專利名稱：液滴噴出方法、電光學(xué)裝置及電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液滴噴出方法、電光學(xué)裝置及電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
噴墨打印機(jī)的液滴噴頭能以點(diǎn)狀噴出微小的墨滴，在墨滴的大小和間距(pitch)的均勻性方面精度極高。該技術(shù)被應(yīng)用在各種產(chǎn)品、例如電光學(xué)裝置等的制造領(lǐng)域。例如，可以在形成液晶裝置的濾色器或有機(jī)EL顯示裝置的發(fā)光部等的膜的情況下使用。
具體而言，使液滴噴頭中包含特殊的墨水或感光性樹脂液等(功能液)，對(duì)設(shè)置于基板上的被噴出部噴出該功能液的液滴(例如，參照專利文獻(xiàn)1。)。近年來，由于用于電光學(xué)裝置的濾色器或發(fā)光部上大多形成有多種顏色，所以將多種功能液通過不同的裝置噴在基板上。
在使用專利文獻(xiàn)1所述的裝置的情況下，由于通過不同的裝置在基板上噴出多種功能液，所以整體的噴出時(shí)間變長。鑒于此，為了縮短噴出時(shí)間，考慮用1個(gè)裝置噴出所有種類的功能液。
另外，設(shè)置于基板上的被噴出部與功能液的液滴相比，通常容積較大，由于通過一次掃描不能完全裝滿功能液，所以，需進(jìn)行多次掃描。而且，與功能液的液滴大小相比，被噴出部的底面積大，所以，為使功能液在被噴出部內(nèi)不會(huì)產(chǎn)生不均勻，在各掃描中，使功能液在被噴出部底面整體均勻地噴出。
專利文獻(xiàn)1特開2004-267927號(hào)公報(bào)但是，若通過多次掃描在被噴出部貯存功能液，則在朝向該被噴出部新噴出的功能液彈落時(shí)會(huì)產(chǎn)生彈回的情況。特別是在被噴出部的周緣部，彈回的功能液可能從被噴出部濺出，而與其他種類的功能液、例如保持在鄰接的被噴出部上的功能液混合。進(jìn)而，在噴出的功能液與劃分各被噴出部的隔壁上部接觸的情況下，也存在功能液的彈回和附著于上部的功能液流動(dòng)而與非目標(biāo)的被噴出部、即其他被噴出部的功能液混合的可能性。在光電學(xué)裝置中，若不同種類的功能液發(fā)生混合，則會(huì)導(dǎo)致對(duì)比度下降。另外，即使在相同種類的功能液彼此混合的情況下，也存在因成為目標(biāo)的被噴出部上沒有收容目標(biāo)量的功能液，而引起濃度不均的可能性。
發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述問題，本發(fā)明的目的在于提供可抑制功能液的意外混合、特別是不同種類的功能液彼此混合的液滴噴出方法、電光學(xué)裝置及電子設(shè)備。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明所涉及的液滴噴出方法，一邊使基板和噴出噴頭相對(duì)進(jìn)行掃描，一邊在所述基板上噴出功能液的液滴，其特征在于，所述噴出噴頭噴出多種功能液，在所述基板上，設(shè)置有多個(gè)保持被噴出的所述功能液的被噴出部，使設(shè)置有所述被噴出部的基板和所述噴出噴頭相對(duì)進(jìn)行多次掃描，在所述多次掃描中，對(duì)所述每個(gè)被噴出部至少進(jìn)行一次用于對(duì)各被噴出部的整個(gè)區(qū)域噴出所述功能液的整體噴出掃描，并且，在除了所述整體噴出掃描以外的掃描中，進(jìn)行以避開所述被噴出部的周緣部中的至少一部分的方式噴出所述功能液的部分噴出掃描。
根據(jù)本發(fā)明，由于在整體噴出掃描以外的掃描中，進(jìn)行了以避開被噴出部的周緣部中的至少一部分的方式噴出功能液的部分噴出掃描，所以，可防止功能液的液滴彈落于被噴出部的周緣部。由此，由于可防止從被噴出部的周緣部濺出功能液，結(jié)果，可大幅度減少從被噴出部濺出的功能液自身，所以，可抑制不同種類的功能液彼此的混合。另外，由于在多次掃描中，對(duì)各被噴出部至少進(jìn)行1次整體噴出掃描，所以，使得功能液不會(huì)在被噴出部上產(chǎn)生不均，使得功能液在整個(gè)被噴出部均勻地濡濕擴(kuò)散。
而且，優(yōu)選在所述部分噴出掃描中，以避開所述被噴出部的整個(gè)周緣部的方式噴出所述功能液。
根據(jù)本發(fā)明，由于在部分噴出掃描中，以避開被噴出部的整個(gè)周緣部的方式噴出功能液的液滴，所以，即使該功能液彈落時(shí)產(chǎn)生彈回，利用該周緣部也可以在被噴出部的周圍確保足夠的距離，因此，彈回的功能液幾乎不會(huì)超過被噴出部而濺出。因此，可抑制不同種類的功能液彼此混合。
另外，優(yōu)選在全掃描的最初，進(jìn)行所述整體噴出掃描。
根據(jù)本發(fā)明，通過在全掃描的最初進(jìn)行整體噴出掃描，功能液可以在整個(gè)被噴出部均勻地濡濕擴(kuò)散。由此，可防止功能液的不均勻，使所形成的膜的厚度均勻。
另外，優(yōu)選交替進(jìn)行所述整體噴出掃描和所述部分噴出掃描。
根據(jù)本發(fā)明，通過交替進(jìn)行整體噴出掃描和部分噴出掃描，可以將被噴出部上的功能液液面的高度保持均勻。由此，可防止功能液的不均勻，可使所形成的膜的厚度均勻。
另外，優(yōu)選隨著保持于所述被噴出部的功能液的量增加，使所述功能液的噴出量減少。
根據(jù)本發(fā)明，通過隨著保持于被噴出部的功能液的體積增加，使功能液的噴出量漸漸減少，可使功能液彈落的作用力變小。由此，可抑制功能液彈落時(shí)的彈回本身。
