專利名稱:一種有蠟加工晶片用粘結劑及其制備方法
技術領域:
本發明涉及一種粘結劑及其制備方法,尤其是涉及一種有蠟加工晶片用粘結劑及 其制備方法。
背景技術:
多種粘結劑可應用于晶片加工過程,但由于均存在很大的缺陷,而無法得到大規 模生產的應用價值,如無機粘結劑,雖然耐高溫,抗老化性好,但是耐酸堿性差;有機粘結 劑,雖然各項性能均很優越,但由于價格昂貴,無法商業化使用。目前,半導體粘結蠟由于性能較好,價格適中,因此使用比較普遍。但是,在對晶 片進行拋光加工或者其他晶面的加工過程中,使用的半導體粘結蠟,熔點低,大多熔點為 45-70°C之間,并且熔點固定,可選擇性差,對于實際應用存在很大限制,無法滿足晶片加工 的特殊需要。
發明內容
本發明的目的在于克服現有技術的困難,提供一種熔點在70°C 130°C的較寬范 圍內的有蠟加工晶片用粘結劑及其制備方法。該粘結劑可以通過改變原料的投放比例來調 節粘結劑熔點,從而達到應用所需的熔點溫度。另外,對該粘結劑利用模具來加工成型,可 以通過改變模具的尺寸和形狀來滿足在實際生產中的各種應用需要,并且成型后的粘結劑 易于存放,能夠廣泛應用于晶片加工過程,從而達到提高粘結劑的粘結效果并且有效提高 晶片加工的效率。本發明的目的是通過下述方式實現的本發明涉及一種有蠟加工晶片用粘結劑,該粘結劑主要由石蠟、松香和蟲膠 (又稱紫膠)組成,其中石蠟的質量百分比在20% -50%范圍內,松香的質量百分比在 40%-75%范圍內,蟲膠的質量百分比在5%-20%范圍內。其中主要由石蠟、松香和蟲膠所 組成的所述粘結劑的熔點在70°C -130°C范圍內,并且能夠根據石蠟、松香和蟲膠的配比調 節粘結劑的熔點。本發明涉及一種有蠟加工晶片用粘結劑的制備方法,所述粘結劑主要由石蠟、松 香和蟲膠組成,所述方法包括如下步驟將石蠟、松香和蟲膠按配比混合置于容器中;將容 器內的石蠟、松香和蟲膠加熱溶解并攪拌均勻形成熔融體;將攪拌均勻的熔融體靜置分層, 分層后上層為透明液體;制作具有一定形狀的模具;準備冷卻液;將模具置于冷卻液中;從 分層后的熔融體中取上層透明液體置于模具中凝固成形。優選將石蠟、松香、蟲膠按20 50 40 75 5 20的質量比配比混合置于容器中,冷卻液優選為冰水混合物。
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該粘結劑以及成型后的粘結劑具有以下優點通過改變原料的投放比例,能夠調節粘結劑熔點在70°C 130°C范圍內,尤其是 80°C 120°C范圍內,特別是90°C 110°C范圍內。該粘結劑的熔點比現在行業中的半導體 粘結蠟熔點高,并且能夠調節熔點,更能滿足晶片加工過程的需要利用模具使得粘結劑加工成型,可以通過改變模具的尺寸及形狀,來滿足在實際 生產中的各種應用需要,并且成型后的粘結劑易于存放,能夠提高晶片加工效率。該粘結劑制備方法簡單,可實施性強,主要原料比較普遍,容易獲得,價格便宜,可 應用于商業化生產中。
圖1為有蠟加工晶片用粘結劑的制備工藝圖。
具體實施例方式下面通過實施例來進一步描述本發明,但實際可實現的工藝不限于這些實施例。一種有蠟加工晶片用粘結劑,該粘結劑主要由石蠟、松香和蟲膠組成,其中石蠟 的質量百分比在20% -50%范圍內,松香的質量百分比在40% -75%范圍內,蟲膠的質量 百分比在5% -20%范圍內。其中主要由石蠟、松香和蟲膠所組成的所述粘結劑的熔點在 70°C-13(TC范圍內,并且能夠根據石蠟、松香和蟲膠的配比調節粘結劑的熔點。一種有蠟加工晶片用粘結劑的制備方法,所述粘結劑主要由石蠟、松香和蟲膠組 成,所述方法包括如下步驟將石蠟、松香和蟲膠按配比混合置于容器中;將容器內的石 蠟、松香和蟲膠加熱溶解并攪拌均勻形成熔融體;將攪拌均勻的熔融體靜置分層,分層后上 層為透明液體;制作具有一定形狀的模具;準備冷卻液;將模具置于冷卻液中;從分層后的 熔融體中取上層透明液體置于模具中凝固成形。優選將石蠟、松香、蟲膠按20 50 40 75 5 20的質量比配比混合置于容器中,冷卻液優選為冰水混合物。在圖1中具有一定 形狀的模具可選為圓柱型模具。需要說明的是,雖然在實施例中都使用了冰水混合物作為 冷卻源,但是在實際使用中任何能夠起到有效降低模具溫度作用的介質或者方式都可以應 用到該發明中,并不限于使用冰水混合物作為冷卻液。實施例1 把石蠟、松香、蟲膠按20 75 5的質量比,放置在一個可加熱的容器中用電爐 進行加熱熔解。