重氮樹脂、光刻膠組合物及其配制方法
【技術領域】
[0001] 本發明涉及高分子技術領域，具體地，涉及一種重氮樹脂、光刻膠組合物及其配制 方法。
【背景技術】
[0002] 光刻膠是大規模集成電路工業中進行光刻過程的關鍵功能材料。光刻膠經紫外光 照射后，發生一系列化學反應，使得曝光前后光刻膠在顯影液中的溶解速率產生變化，再經 過顯影、堅膜、蝕刻和去膜等過程就能夠將特定的高精度圖形轉移到待加工的基板表面。
[0003] 現有的重氮樹脂由于熱穩定性差，產生重氮樹脂存儲期限短，以及由重氮樹脂制 成的印刷版的存儲期限短，而無法應用于光刻膠中。
【發明內容】
[0004] 解決上述問題所采用的技術方案是一種具有優良熱穩定性的重氮樹脂，其技術方 案如下：
[0005] -種重氮樹脂，其特征在于，所述重氮樹脂的結構式如下：
[0006]
【主權項】
1. 一種重氮樹脂，其特征在于，所述重氮樹脂的結構式如下： 其中，η為2-1000的整數；
IT包括六氟磷酸根、十二烷基苯磺酸根、十二烷基磺酸根、對甲苯磺酸根、均三甲苯磺 酸根、萘磺酸根陰離子中的任意一種； X包括氫、甲氧基、甲基中的任意一種； Y為硝基； Z為甲基或乙基。
2. 如權利要求1所述的重氮樹脂，其特征在于，其中，η為2-10的整數。
3. 如權利要求1所述的重氮樹脂，其特征在于，其中，η為6 ;ΙΓ為均三甲苯磺酸根陰離 子；X為氫；Z為乙基。
4. 一種光刻膠組合物，其特征在于，包括：4-6質量份的成膜樹脂；10-15質量份的重氮 樹脂；〇. 1-1質量份的背景染料；200-300質量份的有機溶劑。
5. 如權利要求4所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述的成膜樹脂包括環氧樹脂、聚 乙烯醇縮醛樹脂、聚氨酯樹脂中的一種或幾種。
6. 如權利要求4所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述的背景染料包括堿性艷藍、結 晶紫、維多利亞純藍、靛藍、甲基紫、孔雀石綠、油溶藍中的一種或幾種。
7. 如權利要求4所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述的有機溶劑包括乙二醇單甲 醚、乙二醇單乙醚、丙二醇單乙醚、甲乙酮、醋酸丁酯、二氧六環、N-甲基吡咯烷酮、甲醇、四 氫呋喃中的一種或幾種。
8. -種如權利要求4-7任一所述光刻膠組合物的配制方法，其特征在于，包括以下步 驟： 將背景染料溶解于有機溶劑，然后加入成膜樹脂、重氮樹脂溶解過濾獲得光刻膠。
【專利摘要】本發明提供一種含有重氮樹脂的光刻膠組合物及其配制方法，用于解決現有技術存在的重氮樹脂由于熱穩定性差，產生重氮樹脂存儲期限短，以及由重氮樹脂制成的感光膠存儲期限短，而無法應用于LCD光刻膠中的問題。本發明提供的重氮樹脂、光刻膠組合物及其配制方法，由于重氮樹脂的熱穩定性優良，運用于負性光刻膠中，抗干法刻蝕能力強，分辨率也高；同時，在曝光過程中，部分重氮樹脂能與形成阻擋層或鈍化層的SiO或SiON膜表面的氫鍵交聯而提高光刻膠與膜層的附著力，顯影過程中不會出現光刻膠脫落，從而省去掩模前還要使用增粘劑來增強光刻膠與SiO或SiON膜表面附著力的工藝過程。
【IPC分類】C07C245-20, G03F7-021, C08G16-04, G03F7-004
【公開號】CN104530342
【申請號】CN201510012836
【發明人】汪建國
【申請人】京東方科技集團股份有限公司
【公開日】2015年4月22日
【申請日】2015年1月9日