另外，優(yōu)選所述掃描具有邊噴出所述功能液邊掃描的工序、和不噴出所述功能液而進(jìn)行掃描的工序，在噴出所述功能液的工序中，與不噴出所述功能液的工序相比，掃描速度變低。
根據(jù)本發(fā)明，通過噴出功能液時(shí)掃描速度變低，即使在較窄的區(qū)域，也可噴出較多的功能液。由此，可提高噴出的精度及掃描效率。
另外，優(yōu)選多次進(jìn)行所述部分噴出掃描，在所述各部分噴出掃描中，對(duì)各被噴出部于相同的位置噴出液滴。
根據(jù)本發(fā)明，由于在部分噴出掃描中，對(duì)各被噴出部于相同位置噴出液滴，可容易地進(jìn)行噴出噴頭的位置控制。
并且，優(yōu)選所述部分噴出掃描對(duì)與所述整體噴出掃描相同的范圍，或者比所述整體噴出掃描靠向內(nèi)側(cè)作為范圍的所述被噴出部進(jìn)行噴出。
由此，抑制了功能液的彈回，不會(huì)與其他功能液彼此混合。
本發(fā)明的另一觀點(diǎn)所涉及的電光學(xué)裝置，其特征在于，包含利用上述液滴噴出方法噴出功能液的基板。
根據(jù)本發(fā)明，由于利用了可抑制不同種類的功能液彼此混合的液滴噴出方法噴出功能液的液滴，所以不同的功能液不會(huì)混合，可得到對(duì)比度高的電光學(xué)裝置。
并且，本發(fā)明的另一觀點(diǎn)所涉及的電子設(shè)備，其特征在于，搭載有上述的電光學(xué)裝置。
根據(jù)本發(fā)明，由于搭載有對(duì)比度高的電光學(xué)裝置，所以可得到顯示性能優(yōu)良的電子設(shè)備。
另外，本發(fā)明是一種液滴噴出裝置，一邊使基板和噴出噴頭相對(duì)進(jìn)行掃描，一邊在所述基板上噴出多種功能液的液滴，所述基板設(shè)置有分別保持所述多種功能液的多個(gè)被噴出部，所述噴出噴頭噴出多種功能液，其特征在于，具有掃描驅(qū)動(dòng)部，使所述基板和所述噴出噴頭相對(duì)進(jìn)行多次掃描；和噴頭驅(qū)動(dòng)部，在所述多次掃描中的至少1次掃描中，以避開所述各被噴出部的周緣部的方式進(jìn)行所述各功能液的噴出。
根據(jù)本發(fā)明，由于以避開被噴出部的周緣部的方式噴出功能液，所以，可防止功能液的液滴彈落于被噴出部的周緣部。由此，可防止從被噴出部的周緣部濺出功能液，結(jié)果可大幅度減少從被噴出部濺出的功能液本身，因此，可抑制相鄰的被噴出部所保持的不同種類的功能液彼此的混合。另外，即使保持于相鄰被噴出部上的功能液為同一種類的情況下，也可使濺出的功能液不會(huì)進(jìn)入其他被噴出部，而不會(huì)使各被噴出部的功能液的量產(chǎn)生增減。
圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的液晶裝置的結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖2是表示本實(shí)施方式所涉及的濾色器基板的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖3是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出裝置的整體結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖4是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出裝置的臺(tái)架的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖5是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出裝置的噴頭的外部結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖6是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出裝置的噴頭的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的圖。
圖7是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出裝置的控制部結(jié)構(gòu)的框圖。
圖8是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出裝置的噴頭驅(qū)動(dòng)部的結(jié)構(gòu)的圖。
圖9是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出方法的圖(之一)。
圖10是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出方法的圖(之二)。
圖11是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出方法的圖(之三)。
圖12是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出方法的圖(之四)。
圖13是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出方法的圖(之五)。
