涂敷裝置的制作方法

專利名稱：涂敷裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種涂敷裝置，尤其是涉及一種通過從噴嘴向裝載于載物臺 上的基板噴出液柱狀態的涂敷液來進行涂敷的涂敷裝置。
背景技術：
一直以來，在開發著從噴嘴噴出涂敷液的同時，連續一次性地將涂敷液
涂敷于基板上的涂敷裝置。例如，在制造有機EL顯示裝置的裝置中，在裝載 于載物臺上的玻璃基板等基板的主面上，用噴嘴以規定的圖案形狀涂敷有機 EL材料。例如，如在JP特開2006—181410號公報(對應的中國申請是 CN200510120262.2，以下稱之為專利文獻1)中公開的那樣，在這樣的涂敷 裝置中，在將涂敷液涂敷于基板上時，為了回收在噴嘴移動到基板外時涂敷 在基板外的涂敷液或者不必要的涂敷液，在基板外配設接收涂敷液的液體接 受部。
如圖13所示，涂敷裝置具有載物臺101，該載物臺101用于裝載接受紅、 綠以及藍色有機EL材料的涂敷的玻璃基板P。而且，該制造裝置具有多個 (在圖13的例中是3個)噴嘴102~104，其噴出紅色、綠色以及藍色有機EL 材料中的任一種材料；液體接受部105，其回收噴出到基板P外的有機EL材 料。作為紅、綠以及藍色有機EL材料，例如采用具有能如下這樣流動程度的 粘性的有機性EL材料，即，在基板P上以帶狀形成的溝槽內該有機性EL材 料能夠擴散。而且，通過以規定的壓力和流量，從噴嘴102-104噴出直線棒 棒狀(以下稱之為液柱狀態)的有機EL材料，對基板P進行涂敷。另外，液 體接受部105將上面開口于基板P的兩邊外側(在圖13中僅示出了一側)而 被配設。
噴嘴102-104以相對于后述的噴嘴往復移動方向傾斜地并列設置的狀態 由保持構件(未圖示)支承著，該保持構件以及載物臺101借助于涂敷裝置 的各驅動機構進行動作。驅動機構使保持構件進行往復移動，該保持構件在 沿規定方向橫穿基板P的方向(是在基板P上形成的帶狀溝槽的方向，在圖中以箭頭F方向示出，以下稱之為噴嘴的往復移動方向)上支撐噴嘴102-104。 此時，驅動機構使上述保持構件從配設于基板P —邊外側的液體接受部105 的上部空間，到橫穿基板P而配置于基板P另一邊外側的液體接受部105的 上部空間的區域進行往復移動。另外，上述保持構件配置于液體接受部105 上部空間時，驅動機構使載物臺101向與上述噴嘴往復移動方向垂直的規定 方向(垂直于紙面的方向)只移動規定間隔。通過在這樣的驅動機構的動作 的同時，從噴嘴102-103以液柱狀態噴出有機EL材料，從而在基板P上形 成所謂的帶排列，即，紅、綠以及藍色的有機EL材料在每個帶狀的溝槽內按 照紅、綠、藍的順序排列。但是，對在基板P外設置的液體接受部105噴出液柱狀態的涂敷液時， 存在如下問題。由于噴嘴102-104和液體接受部105之間的距離(在圖13中 示出的hl+h2)較長，從而使液柱狀態的涂敷液由于表面張力而變成液滴。 雖然能夠將從噴嘴102-104的前端部到基板P上表面之間的距離hl例如設定 成0.25 0.50rnrn左右這樣的能夠保證液柱狀態的距離，但若距離hl+h2為 20mm以上，則僅通過調整噴出壓力或者流量很難防止液滴化。另外，當噴嘴 102~104向圖示的F方向高速移動時，與其速度相對應，變成液滴的涂敷液 進一步分裂成微細的霧狀。于是，高速移動的噴嘴102~104的背后的空間變 成負壓，因此霧狀的涂敷液飛到噴嘴102-104附近。其結果，在基板P外產 生的霧狀涂敷液落到基板P上并附著在上表面上，因此成為涂敷不良的原因。另外，可考慮在液柱狀態的涂敷液液滴化之前，以液柱狀態將涂敷液涂 敷在平板等構件的方式。但是，在以液柱狀態涂敷了涂敷液的構件上，該涂 敷液以積存的狀態殘留(積液)。而且，若對在構件上積存的積液進一步涂 敷液柱狀態的涂敷液，則在液柱狀態的涂敷液突入該積液的位置處附近產生 霧狀涂敷液。另一方面，如圖14所示，在上述專利文獻l中所記載的涂敷裝置中，設 置有形成狹縫S的液體接受部106。狹縫S與上述噴嘴往復移動方向平行而 形成在液體接受部106的上表面上。而且，狹縫S處在從載物臺101上向上 述噴嘴往復移動方向偏離的位置，且形成在噴嘴102 104的前端部的垂直下 方的位置上。而且，形成有狹縫S的液體接受部106的上表面設置成與載物 臺101的上表面大致相同的高度(也就是說，距離h2的值變成基板P厚度左右的小的值)，因此，從噴嘴噴出的液柱狀態的涂敷液通過狹縫S的開口而
由液體接受部106回收，從而防止霧狀涂敷液向液體接受部106的外部漏出。
但是，從制造效率等方面考慮，涂敷裝置一般采用多個噴嘴。另外，如 上所述，多個噴嘴以相對于噴嘴往復移動方向傾斜地并列設置的狀態被支承， 并向該噴嘴往復移動方向往復移動，因此為了使來自全部噴嘴的涂敷液通過，
狹縫S的開口寬度需要較寬的形成。從而，在上述專利文獻1中公開的涂敷 裝置中，需要形成大的狹縫S的開口面積，結果是霧狀涂敷液有可能從狹縫S 的開口部向液體接受部106的外部漏出。

發明內容
為此，本發明的目的在于提供一種在對基板涂敷液柱狀態的涂敷液時， 噴出到基板外的涂敷液對該基板不產生影響的涂敷裝置。 為了實現上述目的，本發明具有以下特征。
本發明第一方面所述的涂敷裝置，是通過對基板上噴出涂敷液來涂敷該 涂敷液的涂敷裝置，其中該涂敷液是朝向鉛垂下方呈直線棒狀的液柱狀態的 涂敷液。涂敷裝置具有噴嘴、載物臺、噴嘴移動機構以及液體接受部。噴嘴 從其前端部以液柱狀態噴出涂敷液。載物臺將基板裝載在其上表面上。噴嘴 移動機構在載物臺上的空間中，在橫穿該載物臺面的方向上使噴嘴進行往復 移動。液體接受部，其在噴嘴移動機構使噴嘴沿著橫穿的方向移動并由該噴 嘴向著從載物臺上偏離的位置噴出涂敷液時，接受從該噴嘴向載物臺外噴出 的涂敷液。液體接受部包括有傾斜面。傾斜面在配置于從載物臺上偏離的位 置處的噴嘴的前端部的垂直下方的位置，向著橫穿的方向延伸設置，并相對 于與該橫穿的方向相垂直的水平方向而傾斜。液體接受部使配置于從載物臺 上偏離的位置處的噴嘴所噴出的涂敷液以液柱狀態涂敷附著于傾斜面上進行 回收。
