一種用于單晶爐的放氣閥的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種用于單晶爐的放氣閥,包括閥筒、閥蓋、閥座、閥芯和預緊力調節裝置,所述的閥蓋安裝在閥筒的左端上,所述的閥座安裝在閥筒的右端內,所述的閥座的中心處開設有出氣孔,所述的閥芯活動連接在閥筒內,所述的閥芯為半球形閥頭,所述的閥芯的球形面正對閥坐,所述的閥芯通過彈簧與閥蓋相連,所述的閥芯在彈簧的作用下堵塞在閥座的出氣孔處,從而實現密封作用,所述的預緊力調節裝置設置在彈簧與閥蓋之間。本設計通過預緊力調節裝置對彈簧的預緊力進行調節,從而實現了定壓放氣,增加了其的實用性能。
【專利說明】
一種用于單晶爐的放氣閥
技術領域
[0001]本實用新型涉及單晶爐技術領域,特別是一種用于單晶爐的放氣閥。
【背景技術】
[0002]單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。其中生產出的而單晶硅又是光伏發電和半導體行業中的基礎原料。單晶硅目前世界上最重要的單晶材料之一,它不但是集成電路的主要材料,更是太陽能電池的的主要材料。因此單晶爐的質量好壞直接關系著晶硅的質量。現有的單晶硅的放氣裝置是直接將密封螺母密封后,放氣時直接將螺母旋下進行放氣,這種放氣裝置容易發生惰性氣體的泄漏,印象惰性氣體的質量。
【發明內容】
[0003]本實用新型需要解決的技術問題是通過設置溢流孔和壓力閥來對單晶爐自身結構起到保護的作用,防止由于內外壓力差過大而造成自身結構的損壞,減少了不必要的損失;提供一種用于單晶爐的放氣閥。
[0004]為解決上述的技術問題,本實用新型的結構包括
[0005]閥筒,
[0006]閥蓋,所述的閥蓋安裝在閥筒的左端上,
[0007]閥座,所述的閥座安裝在閥筒的右端內,所述的閥座的中心處開設有出氣孔,
[0008]閥芯,所述的閥芯活動連接在閥筒內,所述的閥芯為半球形閥頭,所述的閥芯的球形面正對閥坐,所述的閥芯通過彈簧與閥蓋相連,所述的閥芯在彈簧的作用下堵塞在閥座的出氣孔處,從而實現密封作用,
[0009]預緊力調節裝置,所述的預緊力調節裝置設置在彈簧與閥蓋之間。
[0010]進一步:所述的預緊力調節裝置包括開設在閥蓋上的螺紋孔、設置在閥筒左端外側的外接螺紋和頂緊塊,所述的閥筒通過外側的外接螺紋連接在閥蓋的螺紋孔內,所述的頂緊塊的一端伸入至螺紋孔內,所述的閥蓋通過頂緊塊與彈簧相連。
[0011]又進一步:所述的頂緊塊的中心處開設有導向孔,所述的導向孔內活動連接有導向桿,所述的導向桿與閥芯相連。
[0012]再進一步:所述的閥芯上開設有溢流孔,所述的溢流孔正對閥座的出氣孔,所述的溢流孔安裝有壓力閥。
[0013]采用上述結構后,本實用新型通過設置溢流孔和壓力閥來對單晶爐自身結構起到保護的作用,防止由于內外壓力差過大而造成自身結構的損壞,減少了不必要的損失;并且本設計還具有結構簡單、易于制造和實用高效的優點。
【附圖說明】
[0014]下面結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細的說明。
[0015]圖1為本實用新型的結構不意圖。
【具體實施方式】