圖14是表示本發(fā)明所涉及的電子設(shè)備的結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖中1-液晶裝置；2-有源矩陣基板；3-濾色器基板；10A-基體；16-濾色器；18、18R、18G、18B-被噴出部；100-液滴噴出裝置(噴出裝置)；103-臺(tái)架(carriage)；106-載物臺(tái)(stage)；111、111R、111G、111B-液體材料；114、114R、114G、114B-噴頭；114P-噴頭組；114G-噴頭；118-噴嘴；300-便攜電話。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。在下面的圖中，為了將各部件做成能認(rèn)知的大小，故對(duì)比例尺進(jìn)行適當(dāng)?shù)母淖儭?br>
(電光學(xué)裝置)圖1是表示本實(shí)施方式所涉及的液晶裝置1的結(jié)構(gòu)的立體圖。
如該圖所示，液晶裝置1構(gòu)成為以液晶面板40和背光燈41為主體的結(jié)構(gòu)。液晶面板40的結(jié)構(gòu)如下有源矩陣基板2和濾色器基板3介由密封材料26粘著在一起，在該有源矩陣基板2和濾色器基板3及密封材料26之間夾持有液晶6。圖中以虛線表示的顯示區(qū)域2a是顯示圖像或動(dòng)畫等的區(qū)域。
另外，本實(shí)施方式的液晶裝置1采用了使用雙端子型非線性元件即薄膜二極管(TFD)元件作為開關(guān)元件的有源矩陣方式的液晶裝置，當(dāng)然也可以使用例如將薄膜晶體管(TFT)元件作為開關(guān)元件的液晶裝置、或無源矩陣方式的液晶裝置。而且，液晶面板40是通過將兩枚大張的母基板粘合、切斷而形成的(得到多個(gè))。兩張母基板有生成濾色器基板3的濾色器側(cè)母基板、和生成有源矩陣基板2的有源矩陣側(cè)母基板。
圖2是表示濾色器基板3的結(jié)構(gòu)的俯視圖。圖2(a)是表示濾色器基板3的整體結(jié)構(gòu)的圖，圖2(b)是放大表示濾色器基板3的一部分的圖。
如圖2(a)所示，濾色器基板3是通過例如玻璃或塑料等透明材料而形成的矩形基板。在濾色器基板3上設(shè)置有遮光層13，與由遮光層13圍成的區(qū)域(像素區(qū)域)對(duì)應(yīng)，設(shè)置具有作為各像素的紅色層16R、綠色層16G、藍(lán)色層16B的濾色器16。另外，在本實(shí)施方式中，該濾色器16的紅色層16R、綠色層16G以及藍(lán)色層16B是通過噴墨方式形成的，所以在以下說明中，也將各像素區(qū)域稱作“被噴出部”。
另外，在濾色器基板3上，以覆蓋該濾色器16的方式形成有涂敷層(未圖示)，在涂敷層上形成有取向膜(未圖示)。該取向膜是由例如聚酰亞胺等構(gòu)成，表面經(jīng)過研磨處理的水平取向膜。
另外，如圖2(b)所示，對(duì)于一個(gè)紅色層16R(或綠色層16G、藍(lán)色層16B)來說，其設(shè)置成短邊的長度S例如為170μm左右，長邊的長度L例如為510μm左右的矩形。另外，關(guān)于鄰接的濾光器16彼此的間隔，行方向的間隔T1約為20μm，列方向的間隔T2約為40μm。
(液滴噴出裝置)接著，對(duì)本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出裝置(以下稱作“噴出裝置”)100進(jìn)行說明。
如圖3所示，噴出裝置100構(gòu)成為以保持液體材料111的容器101、介由管110從容器101供給液體材料111的噴出掃描部102為主體的結(jié)構(gòu)。
液體材料111有三種，分別是例如上述液晶裝置1的構(gòu)成濾色器16的紅色層16R的材料(以下稱作“紅色液體材料”)111R、構(gòu)成綠色層16G的材料(以下稱作“綠色液體材料”)111G、和構(gòu)成藍(lán)色層16B的材料(以下稱作“藍(lán)色液體材料”)111B。
容器101具有保持紅色液體材料111R的紅色材料容器101R、保持綠色液體材料111G的綠色材料容器101G、和保持藍(lán)色液體材料111B的藍(lán)色材料容器101B，其用于分別保持上述的三種液體材料111(111R、111G、111B)。在各容器101(111R、111G、111B)中，安裝有例如未圖示的壓力泵。通過驅(qū)動(dòng)該壓力泵對(duì)容器101內(nèi)部施加壓力，來使液體材料111從容器101內(nèi)向噴出掃描部102供給。
這里，作為紅色液體材料111R，例如使用如下的溶液，即在將紅色的無機(jī)顏料(例如紅色氧化鐵(III)或鎘紅等)分散到聚氨基甲酸酯低聚物之后，添加二甘醇-丁醚乙酸酯作為溶劑，并且添加非離子系界面活性劑作為分散劑，將粘度調(diào)整到規(guī)定范圍而得到的溶液。
另外，作為綠色液體材料111G，例如使用如下的溶液，即在將綠色的無機(jī)顏料(例如，氧化鉻綠或鈷綠等)分散到聚氨基甲酸酯低聚物之后，添加環(huán)己酮以及乙酸丁酯作為溶劑，并添加非離子系界面活性劑作為分散劑，將粘度調(diào)整到規(guī)定范圍而得到的溶液。
另外，作為藍(lán)色液體材料111B，例如使用如下的溶液，即在將藍(lán)色的無機(jī)顏料(例如，群藍(lán)或普魯士藍(lán)等)分散到聚氨基甲酸酯低聚物之后，添加二甘醇-丁醚乙酸酯作為溶劑，并添加非離子系界面活性劑作為分散劑，將粘度調(diào)整到規(guī)定范圍而得到的溶液。
噴出掃描部102具有保持多個(gè)噴頭114(參照?qǐng)D4)的臺(tái)架103、控制臺(tái)架103的位置的臺(tái)架位置控制裝置104、保持構(gòu)成濾色器側(cè)母基板的基體10A的載物臺(tái)106、控制載物臺(tái)106的位置的載物臺(tái)位置控制裝置108、和控制部112。另外，實(shí)際上在噴出裝置100上設(shè)置有多個(gè)(例如10個(gè))臺(tái)架103。在圖3中，為了簡化說明，圖示了1個(gè)臺(tái)架103來進(jìn)行說明。
