狹縫模具、和具有涂膜的基體材料的制造方法以及制造裝置的制作方法

專利名稱：狹縫模具、和具有涂膜的基體材料的制造方法以及制造裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及為了在基體材料表面形成涂膜而使用的狹縫模具(スリツトダイ)。本發明，涉及用該狹縫模具將涂布液涂布在基體材料表面，制造具有涂膜的基體材料的制造方法，以及制造裝置。
作為利用本發明形成涂膜的的基體材料的形態，有薄片形態，或者長條的片狀形態。作為薄片形態的代表例，有玻璃基板。利用本發明制造的薄片形態的基體材料，例如，作為彩色液晶顯示器用濾色片、TFT用陣列基板、等離子顯示器用背面板和前面板、光學濾波器、印制電路板、集成電路、半導體而被使用。利用本發明制造的長條的片狀形態的基體材料，例如，作為薄膜、金屬片、金屬箔、紙而被使用。
背景技術：
狹縫模具，有時也被稱為模嘴(口金)、模具、開縫模具(スロツトダイ)、或者陰模(ダイス)。狹縫模具，被廣泛應用于通過在相互間留有間隔地相對的一對模唇之間形成的模唇間隙，從作為模唇間隙的向外方開口的狹縫狀的吐出口吐出涂布液，在與吐出口隔有間隔地相對配置的基體材料的表面上形成涂布液的涂膜。在涂膜的形成中，狹縫模具和基體材料相對地移動。
作為一例，說明在玻璃基板上具有3原色的細格子圖案的濾色片的狀況。濾色片，通過在玻璃基板上順次涂布黑、紅、藍、綠的涂布液而制造。該濾色片的制造工序，包括在形成光致抗蝕劑材料的涂膜后，在通過光刻加工進行圖形加工之后，形成用于形成注入到濾色片和陣列基板之間的液晶的空間的柱的工序，和形成用于使表面的凹凸細小的覆層涂膜的工序。
在這種涂膜形成工序中，使用的涂布液的粘度為數10mPa·s或其以下，為了可以很容易地形成均勻的涂膜，多使用旋轉器(快速旋轉工具)。但是，到了最近，削減高價的涂布液的消費的情況，和很難隨著涂布的基板的大型化而將裝置大型化的情況互起作用，代替旋轉器，開始采用使用了狹縫模具的金屬型涂料機。
作為該狹縫模具所需要的重要的功能之一，是形成厚度均勻的涂膜。特別是，在適用于彩色液晶顯示器用濾色片和等離子顯示器用背面板等顯示器用部件的制造的狹縫模具中，隨著顯示器的大畫面化，每年構成零件的長條化也在發展，對于較大的涂布面積上的涂膜的厚度的均勻性的要求變得越來越嚴格。最近，要求實現相對于涂膜的平均厚度的最大偏差在3％或其以下這樣極高的涂布厚度精度。
為了滿足該要求，在組裝了模具時，通常，被設定為0.05mm至0.7mm的模唇間隙，必需用超微級的偏差均勻地形成。但是，用以往眾所周知的狹縫模具，從其結構來看，不能達到超微級的模唇間隙精度，便不能達到上述的涂布厚度精度。
具體地說明以往的狹縫模具的問題。在第11、12以及13圖中，分別展示了不同的眾所周知的狹縫模具201、301以及401的橫剖面。
在第11圖中，狹縫模具201，具備模具漏斗205、右側模唇202、以及左側模唇203。右側模唇202和左側模唇203，隔著模唇間隙212相對地配置。右側模唇202的上面和左側模唇203的上面，分別與模具漏斗205的下面相接觸，并且分別通過螺栓206、207被安裝在模具漏斗205上，并被一體化。
模唇間隙212，具有模唇間隙寬L。該狹縫模具201，在JP10-264229A中被公開。在具有該結構的狹縫模具201中，必須有一面沿著模唇間隙212的縱向(垂直于紙面的方向)測定模唇間隙寬L，一面將雙方的模唇202、203相對于模具漏斗205定位這樣煩雜的組裝操作。只用該組裝操作，達到超微級的模唇間隙精度，實際上是不可能的。
在第12圖中，狹縫模具301，具備右側模唇302、左側模唇303以及隔片(墊片)304。雙方的模唇302、303，在介設有隔片304的狀態下，由螺栓305結合在一起，被一體化。模唇間隙312，由隔片304的厚度St形成。
模唇間隙312，具有模唇間隙寬L。該狹縫模具301，在JP2001-46949A、或者、JP2001-191004A中被公開。在具備該結構的狹縫模具301中，模唇間隙312的模唇間隙寬L，與組裝方法無關，和隔片304的厚度St相等。因而，在實現超微級的模唇間隙精度時，對于厚度St是0.05至0.7mm左右的較薄隔片304，便要求超微級的厚度精度。
但是，一般的，通過由軋制鋼板制作的板材構成的隔片304，由于軋制不均，面內的厚度不均有時有數微米。進而，為了變薄，很難通過后續加工實現厚度精度的提高。因而，狹縫模具301的情況下，也不能實現超微級的模唇間隙精度。
在第13圖中，狹縫模具401，包括右側模唇402和左側模唇403。雙方的模唇402、403，在各自的上方部，具有接合面。右側模唇402的模唇內面420，位于距接合面415具有階梯差L處。左側模唇403的內面421，與接合面415在同一面內，形成平坦的模唇。在右側模唇402的模唇內面420和左側模唇403的內面421之間，形成有模唇間隙412。
模唇間隙412，具有與前述階梯差L相等的模唇間隙寬L。該狹縫模具401，在JP10-146556A、或者、JP10-151395A中被公開。在具有該結構的狹縫模具401中，由于模唇間隙412的模唇間隙寬L與設在模唇402上的階梯差L相等，因此在實現超微級的模唇間隙精度時，模唇402的接合面415和模唇內面420之間的階梯，必須用超微級的高精度的精加工形成。
但是，在使用眾所周知的磨床等的機械加工或由人工的研磨操作中，很難以超微級的精度精加工模唇這樣長條并且大面積的大型零件。因而，用狹縫模具401，也不能實現超微級的模唇間隙精度。
另一方面，作為采用了這些狹縫模具的金屬型涂料機的一例，由可以往復移動的工作臺和具有向下的吐出口的涂布頭(狹縫模具)構成的金屬型涂料機是眾所周知的。在該金屬型涂料機中，在將玻璃基板吸附保持在工作臺上之后，當玻璃基板和工作臺同時在涂布頭的正下方移動時，從涂布頭的吐出口吐出涂布液，在玻璃基板上連續地形成涂布液的涂膜。該金屬型涂料機，在JP6-339656A中被公開。
在該金屬型涂料機中，由于對每一塊基板進行涂布，因此，為了提高基板整體上的涂膜的厚度精度，在各基板的涂布開始部、涂布結束部的涂布方法就變得很重要。從涂布開始部來看，有控制涂布液的供給泵的動作和基板的動作的關系的方案。該方案，在JP8-229482A中被公開。
還有通過預先從模具向輥子進行預備涂布(涂布準備)的方式，當在模具和輥子之間形成了涂布液的液筋(ビ一ド)之后，使模具和液筋同時向基板的方向移動，然后開始向基板的真正的涂布的方案。該方案，在JP2001-310147A中被公開。
進而，還有為了防止涂布開始部的厚膜化，將基板與模具之間的間隙，與涂布液的吐出以及模具相對于基板的水平移動相連動地控制的方案。該方案，在JP2002-113411A中被公開。
在上述的涂布開始方案中，在預先從模具向輥子進行預備涂布后，開始向基板的真正的涂布的方案，具有如下的不良狀況，(i)因需要多余的設備而成本增加，(ii)為了進行多余的動作而使生產節拍延長，阻礙生產性提高，(iii)在輥子上進行了預備涂布后，在模具吐出口前端殘存有微少量的涂布液，但該殘存量并不是一定的，涂布開始部的涂膜的膜厚變動而不穩定，或者，(iv)由于預備涂布，在本來的涂布中不需要的無效涂布液量增多，因而成本增加等。
另一方面，如果利用不進行預備涂布的涂布方法，將使用了高揮發性的溶劑的涂布液，以濕的厚度20μm或其以下進行涂布，則如第16A圖所示，在涂布開始部(先頭部分)801上沒有形成涂膜802的膜殘缺803，有時就會在基板B的寬方向上產生多處。其原因，推測是(i)為了使涂布開始部801的狀態始終相同，在涂布之前清掃模具的吐出口周邊，但這時吐出口附近的模具內部的涂布液被抹去，在模具內部產生空隙，或者，(ii)在清掃模具的吐出口周邊后，到開始涂布的較短的時間內，吐出口周邊的涂布液的溶劑蒸發，與蒸發量相對應地在吐出口附近的模具內部產生空隙，因此，在模具內部存在沒有裝滿涂布液的空隙，并且它就那樣直接被復制到基板B的涂布開始部801，從而產生了膜殘缺803。
該現象，在濕的涂布厚度超過20μm時，很難發生。其理由，可以考慮與涂布液的吐出量相對的空隙量的占有比例較小，因此即便產生空隙，也不會產生對涂布狀態的影響。相對于此，在進行預備涂布的情況下，在預備涂布的階段，吐出口附近的空隙被擠出，在模具內部不存在空隙的狀態下，進行真正的涂布，因此不會出現在涂布開始部801上產生膜殘缺803的不良狀況。

發明內容
本發明的目的在于解決以往技術的問題點。本發明，其目的在于提供能夠很容易地得到超微級的模唇間隙精度的狹縫模具。本發明的狹縫模具，在組裝完模具后，即便不進行特別的調整，也能夠以3％或其以下的極高的涂布厚度精度均勻地形成涂膜。
本發明，其目的在于提供使用了該狹縫模具的、具有涂膜的基體材料的制造方法、以及制造裝置。
根據本發明制造的具有涂膜的基體材料，作為彩色液晶顯示器用部件、或者等離子顯示器用部件很好地被使用。
根據本發明，對于任何種類的涂布液、涂布厚度，不進行預備涂布，也可以很容易地在基板整面上形成膜厚均勻的涂膜。根據本發明，可以實現生產間隔時間的短縮、涂布液無效使用量的削減，并可謀求具有涂膜的基體材料的生產的生產成本的降低。
本發明的狹縫模具，具備第1模唇和第2模唇，并且所述第1模唇和所述第2模唇，以所述第1模唇的內面和所述第2模唇的內面相對的狀態通過模唇連結要件被一體化，通過這些相對的內面的一部分相隔有間隔地配置，形成液體供給路和沿著所述模唇的縱向延伸的模唇間隙，所述模唇間隙的下端形成向外方打開的吐出口，所述模唇間隙的縱向的兩側端，相對于外方被封閉，所述模唇間隙的上端，連接在所述液體供給路上；其特征在于
(a)所述第1模唇具備第1部件和第2部件構成；并具有(b)可以調整與所述第1模唇的形成所述模唇間隙的面成直角的方向上的所述第1部件和所述第2部件的相對位置地，使所述第1部件和所述第2部件相配合的部件配合要件；(c)在調整所述相對位置后，將所述第1部件和所述第2部件連結并一體化的部件連結要件；(d)配合在與所述第1模唇的所述內面相反一側的所述第1部件的外面和所述第2部件的外面上，規定所述第1部件和所述第2部件的所述相對位置的定位要件；(e)將所述定位要件固定在所述第1模唇上的定位要件的固定要件；(f)通過所述定位要件和所述定位要件的固定要件，所述模唇間隙的縱向上的間隙寬度分布可以調整。
在本發明的狹縫模具中，優選為所述定位要件，在所述模唇的縱向上置以間隔地設定有多個。
在本發明的狹縫模具中，優選為所述定位要件具備定位部件，該定位部件，具有與所述第1部件的外面和所述第2部件的外面中的至少一方的外面相接觸的位置規定面，在存在不與另一方的外面接觸的部位的情況下，具有與該部位和該外面相配合的位置規定輔助裝置。
在本發明的狹縫模具中，優選為所述定位部件的所述位置規定面的表面粗糙度的最大高度Ry是0.1S至1.0S。
在本發明的狹縫模具中，優選為所述第1部件以及所述第2部件的與形成所述模唇間隙的面成直角方向的厚度，分別是30mm或其以上，所述定位部件的沿著所述位置規定面的方向的剖面形狀是四邊形，該四邊形的所述模唇的縱向的長度，是20mm至100mm，與該縱向成直角的方向的長度，是20mm至100mm，至少配置所述位置規定面的部位的所述定位部件的厚度，是所述第2部件的厚度的30％或其以上。
在本發明的狹縫模具中，優選為所述定位部件沿著所述模唇的縱向置以間隔地設置有多個。在配置多個定位部件時，優選為彼此的配置間隔不到100mm。
