一種鉭酸鋰單晶生長設備的制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種鉭酸鋰單晶生長設備，它包括：生長爐，生長爐包括爐體、對應安裝在所述爐體上的爐門、設置在爐門上的觀察窗、安裝在爐門下部且與所述爐體相連通的進水管、安裝在爐門上部且與所述爐體相連通的出水管以及設置在所述爐體上且與其相連通的進氣口；進氣機構，所述進氣機構包括導氣至所述進氣口內的進氣管道、與所述進氣管道相連接的流量閥以及安裝在所述進氣管道上的四通閥；提拉組件，提拉組件包括設置在所述爐體頂部的支撐架、可上下升降地安裝在所述支撐架上的固定座、安裝在所述固定座上且下端延伸至所述爐體內的籽晶桿以及安裝在所述固定座上用于帶動所述籽晶桿轉動的第二電機。這樣能夠制得高純度和高質量的鉭酸鋰單晶棒。
【專利說明】
一種鉭酸鋰單晶生長設備
技術領域
[0001]本實用新型涉及一種爐體，具體涉及一種鉭酸鋰單晶生長設備。
【背景技術】
[0002]鉭酸鋰晶體是一種重要的具有多功能壓電、鐵電和電光、聲光、非線性、光折變及激光活性等特點的晶體材料，是一種光學性能多、綜合指標好的人工晶體。伴隨著激光技術的迅猛發展，鉭酸鋰晶體在電光調制器、二次諧波發生器、Q開關、聲表面濾波器及集成光學等方面得到了廣泛的應用。作為壓電材料，其突出優點是延遲時間溫度系數低，器件的熱穩定性好，是制作聲表面波彩色電視機中頻濾波器的優良材料，是優秀的熱釋電紅外探測器材料，可用于薄型小口徑高靈敏度傳感器和監控激光能量的透射型傳感器。目前的鉭酸鋰晶體生長設備都是從其它晶體生長設備改進而來，仍缺乏一種專門用于鉭酸鋰晶體生長的設備。
【發明內容】
[0003]本實用新型目的是為了克服現有技術的不足而提供一種鉭酸鋰單晶生長設備。
[0004]為達到上述目的，本實用新型采用的技術方案是:一種鉭酸鋰單晶生長設備，它包括:
[0005]生長爐，所述生長爐包括爐體、對應安裝在所述爐體上的爐門、設置在所述爐門上的觀察窗、安裝在所述爐門下部且與所述爐體相連通的進水管、安裝在所述爐門上部且與所述爐體相連通的出水管以及設置在所述爐體上且與其相連通的進氣口；
[0006]進氣機構，所述進氣機構包括導氣至所述進氣口內的進氣管道、與所述進氣管道相連接的流量閥以及安裝在所述進氣管道上的四通閥；
[0007]提拉組件，所述提拉組件包括設置在所述爐體頂部的支撐架、可上下升降地安裝在所述支撐架上的固定座、安裝在所述固定座上且下端延伸至所述爐體內的籽晶桿以及安裝在所述固定座上用于帶動所述籽晶桿轉動的第二電機。
[0008]優化地，所述固定座的上下升降通過安裝在所述支撐架頂部的第一電機或者通過安裝在所述爐體頂部的調節螺桿進行調節。
[0009]進一步地，所述提拉組件還包括與所述固定座相連接且位于其上方的支撐座、可調節地安裝在所述支撐座上的調節桿、設置在所述調節桿上的吊鉤、對應設置于所述吊鉤下方的浮力桶以及可滑動地安裝在所述調節桿上的砝碼。
[0010]優化地，它還包括與所述出水管相連接的導液管。
[0011 ]優化地，所述生長爐底部還安裝有支撐架。
[0012]進一步地，它還包括與所述浮力桶相配合的腳凳。
[0013]由于上述技術方案運用，本實用新型與現有技術相比具有下列優點:本實用新型鉭酸鋰單晶生長設備，通過將特定結構的生長爐、進氣機構和提拉組件組合在一起，這樣能夠確保生長爐的爐體溫度溫度，并根據需要經進氣機構通入惰性氣體和氧氣，并且利用第二電機精確控制籽晶桿轉動的速度，這樣能夠制得高純度和高質量的鉭酸鋰單晶棒。
【附圖說明】