臺(tái)架位置控制裝置104具有如下功能，即根據(jù)來自控制部112的信號(hào)，使臺(tái)架103沿著X軸方向或Z軸方向移動(dòng)。載物臺(tái)位置控制裝置108具有如下功能，即根據(jù)來自控制部112的信號(hào)，使載物臺(tái)106沿著Y軸方向移動(dòng)。
如上所述，臺(tái)架103通過臺(tái)架位置控制裝置104的控制在X軸方向移動(dòng)。另一方面，載物臺(tái)106通過載物臺(tái)位置控制裝置108的控制在Y軸方向上移動(dòng)。即，通過臺(tái)架位置控制裝置104以及載物臺(tái)位置控制裝置108，使得噴頭114相對(duì)載物臺(tái)106的相對(duì)位置發(fā)生改變。
即，通過使臺(tái)架103以及載物臺(tái)106中的兩方或任一方移動(dòng)，使得臺(tái)架103可以掃描載物臺(tái)106(或由載物臺(tái)106保持的基體10A)。下面，對(duì)在本實(shí)施方式中，通過使臺(tái)架103靜止、使載物臺(tái)106移動(dòng)來進(jìn)行掃描的情況進(jìn)行說明。
圖4是從載物臺(tái)106一側(cè)觀察1個(gè)臺(tái)架103的圖，與圖4的紙面垂直的方向是Z軸方向。另外，圖4紙面的左右方向是X軸方向，紙面的上下方向是Y軸方向。
如該圖所示，臺(tái)架103保持分別具有相同結(jié)構(gòu)的多個(gè)噴頭114。在噴頭114上有三種噴頭，分別是噴出液體材料111中的紅色液體材料111R的噴頭114R、噴出綠色液體材料111G的噴頭114G、噴出藍(lán)色液體材料111B的噴頭114B。
在臺(tái)架103上，于2處設(shè)置有噴頭組114P。在各噴頭組114P中，沿Y軸方向以直線狀分別設(shè)置有2個(gè)噴頭114R、2個(gè)噴頭114G、2個(gè)噴頭114B。因此，在1個(gè)臺(tái)架103上，分別設(shè)置有4個(gè)噴頭114R、4個(gè)噴頭114G、4個(gè)噴頭114B，噴頭114的數(shù)量總計(jì)為12個(gè)。
圖5是表示噴頭114的底面114a的圖。底面114a的形狀是具有相對(duì)向的2條長邊以及相對(duì)向的2條短邊的矩形。該底面114a朝向載物臺(tái)106一側(cè)(圖中的Z軸方向)。噴頭114的長邊方向和圖中的X軸方向平行，另外，噴頭114的短邊方向與圖中Y軸方向平行。
而且，在該底面114a上，沿著X軸方向配置有兩列(噴嘴列116A和噴嘴列116B)噴嘴118，每列例如為90個(gè)。并且，各噴嘴118的噴嘴直徑r約為30μm。噴嘴列116A側(cè)的噴嘴118和噴嘴列116B側(cè)的噴嘴118分別在各列中以規(guī)定的噴嘴間距LNP(LNP約為140μm)配置。
并且，噴嘴列116B的各噴嘴118的位置，相對(duì)于噴嘴列116A的各噴嘴118的位置，被配置成僅以噴嘴間距LNP的一半長度(約為70μm)向X軸方向的負(fù)方向(圖5的下方向)錯(cuò)位。另外，在噴頭114上設(shè)置的噴嘴列也可以不是兩列?？梢栽黾恿袛?shù)，例如為3列、4列、…M列(M為自然數(shù))，或還可以是1列。
由于噴嘴列116A以及噴嘴列116B分別由90個(gè)噴嘴構(gòu)成，所以，在1個(gè)噴頭114上設(shè)置有180個(gè)噴嘴。其中，從噴嘴列116A的兩端至第五個(gè)噴嘴不噴出液體材料111(休止噴嘴圖5中被虛線包圍的部分)。
同樣，從噴嘴列116B的兩端至第五個(gè)噴嘴也是不噴出液體材料111的休止噴嘴(圖5中被虛線包圍的部分)。因此，在噴頭114上的180個(gè)噴嘴118中，除了兩端的20個(gè)噴嘴以外的160個(gè)噴嘴118，被設(shè)置成噴出液體材料111(噴出噴嘴)。
在本說明書中，在噴嘴列116A所包含的90個(gè)噴嘴118中，將從圖中上端數(shù)第六個(gè)噴嘴118標(biāo)記為噴頭114的“基準(zhǔn)噴嘴118R”。即，噴嘴列116A的80個(gè)噴出噴嘴中，位于圖中最上部的噴出噴嘴是噴頭114的“基準(zhǔn)噴嘴118R’。另外，對(duì)于所有的噴頭114，由于只要“基準(zhǔn)噴嘴118R’的指定方法相同即可，所以“基準(zhǔn)噴嘴118R”的位置不是上述位置也可以。
接著，對(duì)噴頭114的內(nèi)部結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。如圖6(a)以及圖6(b)所示，各個(gè)噴頭114是噴墨式噴頭。更具體而言，各個(gè)噴頭114具有振動(dòng)板126和噴嘴板128。在振動(dòng)板126和噴嘴板128之間設(shè)置有存液部129，其始終填充有經(jīng)由孔131從容器101供給的液體材料111。
另外，在振動(dòng)板126和噴嘴板128之間設(shè)置有多個(gè)隔壁122。而且，通過振動(dòng)板126、噴嘴板128和一對(duì)隔壁122圍成的部分是腔120。腔120按每個(gè)噴嘴118來設(shè)置，因此，腔120的數(shù)量和噴嘴118的數(shù)量相同。液體材料111經(jīng)由在一對(duì)隔壁122之間設(shè)置的供給口130，從存液部129供給到腔120中。