本發明第二方面所述的涂敷裝置是在第一方面的涂敷裝置中，液體接受 部還包括有吸引裝置。吸引裝置對涂敷液在傾斜面上涂敷附著的位置附近的 空間的氣體進行吸引。
本發明第三方面所述的涂敷裝置是在第二方面的涂敷裝置中，吸引裝置 具有至少一個吸引口 ，該吸引口位于涂敷液在傾斜面上涂敷附著的位置的下
6方，對該傾斜面上部空間的氣體進行吸引。
本發明第四方面所述的涂敷裝置是在第三方面的涂敷裝置中，液體接受 部還包括有隔開構件。該隔開構件與傾斜面隔開規定的間隔而與該傾斜面平 行，并固定設置在傾斜面的上部空間的一部分中。吸引口設置于傾斜面的下 端與隔開構件之間。
本發明第五方面所述的涂敷裝置是在第二方面的涂敷裝置中，吸引裝置， 將涂敷液在傾斜面上涂敷附著的位置附近的空間的氣體向沿著該傾斜面的上 表面的下方進行吸引。
本發明第六方面所述的涂敷裝置是在第一或二方面的涂敷裝置中，傾斜 面上涂敷附著涂敷液的位置位于垂直下方的位置，該垂直下方的位置是與從 噴嘴噴出的涂敷液從液柱狀態開始分裂的高度相比更靠近該噴嘴側的位置。
本發明第七方面所述的涂敷裝置是在第六方面的涂敷裝置中，傾斜面由 一個平面形成，該一個平面相對于與橫穿的方向相垂直的水平方向而向一個 方向傾斜。
本發明第八方面所述的涂敷裝置是在第六方面的涂敷裝置中，傾斜面是 由兩個平面構成的谷形，該兩個平面相對于與橫穿的方向相垂直的水平方向 而分別向兩個方向傾斜。
本發明第九方面所述的涂敷裝置是在第六方面的涂敷裝置中，傾斜面是 由兩個平面構成的山形，該兩個平面相對于與橫穿的方向相垂直的水平方向 而分別向兩個方向傾斜。
根據上述第一方面，從在偏離載物臺上的位置所配置的噴嘴噴出的液柱 狀態的涂敷液，在因表面張力而液滴化之前，全部涂敷附著在液體接受部的 傾斜面上。而且，涂敷附著在傾斜面上的涂敷液沿著其傾斜方向流下來的同 時被回收。從而，在以液柱狀態涂敷附著涂敷液的傾斜面上，該涂敷液不會 以積存的狀態(積液)殘留。也就是說，不會發生對在傾斜面上積存的積液， 繼續涂敷附著液柱狀態的涂敷液的情況，因此能夠防止由于液柱狀態的涂敷 液突入該積液中而產生霧狀的涂敷液的現象。從而，不會發生噴出到基板外 的涂敷液向上彌漫飛濺并附著在基板上的現象，從而能夠防止涂敷不良。
根據上述第二方面，通過對涂敷液涂敷附著在傾斜面上的部位進行吸引， 能夠進一步可靠地防止噴出到液體接受部的涂敷液向外部漏出。
7根據上述第三方面，由于吸引口設置于在傾斜面上涂敷附著涂敷液的位 置的下方，故能夠沿著涂敷液涂敷附著在傾斜面上之后流下的方向吸引涂敷 液。另外，在傾斜面上產生霧狀的涂敷液時，能夠從涂敷液所涂敷附著的位 置向下方高效率地吸引霧化的涂敷液。另外，由于吸引裝置所吸引的空間是 由傾斜面所限定的空間，因此能夠提高其吸引效率而進一步高效率地回收不 需要的涂敷液。
根據上述第四方面，吸引裝置所吸引的空間變成由傾斜面和隔開構件所 夾的狹窄的空間。從而，由于通過設置隔開構件而進一步限定吸引裝置所吸 引的空間，因此能夠進一步提高吸引裝置的吸引效率。
根據上述第五方面，由于向沿著傾斜面上表面的下方進行吸引，所以能 夠沿著涂敷附著在傾斜面上并流下的涂敷液的方向吸引涂敷液。另外，在傾 斜面上產生霧狀的涂敷液時，能夠向沿著其上表面的下方高效率地吸引霧化 的涂敷液。進而，吸引裝置所吸引的空間是由傾斜面來限定的空間，因此能 溝提高其吸引效率而進一步高效率地回收不需要的涂敷液。
根據上述第六方面，從在偏離載物臺的位置上所配置的噴嘴噴出的液柱 狀態的涂敷液，在分裂之前涂敷附著在傾斜面上。從而，能夠防止涂敷液變 成微細的霧狀涂敷液之后落到基板上。
根據上述第七方面，能夠使涂敷附著在由一個平面構成的傾斜面上的涂 敷液，沿著其傾斜方向流下的同時，回收該涂敷液。
根據上述第八方面，能夠使涂敷附著在以谷形構成的傾斜面上的涂敷液， 向谷底方向流下的同時，回收該涂敷液。
根據上述第九方面，能夠使涂敷附著在以山形構成的傾斜面上的涂敷液， 向山腳方向流下的同時，.回收該涂敷液。
通過參照附圖進行以下詳細說明，本發明的這些以及其他目的、特征、 情況、效果變得更明確。


圖1是示出本發明第一實施方式的涂敷裝置1的主要部分的概略結構的 俯視圖以及主視圖。
圖2是示出圖1的涂敷裝置1的控制功能的方框圖。圖3是示出圖1的液體接受部53的結構的立體圖。
圖4是從圖3中的D方向觀察的液體接受部53的側面概要圖。
圖5是示出從噴嘴52a 52c噴出的有機EL材料和液體接受部53之間的
位置關系的立體圖。
圖6是示出噴嘴52a 52c在移動之后與液體接受部53之間的位置關系的
立體圖。
圖7是將圖3的剖面A A從B方向觀察的上段箱部532的剖視圖。 圖8是刪掉上段箱部532的一部分側面以及上板構件533的一部分的液 體接受部53的立體圖。
圖9是示出噴嘴52a 52c和傾斜面537之間的位置關系的概要圖。
圖10是示出以谷形形成的傾斜面538的一個例子的上段箱部532的剖視圖。
圖11是示出以山形形成的傾斜面539的一個例子的上段箱部532的剖視圖。
圖12是示出隔開構件540的一個例子的上段箱部532的剖視圖。 圖13是示出現有的涂敷裝置的噴嘴102~104和液體接受部105之間的位 置關系的側面概要圖。
圖14是示出現有的液體接受部106的結構的立體圖。
具體實施例方式
下面參照附圖針對本發明第一實施方式的涂敷裝置進行說明。為了進行 具體的說明，利用該涂敷裝置適用于制造有機EL顯示裝置的涂敷裝置中的例 子進行以下的說明，其中，該有機EL顯示裝置將有機EL材料或者空穴輸送 材料等作為涂敷液。該涂敷裝置用于制造有機EL顯示裝置，該有機EL顯示 裝置是將有機EL材料或者空穴輸送材料在裝載于載物臺上的玻璃基板上涂 敷成規定的圖案形狀而形成的。圖1是示出涂敷裝置1的主要部分的概略結 構的俯視圖以及主視圖。另外，如上所述，涂敷裝置1采用有機EL材料或者 空穴輸送材料等多種涂敷液，但作為這些的代表，以有機EL材料為涂敷液進 行說明。