在本發明的狹縫模具中，所述第2模唇，也可以具有與所述第1模唇同樣的結構。
在本發明的狹縫模具中，優選為所述第1部件的內面和所述第2模唇的內面，相接觸地配置，或者，填充隔片而配置，在所述第2部件的內面和所述第2模唇的內面之間形成有所述模唇間隙。
在本發明的狹縫模具中，與所述第1部件的內面相對的所述第2模唇的內面，和形成所述模唇間隙的所述第2模唇的內面，實質上也可以位于同一平面內。
在本發明的狹縫模具中，與所述第2模唇的內面相對的所述第1部件的內面，和形成所述模唇間隙的所述第2部件的內面，實質上也可以位于同一平面內。
本發明的具有涂膜的基體材料的制造方法，使用本發明的狹縫模具，向該狹縫模具的所述液體供給路提供涂布液，經過所述模唇間隙從所述吐出口吐出所述涂布液，同時使相對于所述吐出口置以間隔地配置的被涂布部件和所述狹縫模具中的至少一方相對地移動，將從所述吐出口吐出的所述涂布液涂布在所述被涂布部件上，在所述被涂布部件上形成由所述涂布液構成的涂膜。
在本發明的具有涂膜的基體材料的制造方法中，優選為包括從所述狹縫模具的所述吐出口吐出一定體積Q1的所述涂布液的第1步驟；在第1步驟結束后，待機一定時間Ts的第2步驟；在第2步驟結束后，使所述吐出口相對于所述被涂布部件移動，在兩者之間形成間隙S1的第3步驟；在第3步驟結束后，從所述吐出口吐出所述涂布液，同時使所述被涂布部件相對于所述狹縫模具相對地移動，從而在所述被涂布部件上形成涂膜的第4步驟。
在本發明的具有涂膜的基體材料的制造方法中，優選為將包含所述吐出口在內的面的涂布方向長度設為Ls，將所述吐出口的縱向的長度設為W，將所述間隙設為S1，以及，將系數設為α1，當該系數α1在0.05≤α1≤1.0的范圍內時，所述一定體積Q1，滿足Q1＝α1×S1×Ls×W的關系。
在本發明的具有涂膜的基體材料的制造方法中，優選為包括使所述狹縫模具的所述吐出口相對于處于靜止狀態的所述被涂布部件移動，在兩者之間形成間隙S2的第1步驟；在第1步驟結束后，從所述吐出口吐出一定體積Q2的所述涂布液的第2步驟；在第2步驟結束后，待機一定時間Ts的第3步驟；在第3步驟結束后，從所述吐出口吐出所述涂布液，同時使所述被涂布部件相對于所述狹縫模具相對地移動，在所述被涂布部件上形成涂膜的第4步驟。
在本發明的具有涂膜的基體材料的制造方法中，優選為包括使所述狹縫模具的所述吐出口相對于處于靜止狀態的所述被涂布部件移動，在兩者之間形成間隙S3的第1步驟；在第1步驟結束后，從所述吐出口吐出一定體積Q的所述涂布液的第2步驟；在第2步驟結束后，待機一定時間Ts的第3步驟；在第3步驟結束后，使所述狹縫模具的所述吐出口相對于處于靜止狀態的所述被涂布部件再次移動，在兩者之間形成第2間隙S4的第4步驟；在第4步驟結束后，從所述吐出口吐出所述涂布液，同時使所述被涂布部件相對于所述狹縫模具相對地移動，在所述被涂布部件上形成涂膜的第5步驟。
在本發明的具有涂膜的基體材料的制造方法中，優選為所述第1間隙S3的大小，小于所述第2間隙S4的大小。
在本發明的具有涂膜的基體材料的制造方法中，優選為將包含所述吐出口在內的面的涂布方向長度設為Ls，將所述吐出口的縱向的長度設為W，將所述間隙設為S2，以及，將系數設為α2，當該系數α2在0.05≤α2≤1.0的范圍內時，所述一定體積Q2，滿足Q2＝α2×S2×Ls×W的關系。
本發明的具有涂膜的基體材料的制造裝置，具備如下的構成本發明的狹縫模具；與該狹縫模具的所述液體供給路相配合的涂布液供給裝置；將供給給所述液體供給路的涂布液經由所述狹縫間隙從所述吐出口吐出的涂布液吐出裝置；使相對于所述吐出口置以間隔地配置的被涂布部件和所述狹縫模具的至少一方相對地移動，將從所述吐出口吐出的所述涂布液涂布在所述被涂布部件上，在所述被涂布部件上形成由所述涂布液構成的涂膜的涂膜形成裝置。
在本發明的具有涂膜的基體材料的制造裝置中，優選為包括從所述狹縫模具的所述吐出口吐出一定量的所述涂布液的裝置；在吐出所述一定量的所述涂布液后，使其經過一定的待機時間的裝置；在經過該待機時間后，使相對于所述吐出口置以間隔地配置的被涂布部件和所述狹縫模具的至少一方相對地移動，將從所述吐出口吐出的所述涂布液涂布在所述被涂布部件上，在所述被涂布部件上形成由所述涂布液構成的涂膜的涂膜形成裝置。


第1圖是展示將本發明的狹縫模具的一個實施形態的各零件分解了的狀態的立體圖。
第2圖是第1圖的狹縫模具的橫剖面圖。
第3A圖、第3B圖以及第3C圖是說明構成第1圖的狹縫模具中的第1模唇的第1部件、第2部件、以及、定位部件的組裝順序的橫剖面圖。
第4圖是本發明的狹縫模具的別的實施形態的橫剖面圖。
第5圖是本發明的狹縫模具的又一別的實施形態的橫剖面圖。
第6圖是本發明的狹縫模具的再別的實施形態的橫剖面圖。
第7圖是本發明的狹縫模具的再又一別的實施形態的橫剖面圖。
第8圖是本發明的狹縫模具的再還一別的實施形態的橫剖面圖。
第9圖是用于實施具有本發明的涂膜的基體材料的制造方法的裝置(金屬型涂料機)的一例的概略立體圖。
第10圖是說明第9圖的金屬型涂料機中的涂布液的供給系統、涂布液的涂布順序、以及、用于它的控制系統的一例的概略系統圖。
第11圖是以往的狹縫模具的一例的橫剖面圖。
第12圖是以往的狹縫模具的其他的例子的橫剖面圖。
第13圖是以往的狹縫模具的再其他的例子的橫剖面圖。
第14圖是說明用于實施具有本發明的涂膜的基體材料的制造方法的裝置(金屬型涂料機)的其他的一例中的涂布液的供給系統、涂布液的涂布順序、以及、用于它的控制系統的一例的概略系統圖。
第15圖是說明使用第14圖的金屬型涂料機向基板涂布涂布液時的各動作部的動作狀況的時間線圖。
第16A圖是說明基板的涂布液的不理想的涂布狀況的平面圖。
第16B圖是說明基板的涂布液的理想的涂布狀況的平面圖。
第17圖是說明在第14圖的狹縫模具和基板之間形成的液筋的形成狀況的概略立體圖。
具體實施例方式
以下，參照附圖，說明本發明的理想的實施形態。
在第1以及2圖中，本發明的狹縫模具1，具備第1模唇3和第2模唇2。第1模唇3的內面15a、15b與第2模唇的內面17a、17b，在彼此相對的狀態下通過模唇連結要件以可相互背離的方式被一體化。在該實施形態中，作為模唇連結要件，如第1圖所示，采用相互間有間隔地配設的6根組裝螺栓7。
相對的內面15a、15b、17a、17b的一部分，相隔有間隔地配置，由此，形成液體供給路(集管(マニホ一ルド))12和沿著模唇2、3的縱向延伸的模唇間隙13。模唇間隙13的下端，形成有向外方打開的吐出口14。模唇間隙13的縱向的兩側端，相對于外方被密封板6a、6b封閉。模唇間隙13的上端，連接在液體供給路(集管)12上。液體供給路(集管)12，具有涂布液供給口11，在涂布液供給口11上，經由供給管(圖未示)連接著涂布液供給裝置(圖未示)。從涂布液供給裝置提供的涂布液，從涂布液供給口11流入到集管12，通過集管12，涂布液的液流以涂布液供給口11為中心被向左右兩側引導，流入到模唇間隙13，并從吐出口14被吐出。
第1模唇3，具備第1部件4和第2部件5。第1部件4的下面和第2部件5的上面的縱向的長度相等。第2模唇2的內面17a和第1部件4的內面15a彼此相接觸。第1部件4的下面和第2部件5的上面彼此相接觸。
第1部件4和第2部件5，通過能夠調整與第1模唇3的形成模唇間隙13的面(第2部件的內面)15b相垂直的方向上的相對位置的部件配合要件而相配合。在該實施形態中，作為部件配合要件使用螺栓8和螺母9。
第1部件4和第2部件5，在相對位置被調整后，由部件連結要件連結在一起而一體化。在該實施形態中，作為部件連結要件，使用螺栓8和螺母9。在該實施形態中，螺栓8和螺母9，作為部件配合要件，以及作為部件連結要件起作用。部件配合要件和部件連結要件，也可以以分別起到各自的功能的方式用不同的部件構成。
設置有與第1模唇3的內面15a相反一側的第1部件4的外面16a和第2部件5的外面16b相配合，規定第1部件4和第2部件5的相對位置的定位要件。在該實施形態中，作為定位要件，使用彼此間隔地配設的5個階梯形部件10。階梯形部件10的上部的內面10a與第1部件4的外面16a相接觸，階梯形部件10的下部的內面10b與第2部件5的外面16b相接觸。內面10a和內面10b，形成位置規定面。
設置有將定位要件(階梯形部件10)固定在由第1部件4和第2部件5構成的第1模唇3上的定位要件的固定要件。在該實施形態中，作為定位要件(階梯形部件10)的固定要件，使用螺栓20。在該實施形態中，與第1部件4的內面15a相對的第2模唇2的內面17a，和形成模唇間隙13的第2模唇2的內面17b，實際上位于同一平面。
通過定位要件(階梯形部件10)和定位要件的固定要件(螺栓20)，模唇間隙13的模唇間隙寬Lg，在模唇間隙13的縱向上被調整為均勻。
在第1部件4的內面15a的位置和第2部件5的內面15b的位置之間，在與各個內面成直角的方向上，存在距離H的位置之差。將該距離H的差稱為階梯H，將該階梯H的大小稱為階梯差H。
在階梯形部件10的上部的內面10a的位置和下部的內面10b的位置之間，在與各個內面成直角的方向上，存在距離h的位置之差。將該距離h的差稱為階梯h，將該階梯h的大小稱為階梯差h。
具有階梯差H的階梯H，通過將具有階梯h的5個階梯形部件10推壓在第1部件4的外面16a和第2部件5的外面16b上而形成。
階梯形部件10的個數和配設間隔，沒有被特別限定，但狹縫模具1只要是長條的，階梯形部件10，最好沿著縱向最少配設2個或其以上，更優選配設5個或其以上。配設間隔在100mm或其以下，會有助于在狹縫模具1的縱向上形成均勻的大小的階梯差H，因此優選。
當將第1模唇3和第2模唇2用組裝螺栓7組裝在一起時，就形成了具有與第1部件4的內面15a和第2部件5的內面15b之間的階梯差H相等的間隙寬Lg的模唇間隙13。
模唇間隙13，付與涂布液以流動阻力，擔負以同樣的分布使涂布液從吐出口14吐出的功能。根據各種涂布條件，為了付與涂布液以所要求的流動阻力，模唇間隙13的間隙寬Lg，優選為30μm至1000μm，更優選為50μm至600μm。吐出涂布液的方向上的模唇間隙13的長度Ld，優選為3mm至100mm，更優選為5mm至70mm。
成為涂布液的吐出寬的吐出口14的縱向的長度，由2片密封板6a、6b的配置間隔Lw決定。密封板6a、6b的材質和形狀，只要能夠不受到涂布液中所包含的溶劑等的影響，以涂布液不泄漏的方式進行密封，便沒有特別的限制，但厚度和模唇間隙13的間隙寬Lg相同，或比它稍小的不銹鋼等的金屬板，或者相反厚度比間隙寬Lg稍大的彈性部件、聚對苯二甲酸乙二酯等的樹脂薄板等很適合使用。
用第3A、3B以及3C圖說明該實施形態中理想的第1模唇3的階梯H的形成例。
如第3A圖所示，第1部件4和第2部件5，為了使與各自的內面15a、15b成直角的方向上的各自的厚度Lt相等，而上下重合在一起，在由螺栓8和螺母9臨時固定的狀態下，被同時機械加工。在該狀態下，如第3B圖所示，將所有的階梯形部件10用螺栓20結合在第1部件4的外面16a上。
接著，如第3C圖所示，使第2部件5向與內面15b成直角的方向滑動，將第2部件5的外面16b推壓在階梯形部件10的下部的內面10b上，通過用螺栓20將階梯形部件10固定在第2部件5上，完成第1部件4和第2部件5的相對位置的調整。
由此，在由第1部件4和第2部件5構成的第1模唇3上，就在兩部件4、5的縱向上均勻地形成了與階梯形部件10的階梯差h相等的階梯差H的階梯H。