在振動(dòng)板126上，振動(dòng)件124位于與各個(gè)腔120相對(duì)應(yīng)的位置。振動(dòng)件124具有壓電元件124C、夾著壓電元件124C的對(duì)電極124A和124B。通過在該對(duì)電極124A和124B之間施加驅(qū)動(dòng)電壓，會(huì)從對(duì)應(yīng)的噴嘴118噴出液體材料111。另外，調(diào)整噴嘴118的形狀，使得從噴嘴118在Z軸方向上噴出液狀材料。另外，也可以具有電熱變換元件來取代壓電元件。即，可以具有利用由電熱變換元件引起的材料的熱膨脹來噴出液體材料111的結(jié)構(gòu)。
接著，說明控制部112的結(jié)構(gòu)。圖7是表示控制部112結(jié)構(gòu)的框圖。
控制部112是與噴出液體材料111的定時(shí)、臺(tái)架103的固定位置、載物臺(tái)106的移動(dòng)(移動(dòng)速度、移動(dòng)距離等)等、噴出裝置100的動(dòng)作相關(guān)地進(jìn)行總括控制的部位。
如圖7所示，控制部112具有輸入緩沖存儲(chǔ)器200、存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)202、處理部204、掃描驅(qū)動(dòng)部206和噴頭驅(qū)動(dòng)部208，各部分之間被連接成可進(jìn)行通信。
輸入緩沖存儲(chǔ)器200從與外部連接的例如信息處理裝置等，取得用于進(jìn)行噴出液體材料111的液滴的噴出數(shù)據(jù)。輸入緩沖存儲(chǔ)器200向處理部204供給噴出數(shù)據(jù)，處理部204將噴出數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)202中。作為存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)202，可使用例如RAM等。
處理部204訪問在存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)202內(nèi)存儲(chǔ)的噴出數(shù)據(jù)，并基于該噴出數(shù)據(jù)，向掃描驅(qū)動(dòng)部206以及噴頭驅(qū)動(dòng)部208供給必要的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。
掃描驅(qū)動(dòng)部206基于驅(qū)動(dòng)信號(hào)，向臺(tái)架位置控制裝置104以及載物臺(tái)位置控制裝置108供給規(guī)定的控制信號(hào)。另外，噴頭驅(qū)動(dòng)部208基于驅(qū)動(dòng)信號(hào)，向各噴頭114供給噴出液體材料111的噴出信號(hào)。
噴頭驅(qū)動(dòng)部208如圖8(a)所示，具有1個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)生成部203和多個(gè)模擬開光AS。模擬開關(guān)AS與噴頭114內(nèi)的振動(dòng)件124連接(具體而言，與電極124A連接。但電極124A在圖8(a)中沒有表示)。該模擬開關(guān)AS被設(shè)置成與噴嘴118分別對(duì)應(yīng)，因此，其數(shù)量與噴嘴118的個(gè)數(shù)相同。
驅(qū)動(dòng)信號(hào)生成部203生成如圖8(b)所示的驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS。驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS被獨(dú)立地供給模擬開關(guān)AS的各個(gè)輸入端子。驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS的電位相對(duì)于基準(zhǔn)電位V隨時(shí)間變化。即，驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS是多個(gè)噴出波形P以噴出周期EP而重復(fù)的信號(hào)。噴出周期EP通過例如處理部204而被調(diào)節(jié)成所期望的值?？赏ㄟ^適當(dāng)調(diào)節(jié)該噴出周期EP，生成噴出信號(hào)，使得以規(guī)定的順序從多個(gè)噴嘴118噴出液體材料111。這樣，可控制噴出的定時(shí)。
另外，除可控制噴出的定時(shí)外，還可進(jìn)行控制使得掃描驅(qū)動(dòng)部206和噴頭驅(qū)動(dòng)部208連動(dòng)。例如，在進(jìn)行邊掃描載物臺(tái)106邊噴出液體材料111的動(dòng)作時(shí)，可控制使得與不噴出液體材料111期間相比，噴出液體材料111期間載物臺(tái)106的移動(dòng)速度更慢、即降低掃描速度。進(jìn)而，可通過掃描中的載物臺(tái)106和噴頭114(或者噴嘴118)的相對(duì)位置關(guān)系，控制液體材料111的噴出、不噴出。
另外，控制部112也可控制從噴嘴118噴出的液體材料111的體積?？煞謩e對(duì)各噴嘴118單獨(dú)進(jìn)行對(duì)該液體材料111的體積的控制。從各噴嘴118噴出的液體材料111的體積，在0pl～42pl(皮升)之間可變。
另外，控制部112也可以是包含有CPU、ROM、RAM的計(jì)算機(jī)。在這種情況下，控制部112的上述功能由計(jì)算機(jī)執(zhí)行的軟件程序?qū)崿F(xiàn)。當(dāng)然，控制部112也可由專用的電路(硬件)來實(shí)現(xiàn)。
(液晶裝置的制造方法(液滴噴出方法))接著，對(duì)如此構(gòu)成的液晶裝置1的制造工序進(jìn)行說明。
