一種外延爐反應室的可拆卸頂蓋的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種外延爐反應室的可拆卸頂蓋，包括上頂蓋及下頂蓋，下頂蓋包括一中心圓插件及至少兩個扇形環插件，所述中心圓插件通過連接件與上頂蓋中部連接，所述扇形環插件緊密配合的環繞于中心圓插件外側并分別與上頂蓋連接；其中中心圓插件與扇形環插件的相接處及扇形環插件相互之間的相接處均形成臺階狀配合。相對于傳統的整片式下頂蓋，本實用新型設計成多部件拼接易于拆卸清潔維護及更換，同時多點受力可以有效減少形變防止抱死。
【專利說明】
一種外延爐反應室的可拆卸頂蓋
技術領域
[0001]本實用新型涉及半導體技術，特別是涉及一種外延爐反應室的可拆卸頂蓋。【背景技術】
[0002]外延晶片，例如碳化硅外延晶片通常是采用CVD(化學氣相沉積)的方法來生長，具體是將襯底置于外延爐反應室中，將含有構成薄膜元素的化合物、單質氣體通入反應室，借助孔徑氣相化學反應在襯底表面上沉積固體薄膜。反應室的頂蓋是反應室的重要組成部分，可以調節反應室內部溫度場分布，改善外延生長條件。
[0003]反應室的頂蓋包括上頂蓋及下頂蓋，其中下頂蓋為高純石墨且外表面設有涂層。 在使用過程中，下頂蓋亦會沉積反應物及副產物，這些沉積物隨著使用時間的增加越來越厚，并在外延生長過程中掉落到晶片上引起外延生長缺陷的產生，因而需要人工及時進行清理。現有的下頂蓋是整片式結構，其中心點與上頂蓋連接固定，在此單點受力情況下高溫環境中受熱后極易發生形變，因而難以拆卸下來進行清潔。當進行設備維護時，只能直接在反應室內部清理其沉積物，清理過程中會產生大量的粉塵等污染，對后續外延生長的質量造成很大影響，這對維持反應腔室內環境潔凈度帶來巨大的困難。【實用新型內容】
[0004]本實用新型提供了一種外延爐反應室的可拆卸頂蓋，其克服了現有技術所存在的不足之處。
[0005]本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是:
[0006]—種外延爐反應室的可拆卸頂蓋，包括上頂蓋及下頂蓋，所述下頂蓋包括一中心圓插件及至少兩個扇形環插件，所述中心圓插件通過連接件與上頂蓋中部連接，所述扇形環插件緊密配合的環繞于中心圓插件外側并分別與上頂蓋連接;其中中心圓插件與扇形環插件的相接處及扇形環插件相互之間的相接處均形成臺階狀配合。
[0007]優選的，所述扇形環插件背面設置有軌道槽，所述上頂蓋設有與所述軌道槽配合的軌道，所述扇形環插件與上頂蓋通過軌道槽與軌道插接實現可拆卸連接。
[0008]優選的，所述中心圓插件周緣下凹形成環狀臺階，所述扇形環插件的內環外凸形成圓弧狀臺階，環狀臺階與圓弧狀臺階拼接。
[0009]優選的，扇形環插件的兩側邊外凸形成臺階，且相鄰扇形環插件的側邊臺階相互拼接。
[0010]優選的，所述上頂蓋中部設有與所述連接件配合的固定件，所述中心圓插件中部設有通孔，所述連接件包括大于所述通孔的支撐部及小于所述通孔的連接部，連接部穿過所述通孔并與所述固定件連接。
[0011]優選的，所述固定件為一外凸部，外凸部上設有卡槽;所述連接件為一卡環，卡環上設有卡扣;所述中心圓插件的通孔套進所述外凸部并通過卡環的卡扣與外凸部的卡槽插接以實現可拆卸連接。
[0012]優選的，所述扇形環插件為4個，且各扇形環插件的圓心角均為90°。[〇〇13]優選的，所述中心圓插件、扇形環插件及連接件由石墨制成，且外表面涂覆有TaC涂層。
[0014]相較于現有技術，本實用新型具有以下有益效果:
[0015]1.下頂蓋包括一中心圓插件及至少兩個扇形環插件，中心圓插件通過連接件與上頂蓋中部連接，扇形環插件緊密配合的環繞于中心圓插件外側并分別與上頂蓋連接，形成了可拆卸式的多個部件，且各部件均與上頂蓋連接，增加了受力點，有效防止單點固定下形變造成抱死的情況，且各部件可拆卸并在反應室外進行清潔維護工作，提高了生產環境潔凈度;同時可以根據反應物具體沉積情況進行區域性更換，減少設備更換的支出。
[0016]2.中心圓插件與扇形環插件的相接處及扇形環插件相互之間的相接處均形成臺階狀配合，使插件之間配合形成一個整體且具有平整的表面，同時互為支撐，進一步提高了受力均勻性，延長使用壽命。
[0017]3.連接件及軌道槽與軌道配合的方式易于拆卸安裝，省時省力。【附圖說明】
[0018]圖1是本實用新型的整體結構示意圖；
[0019]圖2是本實用新型的上頂蓋結構示意圖；
[0020]圖3是本實用新型的中心圓插件結構示意圖，其中3a為俯視圖，3b為正視圖；[〇〇21]圖4是本實用新型的連接件結構示意圖，其中4a為俯視圖，4b為正視圖；[〇〇22]圖5是本實用新型的扇形環插件結構示意圖，其中5a為俯視圖，5b為正視圖。【具體實施方式】