在圖1中，涂敷裝置1大體上具備有基板裝載裝置2以及有機EL涂敷機構5。有機EL涂敷機構5具有噴嘴移動機構部51、噴嘴單元50、液體接受 部53L以及53R。噴嘴移動機構部51，在圖示X軸方向上延伸設置有導向構 件511，使噴嘴單元50沿著引導構件51在圖示的X軸方向上移動。噴嘴單 元50以并列設置的狀態保持多個噴嘴52 (在圖1中，有三個噴嘴52a、 52b 以及52c)，該多個噴嘴噴出紅、綠以及藍色中的任一種顏色的有機EL材料。 向各噴嘴52a 52c從各自的供給部(參照圖2)供給紅、綠以及藍色中的任一 種顏色的有機EL材料。這樣，從多個噴嘴52噴出相同顏色的有機EL材料， 為了使說明變得更具體化，采用從三個噴嘴52a 52c噴出紅色有機EL材料的 例子。
基板裝載裝置2具有載物臺21、旋轉部22、平行移動臺23、導軌支撐部 24以及導向構件25。載物臺21將作為被涂敷體的玻璃基板等基板P裝載在 載物臺上表面上。載物臺21的下部由旋轉體22支撐著，而且載物臺21以通 過旋轉部22的旋轉動作而沿著圖示的0方向可旋轉的方式構成。另外，在載 物臺21的內部設置有加熱機構、基板P的吸附機構以及交接銷機構等，該加 熱機構用于在載物臺面上對涂敷了有機EL材料的基板P進行預熱處理。
導向構件25沿著與上述X軸方向垂直的圖示的Y軸方向延伸設置并水 平固定，以通過有機EL涂敷機構5的下方。在平行移動臺23的下面固定設 置有導軌支撐部24，該導軌支撐部24與導向構件25相抵接并在導向構件25 上滑動。由此，平行移動臺23例如受到來自線性馬達(未圖示)的驅動力， 能夠在沿著導向構件25的、圖示的Y軸方向移動，而且由旋轉部22支撐的 載物臺21也能夠進行水平移動。
通過交接銷機構將基板P裝載與載物臺21上，并將該基板P吸附固定， 當平行移動臺23移動到有機EL涂敷機構5的下方時，該基板P處于從噴嘴 52a 52c接受紅色有機EL材料的涂敷的位置。然后，控制部(參照圖2)控 制噴嘴移動機構部51以使噴嘴單元50沿著X軸方向往復移動，并控制平行 移動臺23以使載物臺21在每次進行該直線移動時向Y方向僅移動規定間隔， 而且從噴嘴52a 52c噴出規定流量的有機EL材料。另外，在噴嘴52a 52c的 X軸方向噴出位置上，在偏離裝載于載物臺21上的基板P的兩側空間中，分 別固定設置有用于接受偏離基板P而噴出的有機EL材料的液體接受部53L 以及53R。噴嘴移動機構51使噴嘴單元50從配設于基板P的一邊外側的液體接受部53 (例如，液體接受部53L)的上部空間，到橫穿基板P而配設于 基板P的另一邊外側的液體接受部53 (例如，液體接受部53R)的上部空間 之間的區域往復移動。另外，當噴嘴單元50配置于液體接受部53的上部空 間時，平行移動臺23使載物臺21沿著與噴嘴往復移動方向相垂直的規定方 向(圖示的Y軸方向)只移動規定間隔。通過這樣的噴嘴移動機構部51以及 平行移動臺23的動作，還有通過從噴嘴52a 52c以液柱狀態噴出有機EL材 料，在基板P上形成所謂的帶排列，即，紅色有機EL材料排列于在基板P 上形成的每個帶狀溝槽中。
接著，參照圖2，針對涂敷裝置1的控制功能以及供給部的概略結構進行 說明。另外，圖2是示出涂敷裝置1的控制功能以及供給部的方框圖。
在圖2中，涂敷裝置1除了上述構成部之外，還具備控制部3、第一供給 部54a、第二供給部54b以及第三供給部54c。第一 第三供給部54a 54c經 由配管同時分別對噴嘴52a 52c供給紅色有機EL材料。
第一供給部54a具有有機EL材料的供給源541a;用于從供給源541a 取出有機EL材料的泵542a;檢測有機EL材料流量的流量計543a。另外， 第二供給部具有有機EL材料的供給源541b;用于從供給源541b取出有機 EL材料的泵542b;檢測有機EL材料流量的流量計543b。第三供給部54c具 有有機EL材料的供給源541c;用于從供給源541c取出有機EL材料的泵 542c;檢測有機EL材料流量的流量計543c。而且，控制部3控制第一 第三 供給部54a 54c、旋轉部22、平行移動臺23以及噴嘴移動機構部51各自的 動作。此外，從供給源541a 541c到達噴嘴52a 52c的各自的配管，采用將 PE (聚乙烯)、PP (聚丙烯)、Teflon (特富龍，注冊商標)等作為材料的 管構件。
噴嘴52a具有過濾部521a，該過濾部521a用于除去從第一供給部54a供 給的EL材料中的異物。噴嘴52b具有過濾部521b,該過濾部521b用于除去 從第二供給部54b供給的有機EL材料中的異物。噴嘴52c具有過濾部521c， 該過濾部521c用于除去從第三供給部54c供給的有機EL材料中的異物。另 外，噴嘴52a 52c分別具有相同的結構，因此在總稱說明時，賦予附圖標記 52而進行說明。
在此，在接受紅色有機EL材料的涂敷的基板P表面上，以并列設置的方式形成有與應涂敷機EL材料的規定圖案形狀相對應的多個帶狀溝槽。作為有 機EL材料，例如采用具有能如下這樣流動程度的粘性的有機性EL材料，艮口， 在基板P上的溝槽內該有機性EL材料能夠擴散，具體而言，采用各顏色不同 的高分子類型的有機EL材料。噴嘴單元50以圍繞規定的支撐軸可自由轉動 的方式被支撐，并通過控制部3的控制而圍繞該支撐軸轉動，由此能夠調整 涂敷間隔。
控制部3基于在載物臺21上裝載的基板P的位置和方向，調整旋轉部22 的角度，以使在基板P上形成的溝槽的方向為上述X軸方向，并計算出涂敷 的開始點，也就是，在基板P上形成的溝槽的一端部側，開始涂敷的涂敷開 始位置。此外，上述涂敷開始位置為一側液體接受部53的上部空間。而且， 如上所述，控制部3驅動平行移動臺23以及噴嘴移動機構部51。
在上述涂敷開始位置，控制部3對各泵542a 542c指示，以從各噴嘴 52a 52c開始噴出有機EL材料。此時，控制部3對應于噴嘴52a 52c的移動 速度控制涂敷量，以使帶狀溝槽的各個點上的有機EL材料的涂敷量均勻，并 以液柱狀態噴出有機EL材料，而且通過反饋來自流量計543a 543c的流量信 息進行控制。然后，為了使有機EL材料流入基板P上的溝槽內，控制部3 控制噴嘴單元50使其沿著導向構件511移動，以使有機EL材料沿著基板P 上的溝槽并流入到溝槽內。通過該動作，從各噴嘴52a 52c噴出的液柱狀態 的紅色有機EL材料同時流入各個溝槽中。