根據該構成，通過使各階梯形部件10的階梯差h微小地變化，可以微調整第1部件4和第2部件5之間的階梯差H，其結果，是可以沿著模唇間隙13的縱向自如地微調整與階梯差H相等的模唇間隙13的間隙寬Lg。通過該微調整，只要使第1模唇3和第2模唇2組合在一起，便可以很容易地形成偏差為超微級的具有間隙寬Lg的模唇間隙13。
作為使階梯形部件10的階梯差h微小地變化的方法，可以使用研磨、磨削等眾所周知的加工方法。這時，為了正確地測定階梯差h的微小變化，第1部件4和第2部件5的接觸面，即，階梯形部件10的上部的內面10a和下部的內面10b的表面粗糙度，是用JIS-B-0031(1994)定義的最大高度(Ry)，理想的是在0.1S至1.0S的范圍內。
為了使第1部件4和第2部件5之間的階梯差H的微調整較容易，第1部件4以及第2部件5最好是高剛性。因此，各自的厚度Lt，最好在30mm或其以上。當各自的厚度Lt不到30mm時，則各個部件4、5，在不存在階梯形部件10的區間容易在各自的縱向上翹曲，很難進行階梯差H的微調整。
階梯形部件10的形狀，狹縫模具1的縱向上的寬最好在20mm至100mm的范圍內，與之正交的方向的高度最好在20mm至100mm的范圍內。如果階梯形部件10的形狀小于這些范圍的下限值，便不會充分表現出為了自如地微調整階梯差H所必需的矯正力。相反，如果大于這些范圍的上限值，便很難通過研磨或磨削等加工方法使階梯差h微小地變化。階梯形部件10，必須有為了微調整階梯差H所必需的剛性。為此，階梯形部件10的厚度，在厚度最薄的部分(例如，相當于第3B圖中所示的尺寸Lb的部分)，最好相對于第2部件5的厚度Lt在其30％或以上。
為了在狹縫模具1的縱向上很容易地使模唇間隙13的間隙寬Lg的偏差超微級，沿著縱向配設的多個階梯形部件10之間的階梯差h的偏差，理想的是在1μm或其以下，更理想的是在0.5μm或其以下。
為了減少第1部件4和第2部件5之間的階梯差H的調整量，最好對第2模唇2的內面17a、17b、第1部件4的內面15a以及外面16a、以及第2部件5的內面15b及外面16b進行精加工，使其各自的平面度優選在5μm或其以下，更優選在2μm或其以下。在此，所謂的平面度，是在JIS-B-0621(1984)的“幾何偏差的定義以及表示”的項所定義的。
為了提高狹縫模具1的組裝再現性，第1模唇3和第2模唇2的剛性最好相同。為此，最好預先使第2模唇2的厚度和第1部件4以及第2部件5的厚度Lt相等。
根據在該實施形態中展示的狹縫模具1，由于具有上述那樣的構成，因此盡管是長條的，即，盡管是形成大面積的涂膜的狹縫模具，也可以很容易地得到超微級的模唇間隙精度。因而，根據狹縫模具1，階梯形部件10被固定在第1模唇3上，在將狹縫模具1組裝之后，可以不進行特別的調整，并可以形成具有3％或其以下的極高的涂布厚度精度的涂膜。
作為用于制造要求形成格外均勻的涂膜的彩色液晶顯示器用濾色片或等離子顯示器用背面板等顯示器用部件的涂布裝置中的狹縫模具，很適合使用狹縫模具1。
另外，在流經集管12的涂布液的粘度變化較大，因模唇間隙分布以外的原因而損害了涂膜的厚度均勻性的情況下，只要調節位于涂膜厚度變化較大的部分的階梯形部件10的階梯差h，就能夠改善由該原因導致的涂膜的厚度不均。
為了對應各種作業條件，可以通過改變階梯形部件10的階梯差h的大小，來變更模唇間隙13的間隙寬Lg的大小，或者使沿著縱向配設的多個階梯形部件10的各個階梯差h變化，從而形成具有與任意的涂膜的厚度曲線相對應的分布的模唇間隙13。
作為使第1部件4和第2部件5相對地滑動而定位的定位要件，不限于階梯形部件10。在以下說明階梯形部件以外的定位要件的例子。
在第4圖中，展示了本發明的狹縫模具的其他的實施形態。在第4圖中，狹縫模具101，與第2圖中所示的實施形態同樣地，具備第1模唇3、第2模唇2、構成第1模唇3的第1部件4和第2部件5、以及使第1部件4和第2部件5相配合并且相緊固的螺栓8和螺母9。
狹縫模具101，與第2圖中所示的實施形態同樣地，具有模唇間隙13、吐出口14、以及集管12。狹縫模具101，與第2圖中所示的實施形態同樣地，與第1部件4的內面15a相對的第2模唇2的內面17a和形成模唇間隙13的第2模唇2的內面17b實際上位于同一平面。
狹縫模具101，代替第2圖中所示的實施形態中的階梯形部件10，具有由平坦部件110和隔片111(位置規定輔助裝置)構成的定位要件。平坦部件110的內面110a，由單一的平面構成。內面110a與第2部件5的外面16b觸接。
在第1部件4的外面16a和第2部件5的外面16b之間，存在階梯。在由該階梯形成的第1部件4的外面16a和平坦部件110的內面110a之間的間隙內，填充有隔片111。隔片111，是在用平坦部件110所具有的螺栓20固定平坦部件110和第2部件4時，被安裝在前述間隙內的。隔片111的厚度，以成為模唇間隙13的間隙寬Lg的方式被調整。
第1部件4和第2部件5之間的階梯差H的微調整，通過平坦部件110的內面110a的表面粗糙度的微調整，或者，隔片111的厚度的微調整來進行。通過該微調整，狹縫模具101的模唇間隙13的間隙寬Lg，被由平坦部件110、隔片111以及螺栓20構成的定位要件和定位要件的固定要件沿著模唇間隙13的縱向調整為均勻。
在第5圖中，展示了本發明的狹縫模具的另一實施形態。在第5圖中，狹縫模具102，與第2圖中所示的實施形態同樣地，包括第1模唇3、第2模唇2、構成第1模唇3的第1部件4和第2部件5、以及使第1部件4和第2部件5相配合并且連結(固定)的螺栓8和螺母9。
狹縫模具102，與第2圖中所示的實施形態同樣地，具有模唇間隙13、吐出口14、以及集管12。狹縫模具102，與第2圖中所示的實施形態同樣地，與第1部件4的內面15a相對的第2模唇2的內面17a，和形成模唇間隙13的第2模唇2的內面17b，實際上位于同一平面。
在第5圖中，狹縫模具102，代替第2圖中所示的實施形態中的階梯形部件10，具有由平坦部件110和伸縮裝置112(位置規定輔助裝置)構成的定位要件。平坦部件110的內面110a，由單一的平面構成。內面110a，與第2部件5的外面16b觸接。在第1部件4的外面16a和第2部件5的外面16b之間，存在階梯。在由該階梯形成的第1部件4的外面16a和平坦部件110的內面110a之間的間隙內，填充有伸縮裝置112。伸縮裝置112，例如，由測微頭或直線運動執行元件構成。
伸縮裝置112，被固定在平坦部件110的上部。伸縮裝置112的伸縮部件112a，從平坦部件110的內面110a向第1部件4側突出，其前端被推壓在第1部件的外面16a上。從平坦部件110的內面110a到第1部件4的外面16a為止的伸縮部件112a的突出長度，被調整為模唇間隙13的間隙寬Lg。
第1部件4和第2部件5之間的階梯差H的微調整，通過微調整伸縮裝置112的伸縮部件112a的突出長度來進行。通過該微調整，狹縫模具102的模唇間隙13的間隙寬Lg，通過由平坦部件110、伸縮裝置112以及螺栓20構成的定位要件和定位要件的固定要件而被沿著模唇間隙13的縱向調整為均勻。
在本發明的狹縫模具中，測定階梯差H的方法，只要是能夠以必要的分辨率高精度地測定的方法，便沒有特別地限制。例如，將通過垂直地推壓在精密平臺等的均勻表面上而設定了零點的2根直線量規，垂直地推壓在各第1部件4的內面15a和第2部件5的內面15b上，同時讀取當一方的直線量規表示零時的另一方的直線量規上所表示的值的方法，可以高精度且簡單地測定，因此很理想。
在本發明的狹縫模具中，所謂的模唇間隙精度，定義為在模唇間隙的縱向上在多點測定模唇間隙的間隙寬(例如，第2圖中的間隙寬Lg)所得的值的最大偏差。作為測定方法，優選在用光學顯微鏡或顯微鏡等將吐出口(例如，第2圖中的吐出口14)放大450倍至2000倍的狀態下，測定吐出口的間隙寬，然后將其作為模唇間隙的間隙寬的方法。
其次，說明本發明的狹縫模具的其他形態。
在上述的實施形態中，為了在第2模唇3上設置階梯H，使用了具有相等的厚度Lt的第1部件4和第2部件5。但是，階梯H的形成方法不限于此。在第6圖中，展示了階梯H的其他的形成方法的一例。
在第6圖中，本發明的狹縫模具103，與第2圖中所示的實施形態同樣地，具備第1模唇3、第2模唇2、構成第1模唇3的第1部件4a和第2部件5a、以及將第1部件4a和第2部件5a相配合并連結的螺栓8和螺母9。
狹縫模具103，與第2圖中所示的實施形態同樣地，具有模唇間隙13、吐出口14、以及集管12。狹縫模具103，與第2圖中所示的實施形態同樣地，與第1部件4a的內面15a相對的第2模唇2的內面17a，和形成模唇間隙13的第2模唇2的內面17b，實際上位于同一平面。
但是，狹縫模具103中的第1部件4a和第2部件5a，在與形成模唇間隙13的第2部件5a的內面15b垂直的方向上的各自的厚度不同。在這一點上，狹縫模具103，與第2、4以及5圖所示的狹縫模具1、101以及102不同。在第6圖中，第1部件4a，具有厚度Lta，第2部件5a，具有厚度Ltb。由厚度Lta和厚度Ltb的差，形成第1部件4a的內面15a和第2部件5a的內面15b之間的階梯H1。
在第1部件4a的外面16a和第2部件5a的外面16b上，作為定位要件的平坦部件111，被作為固定要件的螺栓20固定。平坦部件111的內面111a，與第1部件4a的外面16a和第2部件5a的外面16b相接觸。
當用組裝螺栓7(參照第1圖)將第1模唇3和第2模唇2組裝在一起時，形成具有和第1部件4a的內面15a與第2部件5a的內面15b之間的階梯差H1相等的間隙寬Lg的模唇間隙13。
形成具有間隙寬Lg的模唇間隙13的階梯H(H1)的個數，如上述的實施形態那樣，不限于1段。也可以通過將3個或其以上的部件重合在一起，在第1模唇3上形成2段或其以上的階梯。
在上述的實施形態中，說明了第1模唇3由第1部件4(4a)和第2部件5(5a)這兩個部件構成的形態，但不限于該形態。也可以是沿著上下用多個部件分別形成第1模唇3以及第2模唇2這雙方，并能夠調整各自的部件的相對位置的形態。
本發明的狹縫模具也可以適用于在被涂布部件上同時形成多層涂膜的狹縫模具，即，用3個或其以上的模唇形成2個或其以上的模唇間隙的同時涂布多層的狹縫模具。
形成模唇間隙13的方法，也不限于由形成在多個部件彼此之間的階梯來形成的形態。
在第7圖中，展示了別的階梯形成的一例。在第7圖中，本發明的狹縫模具104，與第2圖中所示的實施形態同樣地，具備第1模唇3、第2模唇2、構成第1模唇3的第1部件4和第2部件5、以及使第1部件4和第2部件5相配合并連結的螺栓8和螺母9。
狹縫模具104，與第2圖中所示的實施形態同樣地，具有模唇間隙13、吐出口14、以及集管12。
狹縫模具104，與第6圖中所示的實施形態同樣地，具有由平坦部件111構成的定位要件。平坦部件111的內面111a，由單一的平面構成。內面111a，和第1部件4的外面16a與第2部件5的外面16b觸接。
在狹縫模具104中，與在第2圖中所示的實施形態同樣地，與第1部件4的內面15a相對的第2模唇2的內面17a，和形成模唇間隙13的第2模唇2的內面17b，實際上位于同一平面。
但是，在狹縫模具104中，在第1部件4的內面15a與第2部件5的內面15b之間沒有階梯，兩個內面15a、15b位于同一平面內。在這一點上，狹縫模具104，和第2、4、5以及6圖中展示的實施形態不同。