[0014]附圖1為本實用新型鉭酸鋰單晶生長設備的結構示意圖；
[0015]其中，1、生長爐；11、爐體；12、爐門；13、觀察窗；14、進水管；15、出水管；16、進氣口； 2、進氣機構;21、流量閥；22、進氣管道;23、四通閥；3、提拉組件;30、砝碼;301、吊鉤;31、支撐架;32、第一電機;33、固定座;34、籽晶桿;35、調節螺桿;36、第二電機;37、支撐座;38、調節桿;39、浮力桶;4、腳凳;5、導液管;6、支撐架。
【具體實施方式】
[0016]下面將結合附圖對本實用新型優選實施方案進行詳細說明:
[0017]如圖1所示的鉭酸鋰單晶生長設備，主要包括生長爐1、進氣機構2和提拉組件3等。
[0018]其中，生長爐I包括爐體11、爐門12、進水管14、出水管15和進氣口 16等。爐體11內形成供冷卻水流通的通道(圖中未顯示)；爐門12對應安裝在爐體11上，在本實施例中，為了確保爐門12和爐體11的緊密固定并且方便拆卸以便于維修，爐體11與爐門12相對應的開口處固定有多個固定座，緊固螺栓樞軸連接在固定座上，爐體11開口處和爐門12的兩側設有與緊固螺栓相配合的凹槽，這樣能夠將緊固螺栓轉動至卡入上述凹槽內，從而可以用螺母安裝在緊固螺栓上使得爐體11和爐門12緊密固定。觀察窗13設置在爐門12上，可以觀察其中鉭酸鋰熔融液的融化情況以及鉭酸鋰單晶的生長情況等。進水管14安裝在爐門12的下部，它與爐體11內的通道相連通；出水管15安裝在爐門12上部，它與爐體11內的通道相連通，從而使得生長爐I內的溫度穩定。進氣口 16設置在爐體11上，它與爐體11相連通，用于經此處向爐體11內通入生長晶體所需的氮氣和氧氣等。在本實施例中，生長爐I底部還安裝有支撐架6。
[0019]進氣機構2用于將氧氣瓶和氮氣瓶中儲存的氣體經進氣口16導入爐體11中，以保證鉭酸鋰單晶的質量。它包括導氣至進氣口 16內的兩根進氣管道22(分別是氧氣管和氮氣管)、與進氣管道22相連接的流量閥21(分別與氧氣管和氮氣管相對應，用于控制其中的氧氣、氮氣流量)以及安裝在進氣管道22上的四通閥23，這里的四通閥23用于將兩根進氣管道22連通起來使得氧氣和氮氣按比例進行混合，從而通入爐體11內。
[0020]提拉組件3主要包括支撐架31、固定座33、籽晶桿34和第二電機36。支撐架31安裝在爐體11的頂部，用于向其它部件提供支撐。固定座33可上下升降地安裝在支撐架31上;籽晶桿34安裝在固定座33上，它的下端延伸至爐體11內，可以在籽晶桿34的下端安裝籽晶浸入鉭酸鋰的熔融液中從而進行晶體的生長，利用固定座33的上下升降可以帶動籽晶桿34的上下升降。第二電機36安裝在固定座33上，它與籽晶桿34的上端相連接，用于帶動籽晶桿34轉動，其轉速可以根據需要制備的鉭酸鋰單晶直徑進行調節。
[0021]在本實施例中，固定座33的上下升降通過安裝在支撐架31頂部的第一電機32(自動)或者通過安裝在爐體11頂部的調節螺桿35(手動)進行調節。支撐架31內安裝有升降螺桿(圖中未顯示)，升降螺桿與固定座33相連接，升降螺桿的上端部與第一電機32相連接，升降螺桿的下端部與調節螺桿35(手動)端部的錐齒輪相嚙合，這樣可以利用調節螺桿35或者第一電機32調節升降螺桿從而實現固定座33的上下升降。