若噴嘴單元50橫穿基板P上而位于固定設置在溝槽的另一端部外側的另 一側的液體接受部53上，則控制部3在使噴嘴52a 52c繼續噴出有機EL材 料的狀態下，使借助噴嘴移動機構部51的噴嘴單元50的移動停止。通過這 一次移動，完成對3列溝槽涂敷有機EL材料。具體而言，由于從各噴嘴52a 52c 噴出相同顏色的有機EL材料，因此三列噴嘴中的每一列將一列溝槽作為涂敷 對象，從而對于總共三列溝槽涂敷有機EL材料。
接著，控制部3使平行移動臺23向Y軸正方向進給規定距離(例如，9 列溝槽)的間距，以便對成為下一次涂敷對象的溝槽能夠涂敷有機EL材料。 然后，若使噴嘴單元50從另一側液體接受部53的上部空間向相反方向橫穿 基板P上而位于一側液體接受部53上，則控制部3在使噴嘴52a 52c繼續噴 出有機EL材料的情況下，使借助噴嘴移動機構部51的噴嘴單元50的移動停止。通過這第二次移動，完成對接下來的3列溝槽涂敷有機EL材料。通過重 復進行這樣的動作，紅色有機EL材料流入以紅色為涂敷對象的溝槽中。
接著，參照圖3~6，針對液體接受部53進行說明。另外，圖3是示出液 體接受部53的結構的立體圖。圖4是從圖3中D方向觀察液體接受部53的 側面概要圖。圖5是示出從噴嘴52a 52c噴出的有機EL材料和液體接受部 53之間的位置關系的立體圖。圖6是示出噴嘴52a 52c在移動之后與液體接 受部53之間的位置關系的立體圖。另外，相對于載物臺21而位于兩側的液 體接受部53L以及53R (參照圖1)，具有相對于載物臺21而對稱的相同的 結構，所以圖3 6將其一表示為液體接受部53。
在圖3中，液體接受部53具有下段接受部531、上段箱部532、上板構 件533、上段支撐構件534、以及箱內吸引部536。
下段接受部531例如連接于噴嘴移動機構部51，并以與噴嘴移動機構部 51的位置關系始終固定的方式固定設置。下段接受部531安裝于上部箱部532 的載物臺21側的下部，位于在噴嘴52a 52c在基板P上和上部箱部532上之 間移動時，能接受從基板P和上部箱部532之間的間隙漏出的有機EL材料等 的位置。噴出到上段箱部532內部的有機EL材料，經由設置于上部箱532 下部的排出線路535 (參照圖7)流入到下段接受部531內。另外，噴出到下 段接受部531內的有機EL材料經由能從其最下面位置流出的流道(未圖示) 而回收于排液箱(未圖示)內。另外，在下段接受部531內部，也可以設置 吸引載物臺21側面附近空間的空氣的局部排氣部。進而，在下段接受部531 的上端面，固定設置有支撐上段箱部532的上段支撐構件534。
上段箱部532由上段支撐構件534來支撐，并固定設置于下段接受部531 的上部。上段箱部532具有上表面開放的箱體形狀，并通過設置覆蓋該上表 面的上板構件533來被封閉。在上板構件533上形成有以圖示的X軸方向為 長尺寸開口方向的狹縫開口部533a。而且上板構件533以作為上段箱部532 的蓋子的方式被安裝，因此以可從上段箱部532拆卸的方式被嵌入。而且， 若上板構件533安裝于上段箱部532，則狹縫開口部533a作為上段箱部532 的內部空間和外部空間的開孔發揮作用。
上板構件533的上表面以與載物臺21的上表面大致成為相同高度(參照 圖4中的高度d)的方式被固定設置。上段箱部532以及上板構件533的載物臺21側的側面，通過在該載物臺21附近形成規定間隙(參照圖4中間隙a) 而被固定設置。而且，在上板構件533的上表面，以從載物臺21側面向圖示 X軸正方向延伸出(參照圖4中長度b)的方式裝載的基板P (在圖3中，以 虛線表示)的一部分與上板構件533部分重疊(參照圖4中部分重疊長度c) 而被配置。另外，關于上段箱部532的內部結構，在后面進行描述。
另外，上段箱部532，在其側面中央位置設置有吸引口，而箱內吸引部 536從該吸引口吸引上段箱部532內部的氣體。而且，從上段箱部532內部吸 引的氣體(包括在上段箱部532內部產生的霧狀有機EL材料)，由箱內吸引 部536從上述吸引口被吸引之后回收于排液箱(未圖示)中。
在圖4中，上段箱部532以及上板構件533的載物臺21側的側面，以與 載物臺21側面之間形成間隔a的方式設置。該間隔a設置成，不會由于載物 臺21向圖示的Y軸方向的平行移動動作、和旋轉部22的旋轉動作而使載物 臺21與上段箱部532以及上板構件533發生干涉的距離，例如是3mm。另外， 基板P相對于載物臺21的端面向液體接受部53側只延伸出長度b而被裝載。 長度b設定成使得上板構件533的上表面與基板P只部分重疊長度c，因此b =a+c，例如長度b二5mm，重疊長度c=2mm。為了防止發生從基板P的端 部朝下方向泄漏的現象，最好將上板構件533的上表面設置成與載物臺21的 上表面相同的高度，但是，如上所述，由于裝載于載物臺21上的基板P進行 平行移動或者轉動，所以需要防止基板P的下表面和上板構件533的上表面 發生干涉。因此，使上板構件533的上表面比載物臺21的上表面只低高度d， 例如高度d=0.5~3.0mm。
此外，雖然說明了為防止基板P的下表面和上板構件533的上表面發生 干涉而使上板構件533的上表面比載物臺21的上表面只低高度d的一個例子， 但若不期待這樣的效果，將上板構件533的上表面設置成載物臺21上表面以 上的高度也可。只要使上板構件533的上表面至少低于噴嘴52a 52c的前端 部即可，就能夠防止液體接受部53和噴嘴52a 52c發生干涉的現象。
接著，參照圖5，針對噴嘴52a 52c和液體接受部53之間的位置關系進 行說明。此外，在圖5中，主要示出了噴嘴52a 52c、液體接受部53、以及 基板P，而對其他的部位進行省略了。另外，關于液體接受部53，僅示出了 上段箱部532以及上板構件533。如上所述，對基板P涂敷有機EL材料時，在涂敷開始以及結束的時刻，或者在X軸方向上折返的時刻等，噴嘴52a 52c 配置于液體接受部53的上部空間。此時，噴嘴52a 52c從液體接受部53的 上方朝向狹縫開口部533a噴出液柱狀態的有機EL材料。