在本實(shí)施方式中，以使用大面積的母基板一并形成多個(gè)液晶裝置，并通過切斷分離成一個(gè)一個(gè)的液晶裝置1的方法為例進(jìn)行說明。
首先，對(duì)濾色器側(cè)母基板的形成工序進(jìn)行簡單的說明。
在噴出裝置100的載物臺(tái)106上保持基體10A。在該基體10A上形成有保持濾色器16各層的被噴出部18(18R、18G、18B.參照?qǐng)D9等)。在被噴出部18R上保持紅色層16R，在被噴出部18G上保持綠色層16G，在被噴出部18B上保持藍(lán)色層16B。另外，在將基體10A保持在載物臺(tái)106上時(shí)，進(jìn)行位置調(diào)節(jié)，使得基體10A的短邊方向與X軸方向一致，長邊方向與Y軸方向一致。
在該狀態(tài)下，如圖9所示，使載物臺(tái)106從圖中的左側(cè)向右側(cè)移動(dòng)。臺(tái)架103例如從圖中右側(cè)向左側(cè)掃描基體10A。此時(shí)，臺(tái)架103在基體10A上進(jìn)行掃描的同時(shí)，從各噴頭114向各被噴出部18的底面18L整體噴出液體材料111的液滴(整體噴出掃描)。例如，通過第1次掃描，如圖9所示，向圖中最上行的各被噴出部18噴出了紅色液體材料111R、綠色液體材料111G、藍(lán)色液體材料111B的液滴。此時(shí)，可適當(dāng)設(shè)定對(duì)在多行范圍內(nèi)設(shè)置的被噴出部18中的哪一行噴出液體材料111的液滴。
接著，如圖10所示，使載物臺(tái)106從圖中右側(cè)向左側(cè)移動(dòng)。臺(tái)架103沿與第1次掃描相反的方向、即從圖中左側(cè)向右側(cè)在基體10A上進(jìn)行掃描。此時(shí)，臺(tái)架103掃描基體10A的同時(shí)，從各噴頭114噴出液體材料111的液滴。
在該掃描中，對(duì)還沒有被噴出液體材料111的液滴的被噴出部18噴出液體材料111。例如如圖10所示，對(duì)在第1次掃描時(shí)，沒有被噴出液體材料111的從圖中上方數(shù)第2行的各被噴出部18噴出紅色液體材料111R、綠色液體材料111G、藍(lán)色液體材料111B的液滴。一邊在多行范圍內(nèi)設(shè)置的被噴出部18中選擇未噴出有液體材料111的被噴出部18的行，一邊噴出液體材料111的液滴，直到對(duì)各被噴出部18共計(jì)分別噴出1次液體材料為止，來反復(fù)進(jìn)行整體噴出掃描。
在對(duì)各噴出部18噴出液體材料111時(shí)，必須避免液體材料111與劃分各被噴出部18的隔壁上面接觸。因此，雖說是整體噴出掃描，但某種程度上必需以下述方式噴出，即俯視觀察時(shí)，液滴的彈落中心點(diǎn)比劃分被噴出部的隔壁靠近被噴出部18的內(nèi)側(cè)范圍，優(yōu)選比隔壁靠近內(nèi)側(cè)至少為被噴出液體材料111的液滴徑的半徑以上。進(jìn)而，考慮彈落誤差等，液滴最好在不碰到劃分被噴出部的隔壁的噴出范圍。
圖11是表示對(duì)各被噴出部18共計(jì)分別整體噴出掃描1次液體材料111時(shí)的基體10A的狀態(tài)的圖。圖11(a)是表示設(shè)置于基體10A上的被噴出部18的圖，圖11(b)是該被噴出部18的A-A剖視圖。
在對(duì)各被噴出部18共計(jì)分別整體噴出掃描1次液體材料111的狀態(tài)下，如圖11(a)所示，雖然對(duì)各被噴出部18的整體噴出了液體材料111，但如圖11(b)所示，其處于從被噴出部18的底面18L到液體材料111的液面111S的高度tA，仍低于應(yīng)該保持于被噴出部18內(nèi)的液體材料111的高度TA的狀態(tài)。即，處于對(duì)形成濾光器16的紅色層16R、綠色層16G、藍(lán)色層16B來說，液體材料111的體積不足的狀態(tài)。
因此，在以后的掃描中，對(duì)各噴出部18進(jìn)行掃描，追加噴出液體材料111，使得液面111S的高度tA與目標(biāo)的高度TA大致一致。另外，高度TA可根據(jù)劃分被噴出部的隔壁高度TB適當(dāng)設(shè)定，只要液體材料111因表面張力等不從被噴出部18溢出，則即使高度TA超過劃分被噴出部的隔壁的高度TB也可。
接著，基于圖12及圖13對(duì)液體材料111的追加噴出進(jìn)行說明。其中，圖12是表示該掃描狀態(tài)的圖，與圖9或圖10對(duì)應(yīng)。圖13表示圖12所示的基體10A中的一個(gè)被噴出部18和其周圍的狀態(tài)。
若使載物臺(tái)106例如從圖中左側(cè)向右側(cè)移動(dòng)，則臺(tái)架103例如從圖中右側(cè)向左右在基體10A上進(jìn)行掃描。此時(shí)，臺(tái)架103一邊在基體10A上掃描，一邊以避免各被噴出部18的周緣部18Q(參照?qǐng)D13)的方式，從各噴頭114噴出液體材料111的液滴(部分噴出掃描)。關(guān)于部分噴出掃描，至少不噴出例如如圖10所示的各被噴出部18中的最外周的液滴群111W(液體材料111的液滴中用斜線表示的部分)。
關(guān)于部分噴出掃描，優(yōu)選俯視觀察被噴出部時(shí)，在比整體噴出掃描的噴出范圍靠近內(nèi)側(cè)的范圍進(jìn)行噴出。若液滴不發(fā)生彈回，不與其他液體材料混合，則部分噴出掃描的噴出范圍也可以是與整體噴出掃描的噴出范圍相同的范圍。即使在存在彈回等的情況下，只要俯視觀察被噴出部時(shí)，整體噴出掃描的噴出范圍是足夠的內(nèi)側(cè)范圍，則整體噴出掃描的噴出范圍也可以是與部分噴出掃描相同的范圍。由于可以使部分噴出掃描的噴出范圍接近于整體噴出掃描的噴出范圍，在較寬的范圍進(jìn)行噴出，使得在1次掃描中可噴出的液滴數(shù)目變多，所以，可提高描繪效率。另外，在多次進(jìn)行的各掃描中，也可使液滴彈落于相同位置。通過在各掃描使液滴彈落于相同位置，也可實(shí)現(xiàn)使之前彈落的液體材料擴(kuò)展的效果，從而，可使液體材料遍布被噴出部的每個(gè)角落。
