一種多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明屬于多晶硅鑄錠爐技術領域，具體涉及一種多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置。
【背景技術】
[0002]多晶G6鑄錠過程中，硅液溢流是一種常見的異常情況，爐內硅液溢流保護裝置的安全性直接關系到鑄錠設備及操作人員的安全性，良好的溢流保護措施能夠在溢流發生時保障操作員的人身安全，穩定生產，并將設備損壞程度降至最低。
[0003]目前G6鑄錠爐型技術的缺點:國內鑄錠生產多晶硅片生產商采用的多晶G6鑄錠爐型，其石墨立柱溢流保護裝置均存在重大缺陷和安全隱患:當溢流發生時，炙熱的硅液較容易沿著石墨立柱直接接觸到爐體，導致爐壁被熔穿后，爐壁夾層內的冷卻水迅速汽化而造成爐體爆炸。
[0004]如圖1中所示，現有技術中的多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置，包括溢流棉2，所述溢流棉2鋪設在下爐體I內，還包括一層溢流棉環3，該層溢流棉環3套設在石墨立柱4上，這種裝置的缺陷是溢流棉環3與石墨立柱4之間的連接不緊密，石墨立柱4周圍的縫隙不能被完全封堵，硅液容易通過石墨立柱4周圍的縫隙滲透，當有溢流發生時，硅液容易沿著石墨立柱4溢出直接接觸到爐體，從而引起爐體爆炸。
【實用新型內容】
[0005]本實用新型的目的是提供一種多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置，該溢流保護裝置中溢流棉環與石墨立柱連接緊密，石墨立柱周圍的縫隙被完全封堵，硅液無法通過石墨立柱周圍的縫隙滲透，安全可靠。
[0006]本實用新型的上述目的是通過以下技術方案來實現的:一種多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置，包括溢流棉，所述溢流棉鋪設在下爐體內，還包括溢流棉環，所述溢流棉環套設在石墨立柱上，所述溢流棉環的上方還設有一圓環形石墨壓塊，所述圓環形石墨壓塊的內側面設有內螺紋，所述石墨立柱上設有與之相配合的外螺紋，所述石墨壓塊和所述石墨立柱通過螺紋相連接。
[0007]作為本實用新型的一種改進:所述石墨立柱的外螺紋部分延伸到溢流棉環內。
[0008]作為本實用新型一種優選的實施方式:所述的溢流棉環至少為六層。
[0009]作為本實用新型另一種優選的實施方式:所述的溢流棉至少為兩層。
[0010]本實用新型具有如下優點:本實用新型中的多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置，在溢流發生時能避免硅液沿著石墨立柱直接接觸到爐體，可以保障操作人員的人身安全并將設備損失降到最低，穩定生產。
【附圖說明】
[0011]圖1是現有技術中的多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置結構示意圖；
[0012]圖2是本實用新型【具體實施方式】中的多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置結構示意圖；
[0013]圖3是圖2中石墨壓塊的結構示意圖；
[0014]圖4是圖2中石墨立柱的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0015]如圖2-4所示，一種多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置，包括溢流棉2，溢流棉2鋪設在下爐體I內，還包括溢流棉環3，溢流棉環3套設在石墨立柱4上，溢流棉環3的上方還設有一圓環形石墨壓塊5，圓環形石墨壓塊5的內側面設有內螺紋51，石墨立柱4上設有與之相配合的外螺紋41，石墨壓塊4和石墨立柱5通過螺紋相連接。
[0016]溢流棉環3至少為六層。
[0017]石墨立柱4的外螺紋41部分延伸到溢流棉環3內。
[0018]本實用新型通過在石墨立柱4的外螺紋41上擰上一塊圓環形的帶有內螺紋51的石墨壓塊5，將溢流棉環3旋緊至石墨壓塊5的下端固定住，使上下層接觸面之間不留縫隙。
[0019]溢流棉環3至少為六層。
[0020]在石墨立柱4周圍增加至少六層溢流棉環3，并加上石墨壓塊5固定后，石墨立柱4周圍的縫隙被完全封堵，硅液無法通過石墨立柱4周圍的縫隙往下滲透，保障了設備安全。
[0021]溢流棉2至少為兩層。
[0022]本實用新型中的上述多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置，在溢流發生時能避免硅液沿著石墨立柱直接接觸到爐體，可以保障操作人員的人身安全并將設備損失降到最低，穩定生產。
[0023]以上列舉具體實施例對本實用新型進行說明。需要指出的是，以上實施例只用于對本實用新型作進一步說明，不代表本實用新型的保護范圍，其他人根據本實用新型的提示做出的非本質的修改和調整，仍屬于本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.一種多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置，包括溢流棉，所述溢流棉鋪設在下爐體內，其特征是:還包括溢流棉環，所述溢流棉環套設在石墨立柱上，所述溢流棉環的上方還設有一圓環形石墨壓塊，所述圓環形石墨壓塊的內側面設有內螺紋，所述石墨立柱上設有與之相配合的外螺紋，所述石墨壓塊和所述石墨立柱通過螺紋相連接。2.根據權利要求1所述的多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置，其特征是:所述的溢流棉環至少為六層。3.根據權利要求1或2所述的多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置，其特征是:所述石墨立柱的外螺紋部分延伸到溢流棉環內。4.根據權利要求3所述的多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置，其特征是:所述的溢流棉至少為兩層。
【專利摘要】本實用新型公開了一種多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置，包括溢流棉，所述溢流棉鋪設在下爐體內，還包括溢流棉環，所述溢流棉環套設在石墨立柱上，所述溢流棉環的上方還設有一圓環形石墨壓塊，所述石墨壓塊的內側面設有內螺紋，所述石墨立柱上設有與之相配合的外螺紋，所述石墨壓塊和所述石墨立柱通過螺紋相連接。本實用新型中的多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置，在溢流發生時能避免硅液沿著石墨立柱直接接觸到爐體，可以保障操作人員的人身安全并將設備損失降到最低，穩定生產。
【IPC分類】C30B28/06, C30B29/06
【公開號】CN205368537
【申請號】CN201520970411
【發明人】羅建明, 沈芳, 高源 , 許高升, 張欣
【申請人】晶海洋半導體材料（東海）有限公司
【公開日】2016年7月6日
【申請日】2015年11月30日