以如下方式設置液體接受部53，即，在噴嘴52a 52c移動到液體接受部 53的上部空間時，從該噴嘴52a 52c噴出的有機EL材料通過狹縫開口部533a 而在上段箱部532內部被接收。也就是說，以噴嘴52a 52c向著X軸方向移 動到基板P外時，狹縫開口部533a包括所有該噴嘴52a 52c的各前端部(噴 出口)的垂直下方位置的方式，形成狹縫開口部533a。從而，噴嘴52a 52c 的移動方向(X軸方向)和狹縫開口部533a的長尺寸形成方向(X軸方向) 互相平行，而且相對于噴嘴52a 52c前端部的圖示Z軸負方向(鉛垂方向) 上形成狹縫開口部533a。在此，為了對在X軸方向上并列設置的三列溝槽同 時涂敷有機EL材料，噴嘴52a 52c沿著圖示Y軸方向隔開若干間隔而配置。 狹縫開口部533a具有能使從噴嘴52a 52c以液柱狀態噴出的有機EL材料全 部通過的寬度。
另外，如圖5所示，當噴嘴52a 52c配置于液體接受部53的上部空間后， 噴嘴52a 52c才向作為X軸負方向的圖示的C方向高速移動(圖6)。如圖6 所示，即使是噴嘴52a 52c從液體接受部53的上部空間向圖示的C方向移動 時，從該噴嘴52a 52c噴出的有機EL材料，在噴出到基板P上之前，也全部 以液柱狀態通過狹縫開口部533a而回收于上段箱部532中。
接著，參照圖7 9，針對上段箱部532的內部結構進行說明。另外，圖7 是對圖3的剖面A—A從B方向觀察的上段箱部532的剖視圖。圖8是刪掉 上段箱部532的一部分側面以及上板構件533的一部分(具體而言，Y軸負 方向側的側面、X軸正方向側的側面、以及上板構件533的Y軸負方向側的 構件)的液體接受部53的立體圖。圖9是示出噴嘴52a 52c和傾斜面537之 間的位置關系的概要圖。
在圖7以及圖8中，上段箱部532，在其內部固定設置有傾斜面537。傾 斜面537設置于上段箱部532的狹縫開口部533a的下方位置，并延伸設置在 噴嘴單元50往復移動的X軸方向上。而且，傾斜面537相對于與噴嘴單元 50往復移動的方向相垂直的水平方向(也就是Y軸正方向或者Y軸負方向)， 向下方傾斜。傾斜面537是表面平滑的板狀構件，例如由不銹鋼板或者表面被氟樹脂覆蓋的板材構成。此外，傾斜面537并不僅限定于板狀構件，由實 心構件或者空心構件形成的一個側面構成也可。
另外，傾斜面537的下端與上段箱部532的Y軸方向側的側面向接合。 此外，在圖7以及圖8的一例中，由于傾斜面537向Y軸負方向側傾斜，因 此該傾斜面537的下端與上段箱部532的Y軸負方向側的側面相接合。另外， 傾斜面537的兩側部分別與上段箱部532的X軸方向側的側面相接合(參照 圖8)。而且，在傾斜面537的下端和上段箱部532的側面的接合部的上側附 近設置有排出線路535，從而沿著傾斜面537流下來的有機EL材料通過排出 線路535流入下端接受部531內。另外，在成為有機EL材料涂敷附著在傾斜 面537上的位置的下方的上段箱部532的側面連接有吸引傾斜面537的上部 空間氣體的箱內吸引部536的吸引口。具體而言，箱內吸引部536的吸引口 以低于涂敷有機EL材料的位置、高于設置排出線路535的位置的方式，設置 在與傾斜面537的上部空間連通的上段箱部532的側面。從而，箱內吸引部 536在上段箱部532內部，從該傾斜面537的下端側沿著該傾斜面537吸引該 傾斜面537的上部空間的氣體等。
通過這樣的上段箱部532的結構，將在液體接受部53的上部空間從噴嘴 52a 52c噴出的有機EL材料(在圖7~圖9中以涂敷液Ll 一L3表示)經由狹 縫開口部533a全部涂敷附著在傾斜面537。而且，如圖8所示，涂敷附著在 傾斜面537上的有機EL材料，沿著傾斜面537向傾斜方向流下，并從排出線 路535流入下端接受部531內。另外，箱內吸引部536產生沿著傾斜面537 吸引的氣流，并在從噴嘴52a 52c噴出的有機EL材料所涂敷附著的部位附近 產生吸引氣流。從而，若在傾斜面537上產生霧狀有機EL材料，則從箱內吸 引部536的吸引口吸引霧化的有EL材料。
在此，傾斜面537配置于在液體接受部53的上部空間從噴嘴52a 52c噴 出的有機EL材料從液柱狀態開始分裂的高度的上方。而且，為了使涂敷附著 的有機EL材料迅速流下，傾斜面537相對于水平方向的傾斜角度a最好盡可 能地接近于鉛垂方向。但是，如圖9所示，由于噴嘴52a 52c在Y軸方向隔 開若干間隔而配置以確保涂敷間隔，所以噴嘴52a 52c各自的前端部和傾斜 面537之間的距離分別不同。從而，傾斜面537以如下方式配置使得從噴 嘴52a 52c各自的前端部和傾斜面537之間的距離最長的噴嘴52a 52c噴出
16的有機EL材料(在圖9中的例子中，從噴嘴52a噴出的涂敷液Ll)，總是 以液柱狀態進行涂敷。具體而言，以如下方式設置傾斜面537:使得噴嘴 52a 52c各自的前端部和傾斜面537之間的最長距離Hl，小于能夠保證噴出 的有機EL材料的液柱狀態的距離(例如，20mm)。另夕卜，對于相對于傾斜 面537最接近的噴嘴52a 52c (在圖9的例子中為噴嘴52c)，需要防止與傾 斜面537發生干涉。也就是說，最接近于傾斜面537的噴嘴52a 52c的前端 部和傾斜面537之間的距離H2，需要確保一定程度。在滿足這樣的距離H1 以及H2的條件的范圍內，只要設定盡可能地接近鉛垂方向的傾斜角度ct即 可，例如將傾斜角度a設定成60。C。
通過如上述的結構，噴出到基板P外的有機EL材料，以液柱狀態通過狹 縫開口部533a后被涂敷附著在傾斜面537并回收于上段箱部532內。從而， 從噴嘴52a~52c噴出的液柱狀態的有機EL材料，在因表面張力變成液滴之前 全部被涂敷附著在傾斜面537上。另外，涂敷到傾斜面537上的有機EL材料 沿著其傾斜方向流下并流入到下段接受部531內。這樣，在以液柱狀態涂敷 著有機EL材料的傾斜面537上，該有機EL材料不會以積存的狀態(積液) 殘留。也就是說，不發生對在傾斜面537上積存的積液，繼續涂敷液柱狀態 的有機EL材料的情況，因此能夠防止由于液柱狀態的有機EL材料闖入該積 液而產生霧狀的有機EL材料的現象。另外，即使在傾斜面537上產生霧狀的 有機EL材料，也因為吸引到箱內吸引部536中，所以能夠可靠地防止霧狀有 機EL材料向液體接受部53外部漏出。