根據該構成，狹縫模具104，在第2模唇2的內面17a和第1部件4的內面15a之間具有間隙。該間隙，被隔片113填充。在組裝狹縫模具104之際，隔片113，在被配置在第1模唇3和第2模唇2之間之后，被第1部件4和第2模唇2夾緊，并被固定。由隔片113，形成階梯H2。
在第8圖中，展示了本發明的狹縫模具的另外一個形態。第8圖中的狹縫模具105，代替第7圖中的狹縫模具104的隔片113，使第2模唇2的內面17a向第1部件4的內面15a方向突出相當于隔片113的厚度的量，并使內面17a和內面15a觸接。由此，形成階梯H3。狹縫模具105的其他的部分的結構，和第7圖的狹縫模具104相同。
以上說明了幾個實施形態，本發明的狹縫模具，必須是以下的結構，即可以用一對模唇的組合形成模唇間隙，用獨立的至少2個部件構成至少一方的模唇，可通過相對于部件設置的部件間的相對的定位要件和該定位要件的固定要件，在模唇間隙的縱向上矯正模唇間隙的間隙寬。即，只要是滿足該結構，各自的構成部件以及它們的組合，可以是任意的形態。
由第7圖中所示的狹縫模具104或第8圖中所示的狹縫模具105那樣的結構構成的狹縫模具的超微級的模唇間隙精度通過以下方式而實現，即，通過按照模唇間隙精度，將構成第1模唇3的第1部件4和第2部件5的相對位置，在平坦部件111上設置微小的階梯的方式進行。
位于狹縫模具1的內部的集管12，也可以不設在第2模唇2上而設在第1模唇3上，或者，還可以設在第1模唇3以及第2模唇2這兩方上。
作為集管12的正面形狀，如第1圖所示，可以是以涂布液供給口11為中心向左右縱向延長的形狀的T型，或以涂布液供給口11為中心向左右縱向傾斜的形狀的衣架型。集管12，也可以不是一個，而是沿著涂布液的吐出方向設置多段。集管12，也可以使其在模唇的縱向兩端貫通。這時，涂布液的吐出寬的限制和漏液密封，由安裝在模唇的縱向兩端的側板進行。
省略了圖示的涂布液供給裝置，最好是眾所周知的。作為涂布液供給裝置，例如，使用齒輪泵、專用泵(モ一ノポンプ)、隔膜泵、或者注射泵。在涂布液供給裝置和狹縫模具1之間的涂布液流路上，根據需要設置眾所周知的過濾器或閥門類。
在本發明的狹縫模具中，模唇的材料沒有特別地限定。作為原材料，例如，有超硬合金、陶瓷、不銹鋼、或者在這些原料上實施了表面處理的材料。不銹鋼，具有耐藥品性，并且便宜，因此作為原材料較理想。
對于第2圖中所示的第2模唇2的前端18的長度LA，以及，第1模唇3的前端19的長度LB，根據形成涂膜的方向，設定各自的長度。例如，在被涂布部件從第2模唇2向第1模唇3相對地移動，并且在第2模唇3的下游側形成涂膜的情況下，第2模唇2的前端18的長度LA，理想的是0.1mm至15mm，更理想的是0.5mm至5mm，第1模唇3的前端19的長度LB，理想的是0.03mm至2mm，更理想的是0.05mm至1mm，并且，最好將第1模唇3的前端19的長度LB設定為比第2模唇2的前端18的長度LA短。
第2模唇2的前端18、以及第1模唇3的前端19的縱向的直線度，即，從宏觀來看縱向的彎曲的大小，理想的是在10μm或其以下，更理想的是在5μm或其以下。
液體接觸面的表面粗糙度，最大高度(Ry)優選為在0.4S或其以下，更優選為在0.2S或其以下。為了提高涂布品質，用0.1S或其以下精加工第2模唇2的前端18、以及第1模唇3的前端19的做法，更加理想。
其次，對使用了本發明的狹縫模具的具有涂膜的基體材料的制造方法以及制造裝置的實施形態進行說明。
第9圖，是采用了用于實施本發明的具有涂膜的基體材料的制造方法的本發明的狹縫模具的涂布裝置(金屬型涂料機)的概略立體圖。第10圖，是還包括涂布液的供給系統而展示第9圖的金屬型涂料機的概略構成圖。
在第9圖中，展示了在玻璃基板等薄片基體材料(被涂布部件)上涂布涂布液，形成涂膜的涂布裝置(金屬型涂料機)21。金屬型涂料機21，具備基臺22。在基臺22上，設有一對導引槽軌道24，在這些導引槽軌道24上，配置有載物臺26。載物臺26的上面被制作成吸取面。載物臺26，經由一對滑動腳28，在導引槽軌道24上沿著水平方向自由地往復移動。
在一對導引槽軌道24之間，配置有沿著導引槽軌道24延伸的殼體32，殼體32內置有輸送機構。輸送機構，如第10圖所示，具有由滾珠絲杠構成的進給絲杠34。進給絲杠34，被螺合在固定于載物臺26的下面并具有螺母狀部的連接器36的該螺母狀部上，貫通連接器36而延伸。進給絲杠34的兩端部，旋轉自如地被圖未示的軸承支撐著，其一端被連結在AC伺服馬達38上。在殼體32的上面或側面，形成有容許連接器36的移動的開口，但省略了該開口的圖示。
在該實施形態中，采用了載物臺26往復移動的方式，但不限于此，也可以是狹縫模具1相對于載物臺26往復移動的方式。總之，只要載物臺26以及狹縫模具1中的至少一方往復移動即可。
在基臺22的上面，在其一端側，配置有倒L字形的傳感器支柱40。傳感器支柱40的前端，延伸到一方的導引槽軌道24的上方，在那里安裝有電動型的升降驅動器41在升降驅動器41上，向下地安裝有厚度傳感器42。作為厚度傳感器42，使用激光位移計、超聲波厚度計等，最好是使用了激光的儀器。
在基臺22的上面，在比傳感器支柱40更靠近基臺22的中央側的位置上，配置有和傳感器支柱40同樣成倒L字形的模具支柱44。模具支柱44的前端，位于一對導引槽軌道24之間的上方，即，位于載物臺26的往復移動路徑的上方。在模具支柱44的前端，安裝有升降機構46。雖然在第9圖中沒有詳細地展示，但升降機構46具備升降托架。該升降托架，被升降自如地安裝在一對導桿上。在這些導桿之間，配置有由滾珠絲杠構成的進給絲杠，該進給絲杠被擰入升降托架的螺母部，并貫通該螺母部而延伸。
在進給絲杠的上端部，連結有AC伺服馬達50，AC伺服馬達50被安裝在殼體48的上面。再者，前述導桿以及進給絲杠收容在殼體48內，并經由軸承旋轉自如地被支撐。
在升降托架上，由平板和設置在平板的兩端的側板構成的模具架52，經由支撐軸(圖未示)旋轉自如地安裝在垂直面內。模具架52，在一對導引槽軌道24的上方，橫跨在這些導引槽軌道24之間而水平地延伸。
在升降托架上，在比模具架52更靠近上方的位置，固定著水平桿56，水平桿56沿著模具架52延伸。在水平桿56的兩端部，分別安裝有電動型的調整驅動器58。調整驅動器58，具有從水平桿56的下面突出的、可以伸縮的桿，這些伸縮桿的下端，分別觸接在模具架52的兩端上。
在模具架52內，安裝有本發明的狹縫模具1。如第10圖所示，涂布液90的供給管62從狹縫模具1延伸出來，供給管62的前端，連接在注射泵64的電磁切換閥66的供給口上。吸引管68從電磁切換閥66的吸引口延伸出來，該吸引管68的前端部，被插入蓄有涂布液90的容器70內。
注射泵64的泵本體72，通過電磁切換閥66的切換動作，可以選擇性地連接在供給管62以及吸引管68的一方上。電磁切換閥66以及泵本體72，被電連接在計算機74上，接受來自于該計算機74的控制信號，從而控制它們的動作。計算機74，還被電連接在升降驅動器41以及厚度傳感器42上。
為了控制注射泵64的動作，計算機74還被電連接在序列發生器76上。序列發生器76，是依次控制載物臺26側的進給絲杠34的AC伺服馬達38，和升降機構46的AC伺服馬達50的動作的裝置。為了進行該依次控制，將表示AC伺服馬達38、50的動作狀態的信號、來自于檢測載物臺26的移動位置的位置傳感器78的信號、來自于檢測狹縫模具1的動作狀態的傳感器(圖未示)的信號等輸入序列發生器76。另一方面，從序列發生器76向計算機74輸出表示序列動作的信號。
代替使用位置傳感器78，也可以在AC伺服馬達38上組裝上編碼器，根據從該編碼器輸出的脈沖信號，用序列發生器76檢測載物臺26的位置。還可以在序列發生器76內插入由計算機74實現的控制。
雖然圖未示，但在金屬型涂料機21上，具備向載物臺26上提供作為被涂布部件的薄片基體材料、例如用于濾色片的玻璃基板A的裝載機，和用于從載物臺26取下玻璃基板A的卸載機。在這些裝載機和卸載機中，在其主要構成部分上，可以使用例如圓筒坐標系工業用機器人。
正如從第9圖所可知的那樣，狹縫模具1，沿著與載物臺26的往復移動方向正交的方向，即，沿著載物臺26的寬方向水平地延伸，其兩端被支撐在模具架52上。
狹縫模具1的水平調整，通過使設在水平桿56的兩端的調整驅動器58的伸縮桿伸縮，并使模具架52沿著其支撐軸周圍旋轉的方式進行。
其次，說明有關濾色片的制造的一個工序，即，使用上述的金屬型涂料機21進行的、具有涂膜的基體材料的制造方法。
在第9以及10圖中，首先，進行金屬型涂料機21中的各動作部的復位。在該階段，載物臺26位于厚度傳感器42的下方。另外，在該階段，在從容器70經由吸引管68以及供給管62，到達狹縫模具1內的集管12以及模唇間隙13內的路徑內，灌滿涂布液90。進而，在該階段，作為涂布準備動作，注射泵64的電磁切換閥66進行切換動作，以使泵本體72連接到吸引管68側的方式。由此，在泵本體72上，進行通過吸引管68吸引容器70內的涂布液90的動作。當在注射泵64內吸引了規定量的涂布液90時，注射泵64的電磁切換閥66，進行用于連接泵本體72和供給管62的切換動作。
在該狀態下，從圖未示的裝載機向載物臺26上提供玻璃基板A，玻璃基板A在載物臺26上受到負壓而被保持。這樣就完成了玻璃基板A的裝載。玻璃基板A，相對于狹縫模具1中的吐出口14的吐出寬度，即，密封板6a、6b之間的間隔Lw，具有基本相同或比其寬的寬度尺寸。
在玻璃基板A的裝載完成后，厚度傳感器42，下降到規定的位置，由厚度傳感器42測定玻璃基板A的厚度。測定后，厚度傳感器42，上升到原來的位置。
在玻璃基板A的裝載完成后，載物臺26向狹縫模具1移動，然后在狹縫模具1的跟前停止。之后，狹縫模具1下降，在狹縫模具1的下面和玻璃基板A的上面之間，確保規定的間隙，例如，100μm的間隙。考慮到由厚度傳感器42測定的玻璃基板A的厚度，根據來自于測定載物臺26和狹縫模具1之間的距離的距離傳感器(圖未示)的輸出信號，決定狹縫模具1的下降位置，從而使間隙被正確地設定。
其次，進一步移動載物臺26，在在玻璃基板A的上面應該開始形成涂膜的起始線來到狹縫模具1的吐出口14的正下方的時刻，暫時使載物臺26停止。
與該載物臺26的暫時停止基本同時地，使注射泵64開始涂布液90的吐出動作，向狹縫模具1提供涂布液90。由此，從狹縫模具1的吐出口14向玻璃基板A上吐出涂布液90。在此，吐出口14，由于其間隙沿著狹縫模具1的縱向，即，沿著與載物臺26的往復移動方向垂直的方向是一定的，因此從吐出口14沿著玻璃基板A的起始線同樣地吐出涂布液90。由此，在狹縫模具1和玻璃基板A之間，沿著起始線形成被稱為液筋的涂布液的積存液C。
當在積存液C形成的同時，一面繼續來自于吐出口14的涂布液90的吐出，一面使載物臺26以一定的速度沿著往動方向行進時，如第10圖所示，在玻璃基板A的上面，連續地形成涂布液90的涂膜D。
對于涂膜D的形成，也可以不是暫時停止載物臺26的移動，而是當玻璃基板A的起始線通過狹縫模具1的吐出口14時，從吐出口14吐出涂布液90。
隨著載物臺26的行進，當在玻璃基板A上應該結束涂膜D的形成的終止線到達狹縫模具1的吐出口14的跟前位置時，在這一時刻，停止注射泵64的吐出動作。這樣一來，即便停止從狹縫模具1的吐出口14吐出涂布液90，也可以一面消費玻璃基板A上的積存液C的涂布液，一面繼續形成涂膜D直到終止線。也可以在玻璃基板A上的終止線通過了狹縫模具1的吐出口14的時刻，停止注射泵64的吐出動作。
