一種具有自我保護功能的單晶爐放氣閥的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種具有自我保護功能的單晶爐放氣閥,包括閥筒、閥芯、彈簧和閥蓋,所述的閥芯活動連接在閥筒內的一側,所述的閥蓋連接在閥筒的另一側,所述的閥芯通過彈簧與閥蓋相連,所述的閥芯還與平移機構相連,所述的閥筒是由第一閥筒和第二閥筒左右連接組成,所述第二閥筒的側壁上開設有出氣孔,所述第二閥筒的左端與閥蓋相連。本設計具有自我保護的功能,能夠在單晶爐內壓強過大時進行自動放棄,防止過大的壓強對單晶爐的自身結構造成損壞,從而減少了不必要的損失。
【專利說明】
一種具有自我保護功能的單晶爐放氣閥
技術領域
[0001]本實用新型涉及單晶爐裝置技術領域,特別是一種具有自我保護功能的單晶爐放氣閥。
【背景技術】
[0002]單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。其中生產出的而單晶硅又是光伏發電和半導體行業中的基礎原料。單晶硅目前世界上最重要的單晶材料之一,它不但是集成電路的主要材料,更是太陽能電池的的主要材料。因此單晶爐的質量好壞直接關系著晶硅的質量。現有的單晶硅的放氣裝置是直接將密封螺母密封后,放氣時直接將螺母旋下進行放氣,這種放氣裝置容易發生惰性氣體的泄漏,影響惰性氣體的質量。并且隨著不斷放氣單晶爐內的壓強會不斷增大,超過單晶爐的承受極限,從而造成不必要的損失。
【發明內容】
[0003]本實用新型需要解決的技術問題是設計一種具有自我保護功能的單晶爐放氣閥,使其不僅能夠實現對單晶爐進行主動放氣,而且使其在單晶爐內壓強過大時能夠自動進行放氣,對單晶爐起到自我保護的功能。
[0004]為解決上述的技術問題,本實用新型的結構包括閥筒、閥芯、彈簧和閥蓋,所述的閥芯活動連接在閥筒內的一側,所述的閥蓋連接在閥筒的另一側,所述的閥芯通過彈簧與閥蓋相連,所述的閥芯還與平移機構相連,所述的閥筒是由第一閥筒和第二閥筒左右連接組成,所述第二閥筒的側壁上開設有出氣孔,所述第二閥筒的左端與閥蓋相連。
[0005]進一步:所述的平移機構包括活塞桿、活塞、擋塊和氣缸,所述的活塞桿水平連接在閥筒內,所述的活塞和閥芯活動套裝在活塞桿上,所述的閥芯通過活塞與彈簧相連,所述的氣缸穿過閥蓋與活塞桿的一端相連,所述的擋塊固定連接在活塞桿的另一端。
[0006]又進一步:所述第二閥筒的左端設置有外接螺紋,所述的閥蓋上開設有與外接螺紋相匹配的螺紋孔,所述的第二閥筒通過左端的外接螺紋連接在閥蓋上的螺紋孔內。
[0007]采用上述結構后,本實用新型具有自我保護的功能,能夠在單晶爐內壓強過大時進行自動放棄,防止過大的壓強對單晶爐的自身結構造成損壞,從而減少了不必要的損失;并且其還具有結構簡單、易于制造和實用高效的優點。
【附圖說明】
[0008]下面結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細的說明。