如此，本實施方式中的涂敷裝置的上段箱部532，因為其內部設置有傾斜 面537，所以不發生噴出到上段箱部532內的有機EL材料再次彌漫而飛向外 部的現象。另外，通過對在傾斜面537上涂敷附著有機EL材料的部位進行吸 引，即使在上段箱部532內進一步產生霧狀的有機EL材料，也能夠可靠地防 止向外部漏出的現象。在此，由箱內吸引部536所吸引的上段箱部532的內 部空間是由傾斜面537限定的空間，所以吸引效率提高，因此以更高的效率 回收霧狀的有機EL材料。從而，不發生噴出到基板外的有機EL材料著落并 附著在基板p上的現象，因此能夠防止涂敷不良。
另外，關于上述的傾斜面537，舉出了采用如下的一個傾斜面的一個例子-即，該傾斜面相對于與噴嘴單元50往復移動的方向相垂直的水平方向，向下方傾斜，但設置其他方式的傾斜面也可。以下，參照圖10以及圖11，針對傾
斜面的其他方式的例子進行說明。另外，圖10是示出以谷形形成的傾斜面538 的一個例子的上段箱部532的剖視圖。圖11是示出以山形形成的傾斜面539 的一個例子的上段箱部532的剖視圖。
在圖10中，上段箱部532在其內部固定設置有谷形的傾斜面538 (谷形 的一側傾斜面為538a、另一側的傾斜面為538b)。與傾斜面537相同，傾斜 面538設置于上段箱部532的狹縫開口部533a的下方位置，并延伸設置在噴 嘴單元50往復移動的X軸方向上。而且，傾斜面538a相對于與噴嘴單元50 往復移動的方向相垂直的一側水平方向(在圖10中為Y軸正方向)而向下方 傾斜。另外，傾斜面538b相對于與噴嘴單元50往復移動的方向相垂直的另 一側水平方向(在圖IO中為Y軸負方向)而向下方傾斜。于是，由一組傾斜 面538a以及538b形成谷形的傾斜面538。傾斜面538a以及538b都是表面平 滑的板狀構件，例如由不銹鋼板或者表面被氟樹脂覆蓋的板材構成。此外， 傾斜面538a以及538b并不僅限定于板狀構件，分別由實心構件或者空心構 件形成的兩個側面構成也可。
另外，傾斜面538a以及538b的上端分別與上板構件533的下表面或者 上段箱部532的Y軸方向側的側面向相接合。傾斜面538a以及538b各自的 兩側部分別與上段箱部532的X軸方向側的側面相接合。而且，在傾斜面538a 以及538b的下端之間(也就是谷底部)形成有狹縫狀的間隙，并在從傾斜面 538a以及538b的下端到氣液分離箱55之間，連接有連接構件。通過該連接 構件，將在傾斜面538a以及538b的下端形成的狹縫狀的間隙和氣液分離箱 55連通。而且，在氣液分離箱55的上部連接有箱內吸引部536的吸引口，而 在氣液分離箱55的下部連接有與下段接受部531相連接的排出線路。由此， 通過氣液分離箱55以及上述連接構件，使在傾斜面538a以及538b的下端形 成的狹縫狀間隙和箱內吸引部536的吸引口連通。由此，箱內吸引部536在 上段箱部532內部，從該傾斜面538的谷底側沿著該傾斜面538吸引傾斜面 538的上部空間的氣體等。
通過如圖10中所示的上段箱部532的結構，將在液體接受部53的上部 空間從噴嘴52a 52c噴出的有機EL材料(涂敷液L1一L3)經由狹縫開口部 533a全部涂敷附著在谷形傾斜面538。而且，如圖10所示，涂敷附著在傾斜面538的有機EL材料，沿著傾斜面538向谷底方向流下，并經由上述連接構 件、氣液分離箱55、以及排出線路535流入下端接受部531內。另外，在谷 形的傾斜面538上的空間中存在的氣體，經由上述連接構件以及氣液分離箱 從箱內吸引部536的吸引口被吸入。也就是說，箱內吸引部536產生沿著傾 斜面538吸引的氣流，并在從噴嘴52a 52c噴出的有機EL材料所涂敷附著的 部位附近產生吸引氣流。
在此，傾斜面538也配置于在液體接受部53的上部空間從噴嘴52a 52c 噴出的有機EL材料從液柱狀態開始分裂的高度的上方。而且，為了使涂敷附 著的有機EL材料迅速流下，傾斜面538相對于水平方向的傾斜角度最好盡可 能地接近于鉛垂方向。但是，與上述傾斜面537相同，傾斜面538也需要以 如下方式配置避免與噴嘴52a 52c之間發生干涉的同時，從噴嘴52a 52c 各自的前端部和傾斜面538之間的距離最長的噴嘴52a 52c噴出的有機EL材 料，總是以液柱狀態進行涂敷。從而，在滿足這樣的條件的范圍內，傾斜面 538也設定成盡可能地接近鉛直方向的傾斜角度。
在圖11中，上段箱部532在其內部固定設置有山形的傾斜面538 (山形 的一側傾斜面為539a、另一側的傾斜面為539b)。與傾斜面537以及傾斜面 538相同，傾斜面539設置于上段箱部532的狹縫開口部533a的下方位置， 并延伸設置在噴嘴單元50往復移動的X軸方向上。而且，傾斜面539a相對 于與噴嘴單元50往復移動的方向相垂直的一側水平方向(在圖11中為Y軸 負方向)而向下方傾斜。另外，傾斜面539b相對于與噴嘴單元50往復移動 的方向相垂直的另一側水平方向(在圖11中為Y軸正方向)而向下方傾斜。 于是，由一組傾斜面539a以及539b形成山形的傾斜面539。例如，傾斜面 539a以及539b是由都以表面平滑的實心構件形成的兩個側面構成，例如由不 銹鋼板或者表面被氟樹脂覆蓋的板材構成。此外，傾斜面539a以及539b并 不僅限定于實心材料，而以組合兩個板狀構件的構件或者由空心構件形成的 兩個側面構成也可。