[0022]提拉組件3還包括支撐座37、調節桿38、浮力桶39等。支撐座37與固定座33相連接，它位于固定座3的上方，調節桿38可調節地安裝在支撐座37上(即調節桿38能夠相對支撐座37進行擺動)，吊鉤301可滑動設置在調節桿38上(一般滑動至調節桿38上的合適位置就將它固定)，浮力桶39對應設置于吊鉤301的下方，砝碼30可滑動地安裝在調節桿38上，上述部件組合形成類似與桿秤的杠桿機構，這樣可以在吊鉤301上懸掛一定體積的物體浸入浮力桶39中，從而根據調節桿38的水平程度判斷籽晶桿34下端生長的鉭酸鋰單晶的長度，從而手動轉動調節螺桿35使得籽晶桿34快速上升脫離熔融液，完成生長;或者是當其達到設定的數值時，能夠通過固定座33側面安裝的通斷器(它與支撐座37、調節桿38和固定座33通過電線連接，并連接第一電機32)控制第一電機32的工作從而自動轉動調節螺桿35使得籽晶桿34快速上升脫尚恪融液，完成生長。
[0023]在本實施例中，出水管15的端部還連接有用于下水的導液管5。可以根據需要設置與浮力桶39相配合的腳凳4，以方便員工觀察浮力桶39相內的液面高度以及其它的操作。
[0024]上述實施例只為說明本實用新型的技術構思及特點，其目的在于讓熟悉此項技術的人士能夠了解本實用新型的內容并據以實施，并不能以此限制本實用新型的保護范圍，凡根據本實用新型精神實質所作的等效變化或修飾，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種鉭酸鋰單晶生長設備，其特征在于，它包括: 生長爐(I)，所述生長爐(I)包括爐體(11)、對應安裝在所述爐體(11)上的爐門(12)、設置在所述爐門(12)上的觀察窗(13)、安裝在所述爐門(12)下部且與所述爐體(11)相連通的進水管(14)、安裝在所述爐門(12)上部且與所述爐體(11)相連通的出水管(15)以及設置在所述爐體(11)上且與其相連通的進氣口(16); 進氣機構(2)，所述進氣機構(2)包括導氣至所述進氣口(16)內的進氣管道(22)、與所述進氣管道(22)相連接的流量閥(21)以及安裝在所述進氣管道(22)上的四通閥(23); 提拉組件(3)，所述提拉組件(3)包括設置在所述爐體(11)頂部的支撐架(31)、可上下升降地安裝在所述支撐架(31)上的固定座(33)、安裝在所述固定座(33)上且下端延伸至所述爐體(11)內的籽晶桿(34)以及安裝在所述固定座(33)上用于帶動所述籽晶桿(34)轉動的第二電機(36)。2.根據權利要求1所述的鉭酸鋰單晶生長設備，其特征在于:所述固定座(33)的上下升降通過安裝在所述支撐架(31)頂部的第一電機(32)或者通過安裝在所述爐體(11)頂部的調節螺桿(35)進行調節。3.根據權利要求1或2所述的鉭酸鋰單晶生長設備，其特征在于:所述提拉組件(3)還包括與所述固定座(33)相連接且位于其上方的支撐座(37)、可調節地安裝在所述支撐座(37)上的調節桿(38)、設置在所述調節桿(38)上的吊鉤(301)、對應設置于所述吊鉤(301)下方的浮力桶(39)以及可滑動地安裝在所述調節桿(38)上的砝碼(30)。4.根據權利要求1所述的鉭酸鋰單晶生長設備，其特征在于:它還包括與所述出水管(15)相連接的導液管(5)。5.根據權利要求1所述的鉭酸鋰單晶生長設備，其特征在于:所述生長爐(I)底部還安裝有支撐架(6)。6.根據權利要求3所述的鉭酸鋰單晶生長設備，其特征在于:它還包括與所述浮力桶(39)相配合的腳凳(4)。
【文檔編號】C30B15/00GK205474100SQ201620300205
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2016年4月12日
【發明人】徐國忠, 王斌, 仇如成
【申請人】鹽城市振弘電子材料廠