[0009]圖1為本實用新型的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0010]如圖1所示的一種具有自我保護功能的單晶爐放氣閥,包括閥筒、閥芯4、彈簧10和閥蓋3,所述的閥芯4活動連接在閥筒內的一側,所述的閥蓋3連接在閥筒的另一側,所述的閥芯4通過彈簧10與閥蓋3相連,所述的閥芯4還與平移機構相連,所述的閥筒是由第一閥筒I和第二閥筒2左右連接組成,所述第二閥筒2的側壁上開設有出氣孔9,所述第二閥筒2的左端與閥蓋3相連。當需要進行主動放氣時,啟動平移機構使其帶著閥芯4向閥蓋3運動,使第二閥筒2上的出氣孔9與單晶爐的內部空間相連通,從而使單晶爐的氣體從出氣孔9排放出去,做到主動排氣,當單晶爐內的壓強過高時,單晶爐內的氣體會推動閥芯4擠壓彈簧10,使閥芯4向著閥蓋3運動,使第二閥筒2上的出氣孔9與單晶爐的內部空間相連通,從而使單晶爐的氣體從出氣孔9排放出去,從而降低單晶爐內的壓強,當單晶爐內的壓強降低后,此時彈簧10的彈力要大于單晶爐內氣體提供的壓力,此時彈簧10會推著閥芯4向反方向運動,重新堵死出氣孔9,使單晶爐內的壓強不在發生改變。本設計不僅能夠做到主動排氣,而且其還具有自我保護的功能,能夠有效防止過大的壓強對單晶爐的自身結構造成破壞,從而減少了不必要的損失。
[0011]如圖1所示的平移機構包括活塞桿6、活塞5、擋塊8和氣缸7,所述的活塞桿6水平連接在閥筒內,所述的活塞5和閥芯4活動套裝在活塞桿6上,所述的閥芯4通過活塞5與彈簧10相連,所述的氣缸7穿過閥蓋3與活塞桿6的一端相連,所述的擋塊8固定連接在活塞桿6的另一端。當需要進行主動排氣時,啟動氣缸7使其拉著活塞桿6向左側運動,閥芯4和活塞5在擋塊8的作用下也會向著左側運動,使第二閥筒2上的出氣孔9與單晶爐的內部空間相連通,從而使單晶爐的氣體從出氣孔9排放出去,做到主動排氣。本設計具有結構簡單、易于制造和實用高效的優點。
[0012]如圖1所示的第二閥筒2的左端設置有外接螺紋,所述的閥蓋3上開設有與外接螺紋相匹配的螺紋孔,所述的第二閥筒2通過左端的外接螺紋連接在閥蓋3上的螺紋孔內。本設計通過轉動第二閥筒2調節第二閥筒2伸入閥蓋3的長度,來改變閥芯4到出氣孔9的距離,從而對放氣閥自動排氣的極限進行調節。
【主權項】
1.一種具有自我保護功能的單晶爐放氣閥,其特征在于:包括閥筒、閥芯(4)、彈簧(10)和閥蓋(3),所述的閥芯(4)活動連接在閥筒內的一側,所述的閥蓋(3)連接在閥筒的另一偵U,所述的閥芯(4)通過彈簧(10)與閥蓋(3)相連,所述的閥芯(4)還與平移機構相連,所述的閥筒是由第一閥筒(I)和第二閥筒(2)左右連接組成,所述第二閥筒(2)的側壁上開設有出氣孔(9),所述第二閥筒(2)的左端與閥蓋(3)相連。2.根據權利要求1所述的一種具有自我保護功能的單晶爐放氣閥,其特征在于:所述的平移機構包括活塞桿(6)、活塞(5)、擋塊(8)和氣缸(7),所述的活塞桿(6)水平連接在閥筒內,所述的活塞(5)和閥芯(4)活動套裝在活塞桿(6)上,所述的閥芯(4)通過活塞(5)與彈簧(10)相連,所述的氣缸(7)穿過閥蓋(3)與活塞桿(6)的一端相連,所述的擋塊(8)固定連接在活塞桿(6)的另一端。3.根據權利要求1所述的一種具有自我保護功能的單晶爐放氣閥,其特征在于:所述第二閥筒(2)的左端設置有外接螺紋,所述的閥蓋(3)上開設有與外接螺紋相匹配的螺紋孔,所述的第二閥筒(2)通過左端的外接螺紋連接在閥蓋(3)上的螺紋孔內。
【文檔編號】C30B15/00GK205556846SQ201520789815
【公開日】2016年9月7日
【申請日】2015年10月13日
【發明人】潘清躍, 王平
【申請人】江蘇華盛天龍光電設備股份有限公司