[0023]以下結合附圖及實施例對本發明作進一步詳細說明。本發明的各附圖僅為示意以更容易了解本發明，其相對大小比例可依照設計需求進行調整。此外，文中所描述的圖形中相對元件的上下關系，在本領域技術人員應能理解是指構件的相對位置而言，因此皆可以翻轉而呈現相同的構件，此皆應同屬本說明書所揭露的范圍。
[0024]實施例，請參見圖1所示，一種外延爐反應室的可拆卸頂蓋，包括上頂蓋1及下頂蓋。下頂蓋包括一中心圓插件2及至少兩個扇形環插件3,中心圓插件2通過連接件4與上頂蓋1中部連接，扇形環插件3緊密配合的環繞于中心圓插件2外側并分別與上頂蓋1連接，其中中心圓插件2與扇形環插件3的相接處及扇形環插件3相互之間的相接處均形成臺階狀配合。
[0025]具體的，例如碳化硅外延爐反應室的上頂蓋是不銹鋼外蓋，且不銹鋼外蓋內側設有石墨泡沫層，形成良好的隔熱保溫的效果。在上頂蓋1內側的中部設有與連接件4配合的固定件。中心圓插件2中部設有通孔21，連接件4包括大于通孔21的支撐部及小于通孔21的連接部，連接部穿過通孔21并與固定件連接。參考圖2至圖4,作為一種優選的實施方式，固定件為外凸部11，外凸部11上設有卡槽111。連接件4為一設有卡扣的卡環，卡環的環狀部41 即形成支撐部，其外徑大于通孔21的圓徑，卡扣42形成連接部。中心圓插件2具有用于容納卡環環狀部41的臺階22,其通孔21套進外凸部11后，再將卡環的內圓套進外凸部11，旋轉卡環使卡扣42旋進卡槽111，通過卡扣42與卡槽111插接實現了中心圓插件2與上頂蓋1的固定。拆卸時，反方向旋轉卡環，從而實現了可拆卸連接。
[0026]結合圖2及圖5,扇形環插件3的背面設置有軌道槽31，上頂蓋1設有與軌道槽31配合的軌道12,扇形環插件3與上頂蓋1通過軌道槽31與軌道12插接固定，拆卸時，扇形環插件 3向外滑動，從而實現了可拆卸連接。
[0027]參考圖3及圖5,中心圓插件2周緣下凹形成環狀臺階23,扇形環插件3的內環外凸形成圓弧狀臺階32,環狀臺階23與圓弧狀臺階32拼接。扇形環插件3的兩側邊外凸形成臺階 33,且相鄰扇形環插件3的側邊臺階33相互拼接，從而使中心圓插件2及扇形環插件3拼接后于外觀上形成一個圓形的下頂蓋整體且具有平整的表面。臺階式拼接亦使扇形環插件3之間互為支撐，提高了整體受力的均勻性。
[0028]作為一種優選的實施方式，扇形環插件3可為4個，且各扇形環插件的圓心角均為 90°，實現均勻對稱的拼接。中心圓插件2、扇形環插件3及連接件4均由高純石墨制成，且外表面涂覆有TaC涂層，以減少碳化硅的沉積。
[0029]上述實施例僅用來進一步說明本實用新型的一種外延爐反應室的可拆卸頂蓋，但本實用新型并不局限于實施例，凡是依據本實用新型的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均落入本實用新型技術方案的保護范圍內。
【主權項】
1.一種外延爐反應室的可拆卸頂蓋，包括上頂蓋及下頂蓋，其特征在于:所述下頂蓋包 括一中心圓插件及至少兩個扇形環插件，所述中心圓插件通過連接件與上頂蓋中部連接， 所述扇形環插件緊密配合的環繞于中心圓插件外側并分別與上頂蓋連接;其中中心圓插件 與扇形環插件的相接處及扇形環插件相互之間的相接處均形成臺階狀配合。2.根據權利要求1所述的外延爐反應室的可拆卸頂蓋，其特征在于:所述扇形環插件背 面設置有軌道槽，所述上頂蓋設有與所述軌道槽配合的軌道，所述扇形環插件與上頂蓋通 過軌道槽與軌道插接實現可拆卸連接。3.根據權利要求1所述的外延爐反應室的可拆卸頂蓋，其特征在于:所述中心圓插件周 緣下凹形成環狀臺階，所述扇形環插件的內環外凸形成圓弧狀臺階，環狀臺階與圓弧狀臺 階拼接。4.根據權利要求1或3所述的外延爐反應室的可拆卸頂蓋，其特征在于:扇形環插件的 兩側邊外凸形成臺階，且相鄰扇形環插件的側邊臺階相互拼接。5.根據權利要求1所述的外延爐反應室的可拆卸頂蓋，其特征在于:所述上頂蓋中部設 有與所述連接件配合的固定件，所述中心圓插件中部設有通孔，所述連接件包括大于所述 通孔的支撐部及小于所述通孔的連接部，連接部穿過所述通孔并與所述固定件連接。6.根據權利要求5所述的外延爐反應室的可拆卸頂蓋，其特征在于:所述固定件為一外 凸部，外凸部上設有卡槽;所述連接件為一卡環，卡環上設有卡扣;所述中心圓插件的通孔 套進所述外凸部并通過卡環的卡扣與外凸部的卡槽插接以實現可拆卸連接。7.根據權利要求1所述的外延爐反應室的可拆卸頂蓋，其特征在于:所述扇形環插件為 4個，且各扇形環插件的圓心角均為90°。8.根據權利要求1所述的外延爐反應室的可拆卸頂蓋，其特征在于:所述中心圓插件、 扇形環插件及連接件由石墨制成，且外表面涂覆有TaC涂層。
【文檔編號】C30B25/08GK205635849SQ201620365709
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年4月27日
【發明人】李奕洋, 馮淦, 趙建輝
【申請人】瀚天天成電子科技（廈門）有限公司