在玻璃基板A上的終止線通過吐出口14的時刻或通過了吐出口14的時刻，稍稍進行注射泵64的吸引動作，由此，狹縫模具1的模唇間隙13內的涂布液90被吸引到集管12側。同時，狹縫模具1上升到原來的位置，并結束由狹縫模具1實現的涂布液90的涂布。
其次，只付與注射泵64與吸引動作同等量的吐出動作，以使得狹縫模具1的模唇間隙13內不會殘留空氣。之后，注射泵64的電磁切換閥66，進行應該連接泵本體72和吸引管68的切換動作，在泵本體72上進行通過吸引管68吸引容器70內的涂布液的吸引動作。當在注射泵64內吸引了規定量的涂布液時，注射泵64的電磁切換閥66，進行應該連接泵本體72和供給管62的切換動作。之后，在狹縫模具1的上升位置，由清潔器(圖未示)擦拭附著在其下端面上的涂布液90。
另一方面，即便涂布液90的涂布結束了，仍然繼續載物臺26的往動，當載物臺26到達了導引槽軌道24的終端的時刻，停止該往動。在該狀態下，形成了涂膜D的玻璃基板A，在解除了由該負壓實現的吸附后，由卸載機從載物臺26取下。之后，載物臺26復動，返回到第9圖所示的初期位置，一連串的涂布工序結束。在初期位置，載物臺26待機，直到裝載新的玻璃基板。
作為被使用于涂膜形成的涂布液90，只要是具有流動性的液體便沒有特別地限定，例如，有著色用涂布液、抗蝕劑用涂布液、護膜用涂布液、防靜電用涂布液、或者滑性用涂布液等。作為涂布液，多使用使高分子材料或玻璃、金屬等無機材料溶解或分散在水或有機溶劑中而成的液體。
使用的涂布液90的粘度，理想的是1mPa·s至100,000mPa·s，更理想的是5mPa·s至50,000mPa·s。牛頓流體從涂布性來看較理想，但可以使用具有觸變性的涂布液。
作為基板A，除了玻璃之外，還可以使用鋁等的金屬板、陶瓷板、硅片等。
作為使用的涂布條件，間隙(相對于必要的部件)，理想的是20μm至500μm，更理想的是50μm～400μm；涂布速度，理想的是0.1m/分至50m/分，更理想的是0.5m/分至10m/分；模唇間隙，理想的是30μm至1,000μm，更理想的是50μm至600μm；涂布厚度，理想的是3μm至500μm，更理想的是5μm至300μm。
本發明的具有涂膜的基體材料的制造方法，多使用于顯示器用部件的制造。作為顯示器用部件，有使用于液晶用顯示器的濾色片、等離子顯示器的背面板和前面板等。
在以上的實施形態中，說明了對于玻璃基板等薄片基體材料的涂布，對于薄膜、金屬片或金屬箔、紙等長條的輻板(長條的被涂布部件)的涂布，通過如下的方式實現，即在用輥子支撐、輸送輻板的部分，使本發明的狹縫模具1靠近，然后從狹縫模具1的吐出口14對輻板吐出涂布液。
其次，對本發明的具有涂膜的基體材料的制造方法的其他形態進行說明。
第14圖，是用于實施本發明的具有涂膜的基體材料的制造方法的涂布裝置的一例的概略正面剖面圖；第15圖，是展示使用第14圖的涂布裝置涂布時的各動作部的動作狀況的時間線圖；第16A以及16B圖，是說明基板上的涂膜的形成狀況的平面圖；第17圖，是說明狹縫模具和基板之間的液筋的形成狀況的概略立體圖。
在第14圖中，涂布裝置(金屬型涂料機)501，具備基臺502，在基臺502上，設有一對導軌504。在導軌504上，配置有載物臺506，載物臺506由圖未示的直線電動機驅動而沿著箭頭X方向自如地往復移動。載物臺506的上面是由吸附孔構成的真空吸附面，可以吸附保持作為被涂布部件的基板B。
在基臺502的中央，有門型的支柱510。在支柱510的兩側，具備上下升降單元570，在上下升降裝置單元570上安裝有進行涂布的本發明的狹縫模具520。
狹縫模具(模具)520，通過將沿著與箭頭X方向垂直的方向、即垂直于紙面的方向延伸的前唇部522以及后唇部524，沿著X方向重合，并用圖未示的多個連結螺栓一體地結合的方式構成。
再者，前唇部522，將厚度不同的2個部件沿著上下重合，并用定位部件532沿著水平方向(X方向)將外面側定位而構成。該定位部件532，用定位部件532的固定要件(圖未示)固定在構成前唇部522的2個部件上。
在模具520內的中央部，形成有集管526，集管526也沿著模具520的縱向(與X方向正交的水平方向)延伸。在集管526的下方，連通地形成有模唇間隙(狹縫)528。該狹縫528也沿著模具520的縱向延伸，其下端在作為模具520的最下端面的吐出口面536被打開，形成吐出口534。狹縫528的間隙寬度(狹縫寬度)(沿著X方向測定)，等于構成前唇部522的2個部件的厚度的差。
使模具520升降的上下升降裝置單元570，由以懸掛方式保持模具520的懸掛保持臺580、使懸掛保持臺580升降的左右一對升降臺578、沿著上下方向導引升降臺578的導軌574、將馬達572的旋轉運動變換為升降臺578的直線運動的滾珠絲杠576構成。
上下升降單元570，為了支撐模具520的縱向的兩端部而在左右一對，由于可以分別獨立地升降，因此可以任意地設定模具520的縱向的相對于水平的傾斜角度。由此，可以使模具520的吐出口面536和基板B在模具520的縱向上大致平行。進而，通過該上下升降單元570，可以在載物臺506上的基板B和模具520的吐出口面536之間設置任意大小的間隙。
在第14圖中，在基臺502的右側端部，擦拭單元590沿著X方向移動自如地被安裝在導軌504上。在擦拭單元590上，具有與模具520的吐出口534周邊相配合的形狀的擦拭頭592，經由托架594安裝在滑塊596上。滑塊596，通過驅動單元598，沿著模具520的縱向，即，垂直于X方向的水平方向自如地移動。
驅動單元598和托盤600，被固定在臺車602上。臺車602，位于導軌504上，被導軌504導引，并通過圖未示的直線電動機可以沿著X方向自如地往復移動，因此擦拭單元590整體可以沿著X方向往復移動。在進行擦拭時，使單元590整體沿著X方向移動，并將模具520下降，使其與擦拭頭592相配合。然后，當驅動驅動單元598而使擦拭頭592沿著模具520的縱向滑動時，可以除去、清掃殘存在模具520的吐出口附近的涂布液566和其他的污染物。
除去的涂布液566及其他的污染物用托盤600回收。托盤600，連接在圖未示的排出線上，可以將積存在內部的涂布液566等液體排出、回收到外部。托盤600，還可以用于回收從模具520被排氣裝置等吐出的涂布液566。擦拭頭592，為了可以均等地與模具520相配合，最好用橡膠等彈性體、合成樹脂形成。
在基臺502的左側，測定基板B的厚度的厚度傳感器620被安裝在支撐臺622上。厚度傳感器620，最好是使用了激光的儀器。通過由厚度傳感器620測定基板B的厚度，無論對于什么厚度的基板B，總能夠使作為模具520的吐出口面536和基板B的空隙的間隙一定。
模具520的集管526的上游側，經由內部通路(圖未示)總是連接在與涂布液供給裝置540相連的供給管560上。由此，可以從涂布液供給裝置540向集管526供給涂布液。進入了集管526的涂布液566，沿著模具520的縱向被均等地擴寬而流動，經由狹縫528，從吐出口534被吐出。
涂布液供給裝置540，在供給管560的上游側，具備供給閥542、注射泵550、吸引閥544、吸引管562、容器564。在容器564內，蓄有涂布液566，并被連結在氣壓源568上，從而可以在涂布液566上附加任意大小的背壓。
容器564內的涂布液566，通過吸引管562，被提供給注射泵550。注射泵550，具有由注射器552和活塞554構成的泵本體556。活塞554，通過圖未示的驅動源可以沿著上下方向自如地往復移動。注射泵550，在具有一定的內徑的注射器552內填充涂布液566，并用活塞554將其推出，然后送給模具520。注射泵550，是通過1次動作，提供與一片基板B的涂布所需的量相平衡的量的涂布液566的定容量型的泵。
當在注射器552內填充涂布液566時，打開吸引閥544，關閉供給閥542，然后使活塞554向下方移動。另外，當向模具520提供填充在注射器552內的涂布液566時，通過關閉吸引閥544，打開供給閥542，并使活塞554向上方移動的方式，用活塞554將注射器552內部的涂布液566推上并排出。為了確保陽側的活塞554和陰側的注射器552之間的密封性，最好將圖未示的O形環安裝在活塞554上。
根據控制信號動作的直線電動機、馬達572、涂布液供給裝置540等，全部電連接在控制裝置700上。遵循組入到控制裝置中的自動運轉程序，將控制指令信號發送給各機器，然后進行預先設定的動作。當變更條件時，只要在操作盤702上輸入適當的變更參數，并將其傳達給控制裝置700，便能實現運轉動作的變更。
其次，說明使用了金屬型涂料機501的、具有涂膜的基體材料的制造方法。
首先，當進行金屬型涂料機501的各動作部的復位時，各移動部移動到預備位置。即，載物臺506移動到第14圖的左端部(用虛線表示的位置)，模具520移動到最上部。擦拭單元590進行移動使托盤600來到模具520的下部位置。在此，假設在從容器564到模具520的涂布液流路中，已經充滿有涂布液566，并且排出模具520內部的殘留空氣的操作也已經結束。
這時的涂布液供給裝置540的狀態，是在注射器552內填充涂布液566，關閉吸引閥544，打開供給閥542，活塞554位于最下端的位置，任何時候都可以向模具520提供涂布液566。
在該狀態下，首先，相對于載物臺506的表面使圖未示的升降銷上升，從圖未示的裝載機將基板B載置到升降銷上部。其次，使升降銷下降，將基板B載置在載物臺506上面并加以吸附保持。
與此同時，使涂布液供給裝置540工作，在向托盤600吐出少量的涂布液566后，使擦拭單元590移動使得擦拭頭592來到模具520的吐出口534的正下方的位置。然后，使模具520下降，在模具520的吐出口面536與擦拭頭592相配合之后，使擦拭頭592沿著模具520的縱向滑動，從而清掃模具520的吐出口534附近。清掃完成后，擦拭單元590返回到原來的地方(第14圖的右端)。
接著，再次使涂布液供給裝置540工作，從模具520的吐出口534吐出一定量的涂布液566。由于這時吐出的涂布液566是微小量，因此不會從吐出口534滴落到下方，而以懸掛的形式殘留在吐出口534以及其周圍的吐出口面536上。這時，如果在狹縫528的吐出口534附近有微小的空隙，涂布液566便被推出到吐出口534的外部。由于從吐出口534吐出的涂布液566具有沿著吐出口534的縱向順著吐出口534流動的性質，因此即便存在由于在狹縫528中有空隙而涂布液566沒有被推出的部分，也會由于涂布液566順著該縱向流動，而使空隙部分被排除，吐出口534下部被在縱向上連結的涂布液566填滿。在該吐出口534下部連結的涂布液566的自吐出口534算起的懸垂量，由于表面張力的作用在模具520縱向上被均勻化。
這里的來自于吐出口534的吐出量，用第17圖說明。在第17圖中，如果將包括模具520的吐出口534的面，即，吐出口面536的涂布方向長度設為Ls，將吐出口534的模具520的縱向長度設為W，將后述的吐出口面536和基板B的涂布時的間隙設為S1，這時的吐出量，理想的是用S1×Ls×W表示的容積的5％至100％，更理想的是該容積的10％至50％。如果將相對于該容積的比例設為α1，比例α1的范圍被表現為0.05≤α1≤1.0。
如果吐出量少于該范圍，在從吐出口534吐出涂布液566后，由于沿著縱向移動的量較少，移動速度也較低，因此實際上不能消除在其他的部分形成的空隙。如果吐出量多于該范圍，則因為涂布液566從在吐出口面536和基板B之間形成的間隙溢出，使得涂布開始時的涂膜的膜厚增厚到容許值或其以上。