由此，例如如圖12及圖13所示，以避開各被噴出部18的周緣部18Q的方式使液體材料111的液滴噴出到中央部18S。另外，當(dāng)然液可以使不噴出液滴的部分?jǐn)U大，所述不噴出液滴的部分不只指最外周的液滴群111W，還包括從最外周到第2外周的液滴群、從最外周到第3外周的液滴群……。
另外，在本實(shí)施方式中，由于與圖中上下方向的間隔相比，圖中左右方向的間隔設(shè)計(jì)得小，使得彈跳的液體材料111的液滴容易混合，所以，以避開周緣部18Q中特別是圖中左右方向的周緣部的方式噴出液體材料111的液滴。因此，對(duì)圖中最上行的各被噴出部18的中央部18S噴出紅色液體材料111R、綠色液體材料111G、藍(lán)色液體材料111B的液滴。
而且，在該部分噴出掃描中，與整體噴出掃描的情況一樣，可適當(dāng)設(shè)定從多行范圍內(nèi)設(shè)置的被噴出部18中的哪一行噴出液體材料111。另外，對(duì)于臺(tái)架103在基體10A上掃描時(shí)的掃描速度來說，與未噴出液體材料時(shí)的掃描速度相比，從噴頭114噴出液體材料111時(shí)的掃描速度更慢。
當(dāng)處于從被噴出部18的底面18L到液面111S的高度tA與目標(biāo)高度TA大致一致、即為了形成過濾器16的紅色層16R、綠色層16G、藍(lán)色層16B，以足夠體積的液體材料111來填滿的狀態(tài)為止，一直進(jìn)行該部分噴出掃描。
對(duì)此之后的工序進(jìn)行簡單的說明。在形成有濾色器16的基體10A上，形成未圖示的電極和布線等，形成平坦化膜。另外，在基體10A的表面形成間隙控制用的未圖示的隔板以及隔壁。以覆蓋在該基體10A上形成的布線和濾色器的方式形成取向膜，并對(duì)該取向膜實(shí)施研磨處理。取向膜可以通過涂覆或印刷例如聚酰亞胺而形成。另外，將由環(huán)氧樹脂等構(gòu)成的密封材料形成為矩形環(huán)狀，在由密封材料圍成的區(qū)域涂覆液晶。
接著，對(duì)于有源矩陣側(cè)母基板的形成來說，是在由玻璃或塑料等透光性材料構(gòu)成的大張基材上形成布線、電極等，在形成有該布線、電極等的區(qū)域形成平坦化膜。形成平坦化膜之后，形成由聚酰亞胺等構(gòu)成的取向膜，并對(duì)該取向膜實(shí)施研磨處理。
接著，將濾色器側(cè)母基板和有源矩陣側(cè)母基板以面板狀粘合在一起。使兩基板靠近，將有源矩陣側(cè)母基板粘接在濾色器側(cè)母基板上的密封材料上。之后，在粘接后的兩母基板上形成劃線，沿著該劃線切斷面板，對(duì)切斷后的各面板進(jìn)行清洗，并在各面板上安裝驅(qū)動(dòng)器等。在各液晶面板的外側(cè)表面上粘合偏光板、安裝背光燈41，從而完成液晶裝置1。
這樣，根據(jù)本實(shí)施方式，由于在整體噴出掃描以外的掃描中，進(jìn)行了以避開被噴出部18的周緣部18Q的方式噴出液體材料111的部分噴出掃描，所以，可防止液體材料111的液滴彈落于被噴出部18的周緣部18Q。由此，可防止液體材料111從被噴出部18的周緣部18Q濺出，結(jié)果，可大幅度減少從被噴出部18濺出的液體材料111自身，所以，可抑制紅色液體材料111R、綠色液體材料111G以及藍(lán)色液體材料111B分別混合。另外，由于在多次掃描中，對(duì)各被噴出部18至少進(jìn)行1次整體噴出掃描，所以，使得液體材料111不會(huì)在被噴出部18上不均勻，從而，整個(gè)被噴出部18被均勻地濡濕擴(kuò)散。
而且，通過在全掃描的最初進(jìn)行整體噴出掃描，使得之后噴出到各被噴出部18的液體材料111容易在整個(gè)被噴出部18上均勻地濡濕擴(kuò)散。由此，可使所形成的膜的厚度均勻。
并且，由于隨著保持于被噴出部18上的液體材料111的體積增加，慢慢地使液體材料111的噴出量減少，所以，可抑制被噴出的液體材料111彈落時(shí)的彈回本身。
除此之外，在掃描中，與不噴出液體材料111時(shí)相比，噴出液體材料111時(shí)掃描速度降低，由此，即使在較窄的區(qū)域，也可噴出多的液體材料111。從而，可提高噴出的精度及掃描效率。
另外，在多次的部分噴出掃描中，對(duì)各被噴出部18來說，優(yōu)選在相同位置噴出液體材料111。在部分噴出掃描中，通過對(duì)各被噴出部18于相同位置噴出液體材料111，可容易地進(jìn)行噴頭的位置控制。
(電子設(shè)備)接著，對(duì)于本發(fā)明所涉及的電子設(shè)備，以便攜電話為例進(jìn)行說明。
圖14是表示便攜電話300的整體結(jié)構(gòu)的立體圖。
便攜電話300具有框體301；設(shè)置有多個(gè)操作按鈕的操作部302；顯示圖像、動(dòng)畫和文字等的顯示部303。在顯示部303上搭載了本發(fā)明所涉及的液晶裝置1。
這樣，由于搭載了對(duì)比度高的、品質(zhì)良好的液晶裝置1，所以，能得到顯示性能出色的電子設(shè)備(便攜電話300)。
本發(fā)明的技術(shù)范圍并不限于上述實(shí)施方式，在沒有脫離本發(fā)明主旨的范圍內(nèi)可以進(jìn)行適宜的變更。
例如，本發(fā)明以在液晶裝置1的濾色器基板3上形成濾色器層16的情況為例進(jìn)行了說明，但并不限定于該例，例如也可以將本發(fā)明應(yīng)用于在有機(jī)EL裝置用基板上形成有機(jī)層(發(fā)光層等)的情況。