[0016]如圖1所示的一種用于單晶爐的放氣閥,包括閥筒1、閥蓋2、閥座4、閥芯3和預緊力調節裝置,所述的閥蓋2安裝在閥筒I的左端上,所述的閥座4安裝在閥筒I的右端內,所述的閥座4的中心處開設有出氣孔,所述的閥芯3活動連接在閥筒I內,所述的閥芯3為半球形閥頭,所述的閥芯3的球形面正對閥坐4,所述的閥芯3通過彈簧10與閥蓋2相連,所述的閥芯3在彈簧10的作用下堵塞在閥座4的出氣孔處,從而實現密封作用,所述的預緊力調節裝置設置在彈簧10與閥蓋2之間。工作時,當單晶爐內的氣壓過大時,高壓氣體會推動閥芯3擠壓彈簧1,使閥芯3與閥座4分離,從而使單晶爐內的高壓氣體從閥座4上的出氣孔跑出,降低單晶爐內的氣壓,其具有結構簡單、易于制造和實用高效的優點。并且本設計還可以通過預緊力調節裝置對彈簧10的預緊力進行調節,從而實現了定壓放氣,增加了其的實用性能。
[0017]如圖1所示的預緊力調節裝置包括開設在閥蓋2上的螺紋孔、設置在閥筒I左端外側的外接螺紋和頂緊塊5,所述的閥筒I通過外側的外接螺紋連接在閥蓋2的螺紋孔內,所述的頂緊塊5的一端伸入至螺紋孔內,所述的閥蓋2通過頂緊塊5與彈簧10相連,所述的頂緊塊5的中心處開設有導向孔9,所述的導向孔9內活動連接有導向桿7,所述的導向桿7與閥芯3相連。當需要對彈簧10的預緊力進行調節時,旋轉閥蓋2調節閥筒I伸入螺紋孔內的長度,從而通過頂緊塊5調節彈簧10的壓縮量,完成對彈簧10預緊力的調節。本設計通過預緊力調節裝置對彈簧10的預緊力進行調節,實現了定壓放氣,增加了其的實用性能。
[0018]如圖1所示的閥芯3上開設有溢流孔11,所述的溢流孔11正對閥座4的出氣孔,所述的溢流孔11安裝有壓力閥12。當閥芯3與閥座4發生卡死后,本實用新型通過設置溢流孔和壓力閥來對單晶爐自身結構起到保護的作用,防止由于內外壓力差過大而造成自身結構的損壞,減少了不必要的損失。
【主權項】
1.一種用于單晶爐的放氣閥,其特征在于:包括 閥筒(1), 閥蓋(2),所述的閥蓋(2)安裝在閥筒(I)的左端上, 閥座(4),所述的閥座(4)安裝在閥筒(I)的右端內,所述的閥座(4)的中心處開設有出氣孔, 閥芯(3),所述的閥芯(3)活動連接在閥筒(I)內,所述的閥芯(3)為半球形閥頭,所述的閥芯(3)的球形面正對閥座(4),所述的閥芯(3)通過彈簧(10)與閥蓋(2)相連,所述的閥芯(3)在彈簧(10)的作用下堵塞在閥座(4)的出氣孔處,從而實現密封作用, 預緊力調節裝置,所述的預緊力調節裝置設置在彈簧(10)與閥蓋(2)之間。2.根據權利要求1所述的一種用于單晶爐的放氣閥,其特征在于:所述的預緊力調節裝置包括開設在閥蓋(2)上的螺紋孔、設置在閥筒(I)左端外側的外接螺紋和頂緊塊(5),所述的閥筒(I)通過外側的外接螺紋連接在閥蓋(2)的螺紋孔內,所述的頂緊塊(5)的一端伸入至螺紋孔內,所述的閥蓋(2)通過頂緊塊(5)與彈簧(10)相連。3.根據權利要求2所述的一種用于單晶爐的放氣閥,其特征在于:所述的頂緊塊(5)的中心處開設有導向孔(9),所述的導向孔(9)內活動連接有導向桿(7),所述的導向桿(7)與閥芯(3)相連。4.根據權利要求1所述的一種用于單晶爐的放氣閥,其特征在于:所述的閥芯(3)上開設有溢流孔(11),所述的溢流孔(11)正對閥座(4)的出氣孔,所述的溢流孔(11)安裝有壓力閥(12)。
【文檔編號】C30B29/06GK205635859SQ201620204422
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年3月16日
【發明人】潘清躍, 王平
【申請人】江蘇華盛天龍光電設備股份有限公司