在從吐出口534吐出了上述的吐出量之后，必須使其待機一定時間。該時間(待機時間)，是被吐出的涂布液566從吐出口534垂下，并通過表面張力的作用在模具520縱向上被均勻化所需要的時間。待機時間，理想的是0.1秒至10秒，更理想的是0.3秒至3秒。如果比這個短，便不會被均勻化；如果比這個長，則生產間隔時間大幅度延長，因此不理想。
與以上的動作同時開始載物臺506的移動。計測通過厚度傳感器620的下方的基板B的厚度。當基板B的涂布開始部801到達了模具520的吐出口534的正下方的時刻，停止載物臺506的移動。驅動上下升降單元570，使模具520的吐出口面536接近確保相對于基板B的預先設定的大小的間隙的位置。在該間隙的設定時，使用所測定的基板B的厚度數據。
接著，用規定速度使注射泵550的活塞554上升，在經過一定時間從模具520吐出涂布液566后，用規定速度開始載物臺506的移動，開始涂布液566的向基板B的涂布，并形成涂膜。
當基板B的涂布結束部來到模具520的吐出口534的位置時，使活塞554停止，并停止涂布液566的供給，接著，驅動上下升降單元570，使模具520上升。由此，切斷在基板B和模具520之間形成的液筋，涂布結束。
在這些動作中，載物臺506繼續移動，到了終點位置后停止，并解除基板B的吸附，然后使升降銷上升，從而舉起基板B。這時，由圖未示的卸載機保持基板B的下面，并將基板B向下一個工序輸送。
在將基板B交接給卸載機后，載物臺506使升降銷下降，返回到原點位置。在載物臺506返回到原點位置后，以托盤600位于模具520的吐出口534的下部的方式使擦拭單元590移動。
之后，使注射泵550工作，將10μL至500μL的少量的涂布液566送入模具520，用涂布液566填滿殘存在模具520的內部的空隙部。
在該動作完成后，打開注射泵550的吸引閥544，關閉供給閥542，用一定速度使活塞554下降，并將容器564的涂布液566填充到注射器552內。填充完成后，活塞554停止，關閉吸引閥544，打開供給閥542，待機直到下一個新的基板B到來。對每個新的基板B重復相同的動作。
在以上的具有涂膜的基體材料的制造方法中，在涂布開始前，從模具520的吐出口534吐出微小一定量的涂布液566，在利用該涂布液566形成在狹縫528內以及吐出口534附近沒有空隙的狀態后，才開始涂布，因此基板B的涂布開始部801的涂膜802的形成狀態，不具有第16B圖所示的膜殘缺803，而是均勻的。在不采用這樣微小一定量的涂布液566的吐出的情況下，如第16A圖所示，基板B的涂布開始部801的涂膜802的形成狀態，便成為具有膜殘缺803的狀態。如果在該狀態下繼續涂布，膜殘缺803便形成線條疵點804。
在上述的實施形態中，說明了通過使彈性體制成的擦拭頭592配合在模具520的吐出口534附近并使其滑動，來清掃模具520的吐出口534附近的方式，但也可以采用以布料或用溶劑濕潤了的布料擦拭模具520的吐出口534附近的方式。
其次，對本發明的具有涂膜的基體材料的制造方法的另一形態進行說明。
在第14圖的金屬型涂料機501中，首先，從將涂布液566填充在從容器564到模具520的涂布液流路中，到將載物臺506、模具520、擦拭單元590配置在預備的位置為止，與使用第14圖的金屬型涂料機501的上述具有涂膜的基體材料的制造方法完全相同。
對于這以后的載物臺506、模具520、注射泵550的動作，參照第15圖的時間圖來說明。確認擦拭單元590移動到了基臺502的右端，然后開始載置了基板B的載物臺506的移動。這時，模具520位于離進行涂布的位置較遠的上方的擦拭位置，另一方面，注射泵550待機并仍然停止。然后，當基板B通過厚度傳感器620的下方時，測定基板B的厚度。當基板B的涂布開始部801到達了模具520的吐出口534的正下方時，使載物臺506的移動停止。這時，利用測定的基板B的厚度數據，驅動上下升降單元570，然后以模具520的吐出口面536和基板B之間的間隙成為預先設定的第1間隙的方式使模具520下降到第1下降位置。然后，驅動注射泵550，從模具520的吐出口534吐出一定量的涂布液566，形成液筋。在經過一定時間后，以模具520的吐出口面536和基板B之間的間隙成為第2間隙的方式使模具520沿著上下方向移動到第2下降位置。第2間隙，最好是為了維持一度形成的液筋而設定。然后，在該狀態下使注射泵550的活塞554以規定速度上升，從模具520吐出涂布液566，在一定時間后當液筋生長成規定的大小后，以規定速度開始載物臺506的移動，并開始涂布液566的向基板B的涂布，在基板B上形成涂膜。
這時，來自于模具520的涂布液566的吐出，和載物臺506與模具520的相對移動開始，可以是同時，也可以將載物臺506與模具520的相對移動開始這一方提前。
注射泵550的活塞554達到規定速度的時間，和載物臺達到規定速度的時間，可以是任意的，但理想的是同時，或載物臺506達到規定速度是較慢的一方。
接著，當基板B的涂布結束部來到了模具520的吐出口534的位置時，使活塞554停止，然后停止涂布液566的供給，之后，殘存在模具520的吐出口面536和基板B之間的涂布液的一部分，隨著基板B的移動，被轉印在基板B上，即所謂的刮拖涂布的狀態。之后，驅動上下升降單元570，從而使模具520上升。由此，切斷形成在基板B和模具520之間的液筋，涂布結束。
載物臺506在這段期間內也繼續動作，當來到了終點位置時，停止，并解除基板B的吸附，然后使升降銷上升，從而抬起基板B。這時，由圖未示的卸載機保持基板B的下面，并將基板B輸送到下一個工序。在將基板B過渡到卸載機上之后，載物臺506使升降銷下降，并返回到原點位置。當載物臺506返回到原點位置后，使擦拭單元590移動以使托盤600位于模具520的吐出口534的下部。
之后，使注射泵550工作，給模具520送入10μL至500μL的少量的涂布液566，并用涂布液566填滿殘存在模具520內部的空隙部。
在該動作完成后，使注射泵550工作，將涂布液566填充在注射器552內。填充完成后，使活塞554停止，使吸引閥544處于關閉的狀態，使供給閥542處于打開的狀態，然后待機直到下一個新的基板B到來。對每個新的基板B重復相同的動作。
在該涂布中，第1間隙最好是20μm至200μm，第2間隙最好是40μm至300μm。
在設定第1間隙后，通過模具520的吐出口534吐出一定量的涂布液566，由此，即便在狹縫528的吐出口534附近有微小的空隙，(a)空隙，被推出到吐出口534的外部，(b)從吐出口534吐出的涂布液566，通過一種毛細現象，沿著模具520的縱向，順著形成在吐出口面536和基板B之間的間隙流動。由此，狹縫528的空隙被涂布液566推出，假設即便在吐出口534附近的吐出口面536和基板B之間的間隙內殘留有空隙，也被利用毛細管現象順著移動來的涂布液566從間隙排出。由此，在吐出口面536和基板B之間，沿著縱向形成涂布液566的連續的液筋，因此空隙不會給之后的涂布造成影響。
這里的來自于吐出口534的吐出量，用第17圖說明。在第17圖中，如果將模具520的吐出口面536的涂布方向(箭頭的方向)長度設為Ls，將吐出口面536和基板B之間的第1間隙設為S2，將吐出口534的縱向長度設為W，該空間的容積V被表示為V＝Ls×S2×W。這時的吐出量，理想的是容積V的5％至100％，更理想的是10％至50％。如果將相對于該容積V的比例設為α2，則比例α2的范圍被表現為0.05≤α2≤1.0。
根據由此規定的涂布液566的吐出量，在吐出口面536和基板B之間，形成涂布液566連結成的液筋630。如果涂布液566的吐出量小于該范圍，涂布液566利用毛細現象沿著模具縱向流動的速度變得非常慢，涂布的生產間隔時間也變慢。另一方面，如果大于該范圍，涂布液566沿著模具520縱向很快流動，雖然排出空隙的時間被大幅度縮減，但相反，涂布液566會從由吐出口面536和基板B形成的狹縫部溢出，從而存在不能正常地進行以后的涂布的情況。
如果第1間隙小于上述的范圍，由于基板B的厚度不勻，存在基板B和吐出口面536碰撞的情況。如果第1間隙大于上述范圍，則涂布液566利用毛細現象順著在基板B和吐出口面536之間形成的狹縫部移動的速度變得極小，存在不能在短時間內利用涂布液566消除空隙，從而使涂布液566連結而形成液筋的情況。進而，如果第2間隙小于上述范圍，則在涂布時作用于涂布液566的剪切力變大，存在在涂布時會出現膜殘缺等缺點的情況。如果第2間隙大于上述范圍，則存在由第1間隙形成的液筋被切斷，并出現在涂布開始部801上沒有涂布涂布液566的膜殘缺803的情況。
第1間隙的大小，可以與第2間隙的大小相同，但理想的是第1間隙的大小小于第2間隙的大小。
在第1間隙的大小比第2間隙的大小小的情況下，由相對于從吐出口534吐出的涂布液566的毛細現象的效果實現的模具縱向的涂布液566的流動速度變快。另外，通過第2間隙增大，在吐出口面536和基板B之間形成的狹縫部所容許的上限涂布液吐出量變大，控制涂布開始部801的膜厚的操作機器變大，更容易進行涂布開始部801的膜厚控制。
相反，如果減小第2間隙的大小，存在發生在吐出口面536和基板B之間的狹縫部形成的涂布液566的積存處的容許容積變小，剩余的涂布液566溢出，從而污染基板B的沒有被涂布的部分等不良狀況的情況。
設定第1間隙，然后從吐出口534吐出一定量的涂布液566，在一定時間待機后，便可以設定第2間隙，但該待機時間，理想的是0.1秒至10秒，更理想的是0.3秒至3秒。如果比這短，涂布液566利用毛細現象順著在基板B和吐出口面536之間形成的狹縫部消除空隙，然后使涂布液566連結而形成液筋的時間不夠充分；如果比這長，存在生產間隔時間大幅度延長，成為生產性提高的阻礙原因的情況。
如以上所述，通過設定第1間隙然后吐出一定量的涂布液566，將狹縫528內的空隙排出到吐出口534外，同時在吐出口534附近殘存在模具520外的空隙，通過毛細現象的效果，被沿著模具縱向移動的涂布液566進一步排除，因此涂布液566很容易地形成填滿吐出口面536和基板B之間的狹縫部的、沿著縱向連結的液筋。
在能夠維持該液筋的第2間隙的基礎上，當接著開始涂布時，如第16A圖所示，在涂布開始部801上不產生膜殘缺803，如第16B圖所示，從涂布開始部801開始沒有涂布疵點地涂布涂布液566。通過消除膜殘缺803，可以縮小以膜殘缺803為起點而產生的線條疵點803，進而，因由膜殘缺803產生的膜厚不均勻的存在而產生的非制品部分區域。
由于該方法可以無關于涂布液的種類和涂布量而適用，因此如果采用該方法，沒必要為了消除涂布開始部的沒有被涂布的部分而改變涂布液的組成和固體含量，或增大涂布量。特別是，可以完全消除由于增大涂布量，在到涂布后的干燥為止的區間內涂布液因基板傾斜而流動，從而妨礙了膜厚均勻性這樣的不良狀況。
另外，該方法，還可以適用于為了消除涂布開始部801的膜殘缺803而使用于對輥子的預備涂布的涂料機，由于由此可以完全去掉對輥子的預備涂布，因此可以去掉伴隨預備涂布的無用的涂布液的消費，同時僅是不進行預備涂布，就可以謀求生產間隔時間的短縮化。
該方法可以適用的涂布液566的粘度，理想的是1mPa·s至1,000mPa·s，更理想的是1mPa·s至50mPa·s。從涂布性來看，涂布液566最好是牛頓流體，但也可以是具有觸變性的涂布液。尤其是當涂布在溶劑中使用了高揮發性的物質，例如，PGMEA、醋酸丁酯、乳酸乙酯等涂布液時，該方法很有效。