另外，傾斜面539的兩側部分別與上段箱部532的X軸方向側的側面相 接合。另外，在傾斜面539a以及53%的下端(也就是山腳)，與上段箱部 532的Y軸方向側的側面之間形成有間隙。通過該間隙，在上段箱部532的 內部空間，使傾斜面539a以及53%的上部空間和上段箱部532的下部空間連通。而且，在位于傾斜面539a以及539b下方的上段箱部532的側面(在 圖11中為Y軸負方向側的側面)上連接有箱內吸引部536的吸引口。另外， 在位于傾斜面539a以及539b下方的上段箱部532的側面連接有排出線路 535。從而，箱內吸引部536在上段箱部532內部，從山形傾斜面539的山腳 側吸引相對于傾斜面539的下部空間的氣體等。另外，從傾斜面539a以及539b 向上段箱部532的底面流下的有機EL材料，經由排出線路流入到下段接受部 531。
通過如圖11中所示的上段箱部532的結構，使在液體接受部53的上部 空間從噴嘴52a 52c噴出的有機EL材料(涂敷液L1一L3)經由狹縫開口部 533a全部涂敷在山形的傾斜面539上。而且，如圖11所示，涂敷在傾斜面 539上的有機EL材料，沿著傾斜面539向其山腳方向流下，并經由排出線路 535流入到下段接受部532。另外，若在傾斜面539上產生霧狀有機EL材料， 則將霧化的有機EL材料引入到上段箱部532的下部空間，并從箱內吸引部 536的吸引口吸入。
在此，傾斜面539也配置于在液體接受部53的上部空間從噴嘴52a 52c 噴出的有機EL材料從液柱狀態開始分裂的高度的上方。而且，為了使涂敷著 的有機EL材料迅速流下，傾斜面539相對于水平方向的傾斜角度也最好盡可 能地接近于鉛垂方向。但是，與傾斜面537以及538相同，傾斜面539也需 要以如下方式配置:避免與噴嘴52a 52c之間發生干涉的同時，從噴嘴52a 52c 各自的前端部和傾斜面539之間的距離最長的噴嘴52a 52c噴出的有機EL材 料，總是以液柱狀態進行涂敷。從而，在滿足這樣的條件的范圍內，傾斜面 539也設定成盡可能地接近鉛垂方向的傾斜角度。
如此，在本申請的發明中采用的上段箱部532內設置的傾斜面，能夠采 用一個傾斜面、谷形的傾斜面、以及山形的傾斜面等各種各樣的傾斜面來實 現。進而，在本申請的發明中采用的傾斜面并不僅限定于相對水平方向傾斜 的一個平面(傾斜面537)或者多個平面的組合(傾斜面538、 539)，而采 用相對于水平方向傾斜的曲面結構也可。例如，如傾斜面537那樣，由一個 平面構成的方式中，將一個平面構成為凸形或者凹形的一個曲面而形成傾斜 面也可。另外，如傾斜面538那樣，在將兩個平面以谷形組合而構成的方式 中，將兩個平面構成為一個凹形的曲面而形成傾斜面也可。另外，如傾斜面
20539那樣，在將兩個平面以山形組合而構成的方式中，將兩個平面構成為一個 凸形曲面而形成傾斜面也可。
另外，通過將上述的傾斜面537設置在上段箱部532的內部，箱內吸引 部536吸引由傾斜面537所限定的空間，所以與在不設置該傾斜面537的情 況下吸引上段箱部532內部空氣的情況相比，提高吸引效率。從而，通過在 上段箱部532的內部設置隔開構件540，能夠進一步提高箱內吸引部536的吸 引效率。以下，參照圖12，說明隔開構件540。另外，圖12是示出隔開構件 540的一個例子的上段箱部532的剖視圖。
在圖12中，隔開構件540固定設置在上段箱部532的內部。隔開構件540 進一步分割上段箱部532內部中的傾斜面537的上部空間，從而使由箱內吸 引部536所吸引的空間進一步變小。具體而言，隔開構件540設置在傾斜面 537的上部，并具有與該傾斜面537平行而沿著X軸方向延伸設置的第一隔 面540a。第一隔面540a的下端與位于箱內吸引部536的吸引口上部的上段箱 部532的Y軸方向側的側面相接合。另外，第一隔面540a的上端配設于狹縫 開口部533a的一側端部(在圖12中為Y軸負方向側的端部)的鉛垂方向的 位置，以使第一隔面540a不會進入到狹縫開口部533a的下側位置。而且， 隔開構件540具有將第一隔面540的上端和狹縫開口部533a的上述一側端部 接合在一起的第二隔面540b。
通過將這樣的隔開構件540設置在上段箱部532的內部，箱內吸引部536 所吸引的空間變成由傾斜面537和隔開構件540所夾著的狹窄的空間。從而， 通過設置隔開構件540，進一步限定由箱內吸引部536所吸引的空間，因此能 夠提高箱內吸引部536的吸引效率。也就是說，能夠以更大的吸引力對有機 EL材料涂敷附著在傾斜面537上的部位進行吸引，即使有機EL材料在上段 箱部532內發生霧化，也能夠進一步可靠地防止霧化的有機EL材料向外部漏 出。
另外，如利用圖3所說明的那樣，將用于箱內吸引部536從上段箱部532 的內部吸引的吸引口，在上段箱部532的側面中央位置附近設置了一處，但 吸引口的設置位置以及數量并不僅限定于此。例如，將箱內吸引部536的吸 引口，在傾斜面537的下端和上段箱部532的側面的接合部上側附近的、有 機EL材料涂敷附著在傾斜面537上的位置下方的位置，沿著傾斜面537設置多處也可。此時，只要是在有機EL材料涂敷附著在傾斜面537的部位能夠高 效率地產生吸引氣流的位置即可，上述吸引口即使不設置在上段箱部532的 側面中央位置也可。另外，箱內吸引部536從狹縫狀的吸引口對上段箱部532 內進行吸引也可，其中該狹縫狀的吸引口在傾斜面537的下端和上段箱部532 的側面的接合部上側附近，并形成在有機EL材料涂敷附著在傾斜面537上的 位置下方的位置，并且具有與傾斜面537的下端長度同等的長軸長度。
另外，在上述實施方式中，以覆蓋上段箱部532上表面的方式設置了上 板構件533，但不設置上板構件533也可。在上段箱部532內部產生霧狀的有 機EL材料時，為了防止該霧狀的有機EL材料彌漫飛向上段箱部532的外部 的現象而設置了上板構件533。另外，通過將開放上段箱部532上表面的面積 縮小，也能夠提高箱內吸引部536的吸引效率。但是，在上述實施方式中， 通過在上段箱部532內部設置的傾斜面537 539來防止產生霧狀的有機EL 材料，并由箱內吸引部536來吸引在產生霧狀的有機EL材料時霧化的有機 EL材料。從而，即使上段箱部532的上表面處于開放狀態，若霧狀的有機 EL材料不會飛向上段箱部532外部、且并不期待借助于上述上板構件533提 高吸引效率的效果，則上板構件533不設置也可。