另外，也可以交替進(jìn)行對(duì)整個(gè)被噴出部18噴出液體材料111的整體噴出掃描、和對(duì)被噴出部18的中央部18S噴出液體材料111的部分噴出掃描。通過交替進(jìn)行這些掃描，可以在使保持于被噴出部18上的液體材料111的厚度均勻的同時(shí)，進(jìn)行噴出。由此，可使所形成的濾色器16的紅色層16R、綠色層16G、藍(lán)色層16B的厚度均勻。
另外，在上述實(shí)施方式中，控制部112可以控制從噴嘴118噴出的液體材料111的體積，而作為其一例，也可以根據(jù)保持于被噴出部18上的液體材料111的體積，控制液體材料111的噴出量(體積)。
具體而言，也可構(gòu)成為能夠進(jìn)行控制，使得隨著保持于被噴出部18上的液體材料111的體積變大，而慢慢減小噴出量。由此，由于可使液體材料111彈落的作用力變小，所以，可抑制液體材料111彈落時(shí)的彈回本身。
權(quán)利要求
1.一種液滴噴出方法，一邊使基板和噴出噴頭相對(duì)進(jìn)行掃描，一邊在所述基板上噴出功能液的液滴，所述噴出噴頭噴出多種功能液，在所述基板上，設(shè)置有多個(gè)保持被噴出的所述功能液的被噴出部，使設(shè)置有所述被噴出部的基板和所述噴出噴頭相對(duì)進(jìn)行多次掃描，在所述多次掃描中，對(duì)所述每個(gè)被噴出部至少進(jìn)行一次對(duì)各被噴出部的整個(gè)區(qū)域噴出所述功能液的整體噴出掃描，并且，在所述整體噴出掃描以外的掃描中，進(jìn)行以避開所述被噴出部的周緣部中的至少一部分的方式噴出所述功能液的部分噴出掃描。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出方法，其特征在于，在所述部分噴出掃描中，以避開所述被噴出部的整個(gè)周緣部的方式噴出所述功能液。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的液滴噴出方法，其特征在于，在全掃描的最初，進(jìn)行所述整體噴出掃描。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任意一項(xiàng)所述的液滴噴出方法，其特征在于，交替進(jìn)行所述整體噴出掃描和所述部分噴出掃描。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任意一項(xiàng)所述的液滴噴出方法，其特征在于，隨著保持于所述被噴出部的功能液的量增加，使所述功能液的噴出量減少。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任意一項(xiàng)所述的液滴噴出方法，其特征在于，所述掃描具有邊噴出所述功能液邊掃描的工序、和不噴出所述功能液而進(jìn)行掃描的工序，在噴出所述功能液的工序中，與不噴出所述功能液的工序相比，掃描速度變低。
7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中任意一項(xiàng)所述的液滴噴出方法，其特征在于，多次進(jìn)行所述部分噴出掃描，在所述各部分噴出掃描中，對(duì)各被噴出部于相同的位置噴出液滴。
8.根據(jù)權(quán)利要求1～7中任意一項(xiàng)所述的液滴噴出方法，其特征在于，所述部分噴出掃描對(duì)與所述整體噴出掃描相同的范圍，或者比所述整體噴出掃描靠向內(nèi)側(cè)作為范圍的所述被噴出部進(jìn)行噴出。
9.一種電光學(xué)裝置，包含利用權(quán)利要求1～8中任意一項(xiàng)所述的液滴噴出方法噴出有功能液的基板。
10.一種電子設(shè)備，搭載有權(quán)利要求9所述的電光學(xué)裝置。
11.一種液滴噴出裝置，一邊使基板和噴出噴頭相對(duì)進(jìn)行掃描，一邊在所述基板上噴出多種功能液的液滴，所述基板設(shè)置有分別保持所述多種功能液的多個(gè)被噴出部，所述噴出噴頭噴出所述多種功能液，所述液滴噴出裝置具有掃描驅(qū)動(dòng)部，使所述基板和所述噴出噴頭相對(duì)進(jìn)行多次掃描；和噴頭驅(qū)動(dòng)部，在所述多次掃描中的至少1次掃描中，以避開所述各被噴出部的周緣部的方式進(jìn)行所述各功能液的噴出。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于，提供可抑制不同種類的功能液彼此混合的液滴噴出方法、電光學(xué)裝置及電子設(shè)備。由于在整體噴出掃描以外的掃描中，進(jìn)行以避開被噴出部(18)的周緣部(18Q)的方式噴出液體材料(111)的部分噴出掃描，所以，可防止液體材料(111)的液滴彈落于被噴出部(18)的周緣部(18Q)。由此，可防止液體材料(111)從被噴出部(18)的周緣部(18Q)濺出，結(jié)果，可大幅度減少從被噴出部(18)濺出的液體材料(111)自身，因此，可抑制紅色液體材料(111R)、綠色液體材料(111G)、藍(lán)色液體材料(111B)的分別混合。
文檔編號(hào)B05B13/02GK1883821SQ200610094019
公開日2006年12月27日 申請(qǐng)日期2006年6月21日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月24日
發(fā)明者長江信明, 有賀和巳 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社