具體作為可以適用的涂布液566，除了濾色片用的黑底、彩色像素形成用涂布液之外，還有抗蝕劑液、護膜材料等。作為基板的被涂布部件，除了玻璃板之外，還有鋁等的金屬板、陶瓷板、硅片等。
使用的涂布狀態和涂布速度，理想的是0.1m/分至10m/分，更理想的是0.5m/分至6m/分。模具的模唇間隙的間隙寬度，理想的是50μm至1,000μm，更理想的是80μm至200μm。在濕的狀態下的涂布厚度，理想的是1μm至50μm，更理想的是2μm至20μm。尤其是，當濕的狀態下的涂布厚度在20μm或其以下時，本發明的效果很顯著。
其次，用具體的實施例進一步說明本發明。
實施例1、和比較例1以及2在寬度360mm×長度465mm×厚度0.7mm的無堿玻璃基板上，用在基板的寬方向上間距為254μm、在基板的縱向上間距為85μm、線寬為20μm、RGB像素形狀數為4,800(基板縱向)×1,200(基板寬方向)、對角的長度為508mm(20英寸)(在基板寬方向上是305mm、在基板縱向上是406mm)的格子形狀，制作厚度為1μm的黑底膜。
黑底膜，是將鈦酸氮化物作為遮光材料，將聚酰胺酸作為粘合劑使用的。
接著，通過濕清洗，除去基板上的微粒。接著，將聚酰胺酸制成粘合劑，將γ-丁內酯、N-甲基-2-吡咯烷銅、和3-甲基-甲氧基丁酸的混合物制成溶劑，將顏料紅177制成顏料，用固體含量10％混合，進而，準備將粘度調整到50mPa·s的R色的涂布液。
通過分別安裝了第1圖所示的本發明的狹縫模具1(實施例1)、第12圖所示的以往的狹縫模具301(比較例1)、以及第13圖所示的以往的狹縫模具401(比較例2)的第9圖所示的金屬型涂料機21，在以下所示的涂布條件下，將前述準備的涂布液涂布在玻璃基板整面上。
將用各個狹縫模具涂布完成的基板，用使用了加熱板的干燥裝置，在100℃下干燥20分鐘。用干涉示非接觸膜厚計在基板整面上測定干燥后的基板的涂膜的膜厚精度。在表1中展示了該測定結果。再者，表1中展示的涂布厚度精度，是將涂布厚度不勻的最大偏差除以涂布厚度的平均值，并用百分率(％)表示的。
涂布條件涂布厚度20μm、涂布速度3m/分、間隙100μm實施例1的狹縫模具中的各零件的概略形狀尺寸和主要精度等如下。
第2模唇2外形尺寸寬度400mm×高度75mm×厚度30mm前端18的長度LA0.5mm內面17a的平面度1.5μm集管12的形狀寬度358mm×深度4mm的T型模唇間隙13的吐出方向的長度Ld30mm第1模唇3第1部件4的外形尺寸寬度400mm×高度35mm×厚度30mm第2部件5的外形尺寸寬度400mm×高度40mm×厚度30mm第1部件4的內面15a的平面度1.4μm第2部件5的內面15b的平面度1.5μm階梯部件10的外形尺寸寬度26mm×高度26mm×厚度14mm階梯部件10的個數和配置間隔8個、27mm階梯部件10的階梯面10a、10b的表面粗糙度0.5S前端19的長度LB0.05mm第1模唇3的階梯H，是通過研磨使8個階梯部件10的各階梯差h微小地變化來進行微調整，直到階梯差H的最大偏差在整個縱向上在涂布寬度的范圍內達到0.2μm為止。平均階梯差H，是101.5μm。并且，設定2片厚度101.3μm的不銹鋼制密封板6a、6b的間隔Lw使得吐出寬度為358mm，并以這樣的方式對該二者進行填充，將第2模唇2和第1模唇3組合在一起。由此，形成了間隙寬度Lg的大小為101.5μm的模唇間隙13。這時的模唇間隙精度，是0.4μm。
對于比較例1以及2的以往的狹縫模具，將吐出寬度、模唇前端的形狀、集管形狀、模唇間隙的吐出方向的長度設為與實施例1的狹縫模具相同。其他的各零件的形狀尺寸和精度如下。
比較例1右側模唇302以及左側模唇303的外形尺寸寬度400mm×高度75mm×厚度30mm右側模唇302的內面的平面度1.3μm左側模唇303的內面的平面度1.4μm隔片304的厚度(模唇間隙312的大小L)101μm模唇間隙精度2.8μm比較例2右側模唇402以及左側模唇403的外形尺寸寬度400mm×高度75mm×厚度30mm右側模唇402的階梯差(模唇間隙412的大小L)103.3μm右側模唇402的階梯差的偏差1.2μm左側模唇403的內面的平面度1.3μm模唇間隙精度1.4μm表1

通過表1可以明白，在本發明的狹縫模具(實施例1)中，實現了超微級的模唇間隙精度。另外，涂膜的厚度精度，與比較例1和比較例2相比，有飛越性的提高。
其次，在干燥的R色的涂膜上，涂布厚度10μm的固體含量10％、粘度8mPa·s的抗蝕劑液。涂布后，用90℃的加熱板干燥10分鐘。干燥后，進行曝光·顯影·剝離，只在R像素部上殘留彩色涂膜，用260℃的加熱板加熱30分鐘，進行了固化(キユア)。
對于與G、B色同樣的彩色涂膜的形成，利用實施例1的狹縫模具和金屬型涂料機，用與R色同樣的涂布條件以及相同的工序，分別制成彩色涂膜。
在此，在G色的涂布液中，采用了將R色的涂布液的顏料改為顏料綠36，將固體含量調整到10％，并將粘度調整到40mPa·s的材料。在B色的涂布液中，采用了將R色的涂布液的顏料改為顏料藍15，將固體含量調整到10％，并將粘度調整到50mPa·s的材料。
最后，用噴濺使ITO附著，制作濾色片。得到的濾色片具有在基板整面上極為均勻且沒有不勻的色度，品質上是無可挑剔的。
實施例2、和比較例3以及4在寬度340mm×長度440mm×厚度2.8mm的蘇打玻璃基板上的整面上，將感光性銀膠網板印刷成5μm的厚度。之后，經過用光掩模曝光、顯影以及燒成等各工序，形成間隔220μm、條紋狀的1,920根銀電極。在該電極上，網板印刷了由玻璃和粘合劑構成的玻璃膠。之后，燒成基板，然后形成了介質層。
其次，在第9圖所示的金屬型涂料機21上順次安裝第4圖所示的狹縫模具101(實施例2)、第11圖所示的以往的狹縫模具201(比較例3)、以及第12圖所示的以往的狹縫模具301(比較例4)。
用這些金屬型涂料機21，將由玻璃粉末和感光性有機成分構成的粘度20,000mPa·s的感光性玻璃膠，涂布在基板上，其中涂布厚度是300μm，涂布速度是1m/分，間隙是350μm。涂布后，用移栽機從金屬型涂料機21取出基板，然后投入到使用了輻射加熱器的干燥爐中，用100℃干燥20分鐘。干燥后，用激光聚焦式非接觸膜厚計在基板整面上測定形成在基板上的涂膜的厚度精度。在表2中展示了該測定結果。再者，表2中展示的涂布厚度精度，是將涂布厚度不勻的最大偏差除以涂布厚度的平均值，并用百分率(％)表示的。
實施例2的狹縫模具101的概略形狀尺寸和主要精度等如下。
第2模唇2外形尺寸寬度470mm×高度100mm×厚度50mm前端18的長度LA2.5mm內面17a的平面度1.3μm集管12的形狀寬度450mm×深度20mm的T型模唇間隙13的吐出方向的長度Ld20mm第1模唇3第1部件4的外形尺寸寬度490mm×高度100mm×厚度50mm第2部件5的外形尺寸寬度490mm×高度100mm×厚度50mm第1部件4的內面15a的平面度2.3μm第2部件5的內面15b的平面度1.5μm平坦部件110的外形尺寸寬度40mm×高度35mm×厚度18mm平坦部件110的表面粗糙度0.8S平坦部件110的個數和配置間隔5個、70mm隔片111的尺寸寬度40mm×高度15mm隔片111的各厚度501.0μm至501.8μm前端19的長度LB1.0mm第1模唇3的階梯，是通過研磨使5個隔片111的各厚度微小地變化來進行微調整，直到階梯差H的最大偏差在縱向上在全部涂布寬度的范圍內達到0.4μm為止。平均階梯差H，是501.2μm。并且，以吐出寬度成為430mm的方式填充2片厚度501.3μm的不銹鋼制密封板6a、6b并設定其間隔Lw，將第2模唇2和第1模唇3組合在一起。由此，形成了間隙寬度Lg的大小為501.6μm的模唇間隙13。這時的模唇間隙精度是0.5μm。
對于比較例3以及4的以往的狹縫模具，將吐出寬度、模唇前端的形狀、集管形狀、模唇間隙的吐出方向的長度設為與實施例2的狹縫模具相同。其他的各零件的形狀尺寸和精度如下。
比較例3右側模唇202以及左側模唇203的外形尺寸寬度490mm×高度100mm×厚度50mm右側模唇202的內面的平面度1.7μm左側模唇203的內面的平面度2.2μm模唇之間的間隙L的平均值(模唇間隙212的大小L)503.4μm模唇間隙精度8.3μm比較例4右側模唇302以及左側模唇303的外形尺寸寬度490mm×高度100mm×厚度50mm右側模唇302的內面平面度1.8μm左側模唇303的內面的平面度1.4μm隔片304的厚度(模唇間隙312的大小L)498μm模唇間隙精度5.0μm表2

從表2可以明白，在本發明的狹縫模具(實施例2)中，也實現了超微級的模唇間隙精度。另外，涂膜的厚度精度，與比較例3和比較例4相比，有飛越性的提高。
將用本發明的狹縫模具(實施例2)涂布涂液并制作的基板，用以在相鄰的電極之間形成隔壁的方式設計的光掩模進行曝光，接著，進行顯影和燒成，在各區域內形成間隔220μm、線寬30μm、高度130μm的1,921根隔壁。
之后，利用網板印刷順次涂布R、G、B的熒光體膠，在80℃、15分鐘的干燥后，最后進行460℃、15分鐘的燒成，制作等離子顯示器的背面板。得到的等離子顯示器的背面板的品質無可挑剔。其次，將該等離子顯示器的背面板和前面板合在一起，密封后，封入Xe5％、Ne95％的混合氣體，并連接驅動電路。當驅動得到的等離子顯示器時，確認是沒有缺陷的、畫質良好的等離子顯示器。
實施例3用第14圖所示的金屬型涂料機501制造濾色片。在模具520中，將吐出口534的縱向長度設為360mm，將吐出口面536的涂布方向長度設為0.5mm，將狹縫528的間隙寬度設為100μm。該模具520，是能夠在基板B上形成360mm寬度的涂膜的裝置。
首先，清洗寬度360mm×長度465mm×厚度0.7mm的無堿玻璃基板。清洗后，將模具520和基板B之間的間隙設為100μm，將涂布速度設為3m/分，然后在基板B上涂布黑底用涂布液。
該涂布，是在用與吐出口形狀相同形狀的有機硅橡膠擦拭模具520的吐出口534附近后，在停止的基板B的涂布開始部，以成為100μm的間隙的方式使模具520接近基板B來進行。另外，該涂布，通過如下的方式進行，即從注射泵550送出以濕的厚度為10μm進行涂布的涂布液566，在從泵送液開始0.5秒后，開始基板的移動。
使用的黑底用涂布液，由酞酸氮化物的遮光材料、丙烯酸樹脂的粘合劑、PGMEA的溶劑構成，是將固體含量調整到10％，將粘度調整到10mPa·s的具有感光性的液體。
由于形成的涂膜的厚度較小，因此在涂布開始部沿著基板的寬方向產生了5處膜殘缺(沒有涂布涂布液的部位)。為了消除該缺陷，在用與吐出口形狀相同形狀的有機硅橡膠擦拭模具520的吐出口534后，在停止的基板B的涂布開始部，使模具520以存在50μm的間隙的方式接近基板B，吐出5μL的黑底用涂布液，并使其待機3秒。
之后，使模具520和基板B之間的間隙成為100μm，并使其待機0.1秒。在該待機后，從注射泵550送出可進行濕的厚度為10μm的涂布的量的涂布液566，在泵送液開始0.2秒后，開始基板B的移動。由此，涂布開始部的膜殘缺(沒有涂布涂布液的部位)全部消除。涂布的生產間隔時間是30秒。
形成了涂膜的基板，用100℃的加熱板干燥10分鐘。干燥后，進行基板的曝光·顯影·剝離處理。之后，用260℃的加熱板加熱30分鐘，進行固化。
