所述墊圈構件裝配至所述凹陷部分的方式聯接。
5.根據權利要求1所述的噴霧噴嘴單元，其中，所述密封構件包括銅材料。
【文檔編號】B05B15/00GK103623962SQ201310367263
【公開日】2014年3月12日 申請日期:2013年8月21日 優先權日:2012年8月22日
【發明者】鄭基澤, 崔虎重, 姜明成, 宋旭 申請人:Snu 精密股份有限公司