還有，在上述方式中，在每當噴嘴單元50沿著X軸方向直線移動時，通 過使載物臺21向Y軸方向只移動規定間隔，使噴嘴單元50和載物臺21相對 于該Y軸方向的相對位置關系發生變化，但本發明并不僅限定于此。例如， 在每當噴嘴單元50沿著X軸方向直線移動時，通過該噴嘴單元50向Y軸方 向只移動規定間隔(也就是說，有機EL涂敷機構5向Y軸方向移動)，使 噴嘴單元50和載物臺21相對于該Y軸方向的相對位置關系發生變化也可。 此時，液體接受部53與有機EL涂敷機構5 —起向Y軸方向移動規定間隔。
另外，在上述實施方式中，在紅、綠、藍色當中，通過三個為一組的噴 嘴52a 52c，使紅色有機EL材料流入基板P的溝槽內，但該涂敷工序是制造 有機EL顯示裝置的中間工序。制造有機EL顯示裝置時的處理順序為如下 涂敷空穴輸送材料(PEDOT)—干燥—涂敷紅色有機EL材料4干燥—涂敷 綠色有機EL材料—干燥—涂敷藍色有機EL材料—干燥。在這種情況下，本 發明的涂敷裝置能夠采用分別涂敷空穴輸送材料、紅色有機EL材料、綠色有 機EL材料、以及藍色有機EL材料的工序。另外，從噴嘴52a 52c分別噴出紅、綠、藍色有機EL材料也可。在這種 情況下，在一個涂敷工序中形成按照紅、綠、藍色順序排列的所謂帶狀排列。 另外，在上述實施方式中，采用三個為一組的噴嘴52a 52c使有機EL材料流 入到基板P的各溝槽內，而通過將該三個為一組的噴嘴52a 52c設置多個， 使有機EL材料流入基板P的各溝槽內也可。在這種情況下，若與各噴嘴組朝 向X軸方向進行動作的位置相對應而分別設置液體接受部53，則能夠縮短在 涂敷處理中所需要的時間，同時獲得本發明的效果。
另外，在上述實施方式中，將有機EL顯示裝置的制造裝置作為一個例子 進行了說明，其中該有機EL顯示裝置采用有機EL材料或者空穴輸送材料作 為涂敷液，但本發明也適用于其他的涂敷裝置中。例如，也能夠適用于涂敷 熒光材料的裝置中，該熒光材料在制造抗蝕液、SOG (Spin On Glass:旋涂玻 璃)液或者PDP (等離子顯示器面板)時使用。另外，也能夠適用于涂敷用 于制造彩色過濾器所使用的彩色材料的裝置中，其中該彩色過濾器是為了以 彩色顯示液晶彩色顯示器而在液晶單元內構成。
本發明的涂敷裝置，能夠可靠地回收噴出到作為被涂敷體的基板外的涂 敷液，因此作為將液柱狀態的涂敷液對基板進行涂敷的裝置等而有用。
以上詳細說明了本發明，但上述說明在所有的方面只不過是本發明的舉 例說明，所以并不僅限定于該范圍內。只要不脫離本發明的范圍，當然可以 進行種種改進或變形。
權利要求
1. 一種涂敷裝置，是通過對基板上噴出涂敷液來涂敷該涂敷液的涂敷裝 置，其中該涂敷液是朝向鉛垂下方呈直線棒狀的液柱狀態的涂敷液，其特征 在于，該涂敷裝置包括噴嘴，從其前端部以所述液柱狀態噴出所述涂敷液； 載物臺，其上表面用于裝載所述基板；噴嘴移動機構，其在所述載物臺上的空間中，在橫穿該載物臺面的方向 上使所述噴嘴進行往復移動；液體接受部，其在所述噴嘴移動機構使所述噴嘴沿著所述橫穿的方向移 動并由該噴嘴向著從所述載物臺上偏離的位置噴出所述涂敷液時，接受從該 噴嘴向所述載物臺外噴出的所述涂敷液，所述液體接受部包括有傾斜面，該傾斜面在配置于從所述載物臺上偏離 的位置處的所述噴嘴的前端部的垂直下方的位置，向著所述橫穿的方向延伸 設置，并相對于與該橫穿的方向相垂直的水平方向而傾斜，所述液體接受部使配置于從所述載物臺上偏離的位置處的所述噴嘴所噴 出的涂敷液以所述液柱狀態涂敷附著于所述傾斜面上進行回收。
2. 如權利要求1所述的涂敷裝置，其特征在于，所述液體接受部還包括有吸引裝置，該吸引裝置對涂敷液在所述傾斜面 上涂敷附著的位置附近的空間的氣體進行吸引。
3. 如權利要求2所述的涂敷裝置，其特征在于，所述吸引裝置具有至少一個吸引口，該吸引口位于涂敷液在所述傾斜面 上涂敷附著的位置的下方，對該傾斜面上部空間的氣體進行吸引。
4. 如權利要求3所述的涂敷裝置，其特征在于，所述液體接受部還包括有隔開構件，該隔開構件與所述傾斜面隔開規定 的間隔而與該傾斜面平行，并固定設置在所述傾斜面的上部空間的一部分中， 所述吸引口設置于所述傾斜面的下端與所述隔開構件之間。
5. 如權利要求2所述的涂敷裝置，其特征在于，所述吸引裝置，將涂敷液在所述傾斜面上涂敷附著的位置附近的空間的氣體向沿著該傾斜面的上表面的下方進行吸引。
6. 如權利要求1或2所述的涂敷裝置，其特征在于，所述傾斜面上涂敷附著所述涂敷液的位置位于所述垂直下方的位置，該 垂直下方的位置是與從所述噴嘴噴出的涂敷液從所述液柱狀態開始分裂的高 度相比更靠近該噴嘴側的位置。
7. 如權利要求6所述的涂敷裝置，其特征在于，所述傾斜面由一個平面形成，該一個平面相對于與所述橫穿的方向相垂 直的水平方向而向一個方向傾斜。
8. 如權利要求6所述的涂敷裝置，其特征在于，所述傾斜面是由兩個平面構成的谷形，該兩個平面相對于與所述橫穿的 方向相垂直的水平方向而分別向兩個方向傾斜。
9. 如權利要求6所述的涂敷裝置，其特征在于，所述傾斜面是由兩個平面構成的山形，該兩個平面相對于與所述橫穿的 方向相垂直的水平方向而分別向兩個方向傾斜。
全文摘要
本發明涉及一種涂敷裝置，噴嘴從其前端部以液柱狀態噴出涂敷液；載物臺將基板裝載在其上表面上；噴嘴移動機構在載物臺上的空間中，在橫穿該載物臺面的方向上使噴嘴進行往復移動；液體接受部，其包括有傾斜面，在噴嘴移動機構使噴嘴沿著橫穿的方向移動并由該噴嘴向著從載物臺上偏離的位置噴出涂敷液時，接受從該噴嘴向載物臺外噴出的涂敷液。傾斜面在配置于從載物臺上偏離的位置處的噴嘴的前端部的垂直下方的位置，向著橫穿的方向延伸設置，并相對于與該橫穿的方向相垂直的水平方向而傾斜。液體接受部使配置于從載物臺上偏離的位置處的噴嘴所噴出的涂敷液以液柱狀態涂敷附著于傾斜面上進行回收。
文檔編號B05B13/02GK101310870SQ200810004929
公開日2008年11月26日 申請日期2008年1月29日 優先權日2007年5月22日
發明者增市干雄, 川越理史, 松家毅, 相良秀一, 高村幸宏 申請人:大日本網目版制造株式會社