得到的基板，是在基板的寬方向上的間隔為254μm、在基板的縱向上的間隔為85μm、線寬為20μm、RGB像素數為4,800(基板縱向)×1,200(基板寬方向)、對角的長度為508mm(20英寸)(在基板寬方向上是305mm、在基板縱向上是406mm)的格子形狀，具有厚度為1μm的黑底膜。再者，在干燥后的格子形狀形成前的狀態下，測定涂布厚度時，除了端部的10mm，在基板的掃描方向、寬方向上，厚度不勻相對于中央值都在±3％或其以下。
在將形成了黑底膜的基板濕洗后，在基板上涂布R色用涂布液，其中將模具520和基板B之間的間隙設為100μm，將涂布速度設為3m/分，將涂布厚度設為20μm。
R色用涂布液，是由丙烯酸樹脂的粘合劑、PGMEA的溶劑、顏料紅177的顏料構成，將它們以固體含量10％混合，粘度調整為5mPa·s的感光性的涂布液。
涂布后的基板在用90℃的加熱板干燥10分鐘后，進行曝光·顯影·剝離處理，只在R像素部殘留厚度2μm的R色涂膜，用260℃的加熱板加熱30分鐘，進行固化。
接著，在形成了黑底以及R色的涂膜的基板上，涂布G色用涂布液，其中將厚度設為20μm，將模具520和基板B之間的間隙設為100μm，將涂布速度設為3m/分。在該涂布后，用100℃的加熱板將基板干燥10分鐘后，進行曝光·顯影·剝離處理，只在G色像素部殘留厚度為2μm的G色涂膜，用260℃的加熱板加熱30分鐘，進行固化。
進而，在形成了黑底、R色以及G色的涂膜的基板上，涂布B色用涂布液，其中將涂布厚度設為20μm，將模具520和基板B之間的間隙設為100μm，將涂布速度設為3m/分。在該涂布后，用100℃的加熱板將基板干燥10分鐘后，進行曝光·顯影·剝離處理，只在B色像素部殘留厚度為2μm的B色涂膜，用260℃的加熱板加熱30分鐘，進行固化。
再者，G色用涂布液，是將R色用涂布液的顏料改為顏料綠36，然后將固體含量調整到10％，將粘度調整到10mPa·s的液體。另外，B色用涂布液，是將R色用涂布液的顏料改為顏料藍15，然后將固體含量調整到10％，將粘度調整到10mPa·s的液體。
R、G、B色涂布液的涂布，都是通過以下的方式進行的，即在用有機硅橡膠擦拭模具520的吐出口534附近后，在停止的基板B的涂布開始部，以存在100μm的間隙的方式使模具520接近基板B，從注射泵550送出與濕的厚度20μm相當的量的涂布液，在泵送液開始0.3秒后，開始基板B的移動。涂布的生產間隔時間是30秒。
得到的基板的涂膜的品質，是無可挑剔的。對于涂膜的膜厚分布，在干燥后，對各色進行測定時，除了端部10mm以外，在基板的掃描方向、寬方向上，厚度不勻相對于中央值都在±3％或其以下。
最后，在得到的基板上，用噴濺使ITO附著。用該制造方法，制造1,000片濾色片。在得到的各濾色片上，沒有涂布不勻，各濾色片的色度在基板整面上都均勻，各濾色片在品質上無可挑剔。
工業上的可利用性根據本發明，在具有涂膜的基體材料的制造中，由于實現了昂貴的涂布液的無效使用量的大幅度削減，獲得了制造成本的降低；由于能夠實現向越來越大型化的基體材料的涂布液的均勻，獲得了制造的經濟性的提高；或者，由于實現了生產間隔時間的短縮，獲得了生產性的提高。
根據本發明，改善了以往金屬型涂料機的優點不能充分發揮的問題點，無損于因涂布液的密封性良好而帶來的金屬型涂料機的優點，提供了用于具有穩定的涂膜的膜厚精度、具有極高品質的涂膜的基體材料的制造的狹縫模具、和具有使用了它的涂膜的基體材料的制造方法以及制造裝置。
本發明，特別是有利于向薄片類型的被涂布材料的涂膜的形成，在彩色液晶顯示器用濾色片、TFT用陣列基板、等離子顯示器用背面板和前面板、光學濾波器、印制電路板等的顯示器用部件、和集成電路、半導體等薄片涂敷制品的制造中，被廣泛使用。
權利要求
1.一種狹縫模具，該狹縫模具具備第1模唇和第2模唇，所述第1模唇和前述第2模唇，以所述第1模唇的內面和所述第2模唇的內面相對的狀態通過模唇連結要件而被一體化，通過這些相對的內面的一部分置以間隔地配置，從而形成液體供給路和沿著所述模唇的縱向延伸的模唇間隙，所述模唇間隙的下端，形成向外方打開的吐出口，所述模唇間隙的縱向的兩側端，相對于外方被封閉，所述模唇間隙的上端，連接在所述液體供給路上；其特征在于(a)所述第1模唇具備第1部件和第2部件；并具有(b)可以調整與所述第1模唇的形成所述模唇間隙的面相垂直的方向上的所述第1部件和所述第2部件的相對位置地，使所述第1部件和所述第2部件相配合的部件配合要件；(c)在調整所述相對位置后，將所述第1部件和所述第2部件連結并一體化的部件連結要件；(d)配合在與所述第1模唇的所述內面相反一側的所述第1部件的外面和所述第2部件的外面上，規定所述第1部件和所述第2部件的所述相對位置的定位要件；(e)將所述定位要件固定在所述第1模唇上的定位要件的固定要件；(f)通過所述定位要件和所述定位要件的固定要件，可以調整所述模唇間隙的縱向上的間隙寬度分布。
2.如權利要求1所述的狹縫模具，其中，所述定位要件，沿著所述模唇的縱向相隔有間隔地設定多個。
3.如權利要求1所述的狹縫模具，其中，所述定位要件，具備定位部件，該定位部件，具有與所述第1部件的外面和所述第2部件的外面中的至少一方的外面相接觸的位置規定面，在存在不與另一方的外面接觸的部位的情況下，具有與該部位和該外面相配合的位置規定輔助裝置。
4.如權利要求3所述的狹縫模具，其中，所述定位部件的所述位置規定面的表面粗糙度的最大高度Ry是0.1S至1.0S。
5.如權利要求4所述的狹縫模具，其中，所述第1部件以及所述第2部件的與形成所述模唇間隙的面相垂直的方向的厚度，分別是30mm或其以上，所述定位部件的沿著所述位置規定面的方向的剖面形狀是四邊形，該四邊形的所述模唇的縱向的長度，是20mm至100mm，與該縱向垂直的方向的長度，是20mm至100mm，至少所述位置規定面所位于的部位的所述定位部件的厚度，是所述第2部件的厚度的30％或其以上。
6.如權利要求5所述的狹縫模具，其中，所述定位部件，沿著所述模唇的縱向相隔有間隔地設置多個。
7.如權利要求1所述的狹縫模具，其中，所述第2模唇，具有與所述第1模唇同樣的結構。
8.如權利要求1所述的狹縫模具，其中，所述第1部件的內面和所述第2模唇的內面，相接觸地配置，或者填充隔片而配置，在所述第2部件的內面和所述第2模唇的內面之間形成所述模唇間隙。
9.如權利要求8所述的狹縫模具，其中，與所述第1部件的內面相對的所述第2模唇的內面，和形成所述模唇間隙的所述第2模唇的內面，實質上位于同一平面內。
10.如權利要求8所述的狹縫模具，其中，與所述第2模唇的內面相對的所述第1部件的內面，和形成所述模唇間隙的所述第2部件的內面，實質上位于同一平面內。
11.一種具有涂膜的基體材料的制造方法，其中，使用權利要求1至10的任意一項所述的狹縫模具，向該狹縫模具的所述液體供給路提供涂布液，經過所述模唇間隙從所述吐出口吐出所述涂布液，同時使相對于所述吐出口相隔有間隔地配置的被涂布部件和所述狹縫模具中的至少一方相對地移動，將從所述吐出口吐出的所述涂布液涂布在所述被涂布部件上，在所述被涂布部件上形成由所述涂布液構成的涂膜。
12.如權利要求11所述的具有涂膜的基體材料的制造方法，其中，包括從所述狹縫模具的所述吐出口吐出一定體積Q1的所述涂布液的第1步驟；在第1步驟結束后，待機一定時間Ts的第2步驟；在第2步驟結束后，使所述吐出口相對于所述被涂布部件移動，在兩者之間形成間隙S1的第3步驟；在第3步驟結束后，從所述吐出口吐出所述涂布液，同時使所述被涂布部件相對于所述狹縫模具相對地移動，從而在所述被涂布部件上形成涂膜的第4步驟。
13.如權利要求12所述的具有涂膜的基體材料的制造方法，其中，將包含所述吐出口在內的面的涂布方向長度設為Ls，將所述吐出口的縱向的長度設為W，將所述間隙設為S1，以及，將系數設為α1，當該系數α1在0.05≤α1≤1.0的范圍內時，所述一定體積Q1，滿足Q1＝α1×S1×Ls×W的關系。
14.如權利要求11所述的具有涂膜的基體材料的制造方法，其中，包括使所述狹縫模具的所述吐出口相對于處于靜止狀態的所述被涂布部件移動，在兩者之間形成間隙S2的第1步驟；在第1步驟結束后，從所述吐出口吐出一定體積Q2的所述涂布液的第2步驟；在第2步驟結束后，待機一定時間Ts的第3步驟；在第3步驟結束后，從所述吐出口吐出所述涂布液，同時使所述被涂布部件相對于所述狹縫模具相對地移動，從而在所述被涂布部件上形成涂膜的第4步驟。
15.如權利要求11所述的具有涂膜的基體材料的制造方法，其中，包括使所述狹縫模具的所述吐出口相對于處于靜止狀態的所述被涂布部件移動，在兩者之間形成間隙S3的第1步驟；在第1步驟結束后，從所述吐出口吐出一定體積Q的所述涂布液的第2步驟；在第2步驟結束后，待機一定時間Ts的第3步驟；在第3步驟結束后，使所述狹縫模具的所述吐出口相對于處于靜止狀態的所述被涂布部件再次移動，在兩者之間形成第2間隙S4的第4步驟；在第4步驟結束后，從所述吐出口吐出所述涂布液，同時使所述被涂布部件相對于所述狹縫模具相對地移動，從而在所述被涂布部件上形成涂膜的第5步驟。
16.如權利要求15所述的具有涂膜的基體材料的制造方法，其中，所述第1間隙S3的大小，小于所述第2間隙S4的大小。
17.如權利要求14所述的具有涂膜的基體材料的制造方法，其中，將包含所述吐出口在內的面的涂布方向長度設為Ls，將所述吐出口的縱向的長度設為W，將所述間隙設為S2，以及，將系數設為α2，當該系數α2在0.05≤α2≤1.0的范圍內時，所述一定體積Q2，滿足Q2＝α2×S2×Ls×W的關系。
18.一種具有涂膜的基體材料的制造裝置，其中，包括如下的裝置權利要求1至10的任意一項所述的狹縫模具；與該狹縫模具的所述液體供給路相配合的涂布液供給裝置；將供給到所述液體供給路的涂布液經由所述狹縫間隙從所述吐出口吐出的涂布液吐出裝置；使相對于所述吐出口相隔有間隔地配置的被涂布部件和所述狹縫模具的至少一方相對地移動，將從所述吐出口吐出的所述涂布液涂布在所述被涂布部件上，在所述被涂布部件上形成由所述涂布液構成的涂膜的涂膜形成裝置。
19.如權利要求18所述的具有涂膜的基體材料的制造裝置，其中包括從所述狹縫模具的所述吐出口吐出一定量的所述涂布液的裝置；在吐出所述一定量的所述涂布液后，使其經過一定的待機時間的裝置；在經過該待機時間后，使相對于所述吐出口相隔有間隔地配置的被涂布部件和所述狹縫模具的至少一方相對地移動，將從所述吐出口吐出的所述涂布液涂布在所述被涂布部件上，在所述被涂布部件上形成由所述涂布液構成的涂膜的涂膜形成裝置。
全文摘要
一種狹縫模具，其通過一對相對的模唇的組合，在模唇之間具有模唇間隙和形成在該模唇間隙的下端的涂布液的吐出口，其特征在于，至少一方的模唇由沿著上下方向重合、并且可以沿著與所述吐出口的縱向成直角的方向相對移動的至少2個部件構成，進而，由以下各要件構成，即可調整這些部件的相對位置地與這些部件相配合的部件配合要件，在相對位置的調整后將這些部件相互連接的部件連結要件，安裝在這些部件的與所述吐出口側相反一側的外面、規定部件的相對移動的位置的定位要件，以及，將所述定位要件固定在所述部件上的定位要件的固定要件。
文檔編號B05C5/02GK1756605SQ20048000601
公開日2006年4月5日 申請日期2004年3月2日 優先權日2003年3月3日
發明者川竹洋, 北村義之 申請人:東麗株式會社