加熱30分鐘,使三種固體均勻熔解成液態,熔解過程中需要攪拌,混合均 勻。將攪拌均勻的熔融體靜置分層,分層后上層為透明液體。在一個大容器中盛滿去離子 水,加入少許冰,成冰水混合物。制備粘結劑模具為圓柱型,直徑按照晶片加工需要選定。模具封口端放入冰水混 合物中,將液態的混合均勻的原料注入模具中,冷卻靜置,凝固即可(裝置如圖1所示)。制 備成型的粘結劑熔點在70°C 90°C之間。實施例2 把石蠟、松香、蟲膠按50 40 10的質量比,放置在一個可加熱的容器中用電爐 進行加熱熔解。加熱35分鐘,使三種固體均勻熔解成液態,熔解過程中需要攪拌,混合均 勻。將攪拌均勻的熔融體靜置分層,分層后上層為透明液體。在一個大容器中盛滿去離子水,加入少許冰,成冰水混合物。制備粘結劑模具為圓柱型,直徑按照晶片加工需要選定。模具封口端放入冰水混 合物中,將液態的混合均勻的原料注入模具中,冷卻靜置,凝固即可(裝置如圖1所示)。制 備成型的粘結劑熔點在9o°c iio°c之間。實施例3 把石蠟、松香、蟲膠按30 50 20的質量比,放置在一個可加熱的容器中用電爐 進行加熱熔解。加熱40分鐘,使三種固體均勻熔解成液態,熔解過程中需要攪拌,混合均 勻。將攪拌均勻的熔融體靜置分層,分層后上層為透明液體。在一個大容器中盛滿去離子 水,加入少許冰,成冰水混合物。制備粘結劑模具為圓柱型,直徑按照晶片加工需要選定。模具封口端放入冰水混 合物中,將液態的混合均勻的原料注入模具中,冷卻靜置,凝固即可(裝置如圖1所示)。制 備成型的粘結劑熔點在iio°c i3o°c之間。實施例4 把石蠟、松香、蟲膠按40 50 10的質量比,放置在一個可加熱的容器中用電爐 進行加熱熔解。加熱25分鐘,使三種固體均勻熔解成液態,熔解過程中需要攪拌,混合均 勻。將攪拌均勻的熔融體靜置分層,分層后上層為透明液體。在一個大容器中盛滿去離子 水,加入少許冰,成冰水混合物。制備粘結劑模具為圓柱型,直徑按照晶片加工需要選定。模具封口端放入冰水混 合物中,將液態的混合均勻的原料注入模具中,冷卻靜置,凝固即可(裝置如圖1所示)。制 備成型的粘結劑熔點在95°C 115°C之間。
權利要求
一種有蠟加工晶片用粘結劑,該粘結劑主要由石蠟、松香和蟲膠組成。
2.如權利要求1所述的粘結劑,其中石蠟的質量百分比在20%-50%范圍內。
3.如權利要求1所述的粘結劑,其中松香的質量百分比在40%-75%范圍內。
4.如權利要求1所述的粘結劑,其中蟲膠的質量百分比在5%-20%范圍內。
5.如權利要求1所述的粘結劑,其中所述粘結劑的熔點在70°C-130°C范圍內,并且能 夠根據石蠟、松香和蟲膠的配比調節粘結劑的熔點。
6.如權利要求5所述的粘結劑,所述熔點在80°C_120°C范圍內。
7.如權利要求5所述的粘結劑,所述熔點在90°C-110°C范圍內。
8.一種有蠟加工晶片用粘結劑的制備方法,所述粘結劑主要由石蠟、松香和蟲膠組成, 所述方法包括如下步驟將石蠟、松香和蟲膠按配比混合置于容器中;將容器內的石蠟、松香和蟲膠加熱溶解并攪拌均勻形成熔融體;將攪拌均勻的熔融體靜置分層,分層后上層為透明液體;制作具有一定形狀的模具;準備冷卻液;將模具置于冷卻液中;從分層后的熔融體中取上層透明液體置于模具中凝固成形。
9.如權利要求5所述的方法,其中石蠟、松香、蟲膠按20 50 40 75 5 20的 質量比配比混合置于容器中。
10.如權利要求8所述的方法,其中冷卻液為冰水混合物。
全文摘要
本發明公開了一種有蠟加工晶片用粘結劑及其制備方法。該粘結劑主要由石蠟、松香和蟲膠組成,其中石蠟、松香、蟲膠按20~50∶40~75∶5~20的質量比配比。該粘結劑可通過改變原料的投放比例來調節熔點,一般可以控制在70℃~130℃范圍內,尤其是80℃~120℃。有蠟加工晶片用粘結劑的制備方法包括將攪拌均勻的熔融粘結劑利用模具制成具有一定形狀的成品粘結劑。粘結劑利用模具加工成型,應用于晶片加工過程中,可以通過改變模型尺寸及形狀,滿足在實際生產中的各種應用需要,易于存放。
文檔編號C09J191/06GK101984012SQ20091023673
公開日2011年3月9日 申請日期2009年11月5日 優先權日2009年11月5日
發明者劉金義, 張賀, 彭同華, 林菁菁, 王錫銘, 胡伯清, 陳小龍, 黃青松 申請人:蘇州天科合達藍光半導體有限公司;北京天科合達藍光半導體有限公司;中國科學院物理研究所