一種盛放于石英舟中硅片用的降溫器的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于降溫設備技術領域,具體涉及一種盛放于石英舟中硅片用的降溫器。
【背景技術】
[0002]硅片是太陽能電池中的主要組成部分,在單晶爐中生長的硅棒需要經過后續加工成硅片,然后應用于太陽能電池片的加工,有些硅片在加工后會出現同心圓缺陷,在對該缺陷進行消除的過程中,需要將硅片裝入石英舟中進行高溫加熱再快速降溫冷卻,而目前的降溫器主要采用風扇風冷,單個風扇只能對少量集中的硅片進行冷卻,對于一組多個硅片的降溫采用多個風扇進行,風冷過程中存在降溫均勻程度較差的情況,導致缺陷不能完全消除或者導致其他形式的缺陷,經過修復的硅片不能用于太陽能電池板的制作,因此,為了提高大量硅片散熱的速度并保證散熱效果,需要對現有的散熱器進行改進。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型克服了現有技術的不足,提供了一種盛放于石英舟中硅片用的降溫器,該降溫器能夠同時對大量的硅片進行散熱冷卻,而且各個部位的散熱效果較為均勻,硅片冷卻后的品質較為均勻,能夠正常應用于太陽能電池片的制作中,提高了有缺陷硅片的加工效率,避免了硅片的大量浪費。
[0004]本實用新型的具體技術方案是:
[0005]—種盛放于石英舟中硅片用的降溫器,關鍵點是,該降溫器包括框架式的支撐架,支撐架下部設置有置物架,置物架包括平行排布的一組橫桿,相鄰兩橫桿的間距小于石英舟的長度,支撐架上部設置有門型支架,支架下端面設置有風扇組,風扇組與置物架位置上下相對,石英舟橫跨放置在兩個相鄰橫桿上端面之后,所有的橫桿和石英舟之間的呈矩陣式分布的間隙形成豎直向下的風道。
[0006]所述的風扇組包括四個位于同一直線上的風扇。
[0007]所述的四個風扇中,相鄰的兩個風扇轉向相反,且風向均為向下。
[0008]所述的橫桿上設置有一組等距離的定位槽,定位槽的內輪廓與石英舟的底部外輪廓相吻合。
[0009]本實用新型的有益效果是:該降溫器用于石英舟中硅片的快速降溫,該降溫器的置物架使用橫桿支撐石英舟,并且設置有定位槽進行固定定位,橫桿之間及石英舟之間的間隙在風冷作用下形成風道,并且石英舟底部與橫桿的懸空面積較大,也能夠加快散熱,支架上設置的風扇中,相鄰兩個風扇的旋向不同,能夠相互抵消橫向的偏置氣流,促使氣流趨于垂直向下,避免風向偏重導致的硅片品質不均勻現象,使用該降溫器既能夠加快降溫的速度,提高工作效率,又能使大量硅片的降溫趨于均勻,改善硅片的品質。
【附圖說明】
[0010]圖1是本實用新型的結構示意圖。
[0011]圖2是圖1的左視圖。
[0012]附圖中,1、橫桿,2、支架,3、風扇,4、定位槽。
【具體實施方式】
[0013]本實用新型涉及一種盛放于石英舟中硅片用的降溫器,該降溫器包括框架式的支撐架,支撐架下部設置有置物架,置物架包括平行排布的一組橫桿I,相鄰兩橫桿I的間距小于石英舟的長度,支撐架上部設置有門型支架2,支架2下端面設置有風扇組,風扇組與置物架位置上下相對,石英舟橫跨放置在兩個相鄰橫桿I上端面之后,所有的橫桿I和石英舟之間的呈矩陣式分布的間隙形成豎直向下的風道。
[0014]具體實施例,如圖1和圖2所示,橫桿I上設置有一組等距離的定位槽4,定位槽4的內輪廓與石英舟的底部外輪廓相吻合,將石英舟逐個橫跨放在相鄰兩個橫桿I的定位槽4上,定位槽4對石英舟起到定位固定作用,避免風冷過程中石英舟的晃動或者位移,保證風冷的順利進行,所有定位槽4均放有石英舟后,所有石英舟在置物架上呈矩陣式排布,石英舟之間及兩個橫桿I之間的空隙形成空氣流通的風道,風扇組包括四個位于同一直線上的風扇3,四個風扇3中,相鄰的兩個風扇3轉向相反,且風向均為向下,這樣的設置使得風扇組吹出的風風向較為均勻,避免了風扇3旋向相同導致的風向偏重,四個風扇3全部啟動后,風由上向下吹,然后經過石英舟中的硅片并將熱量從風道帶走,石英舟與置物架的接觸面積僅為定位槽4內輪廓,其他部位均為懸空狀態,石英舟的底部也會被風冷帶走一部分熱量,加快了風冷的速度且不會出現熱量折返影響冷卻的情況,風冷的效率有顯著提升,并且在大量硅片的冷卻過程中,散熱的均勻程度較好,冷卻后的硅片品質較為均勻,能夠用于太陽能電池片的制作過程中。
【主權項】
1.一種盛放于石英舟中硅片用的降溫器,其特征在于:該降溫器包括框架式的支撐架,支撐架下部設置有置物架,置物架包括平行排布的一組橫桿(I),相鄰兩橫桿(I)的間距小于石英舟的長度,支撐架上部設置有門型支架(2),支架(2)下端面設置有風扇組,風扇組與置物架位置上下相對,石英舟橫跨放置在兩個相鄰橫桿(I)上端面之后,所有的橫桿(I)和石英舟之間的呈矩陣式分布的間隙形成豎直向下的風道。2.根據權利要求1所述的一種盛放于石英舟中硅片用的降溫器,其特征在于:所述的風扇組包括四個位于同一直線上的風扇(3)。3.根據權利要求2所述的一種盛放于石英舟中硅片用的降溫器,其特征在于:所述的四個風扇(3)中,相鄰的兩個風扇(3)轉向相反,且風向均為向下。4.根據權利要求1所述的一種盛放于石英舟中硅片用的降溫器,其特征在于:所述的橫桿(I)上設置有一組等距離的定位槽(4),定位槽(4)的內輪廓與石英舟的底部外輪廓相吻入口 ο
【專利摘要】本實用新型涉及一種盛放于石英舟中硅片用的降溫器,屬于降溫設備技術領域,該降溫器包括框架式的支撐架,支撐架下部設置有置物架,置物架包括平行排布的一組橫桿,相鄰兩橫桿的間距小于石英舟的長度,支撐架上部設置有門型支架,支架下端面設置有風扇組,風扇組與置物架位置上下相對,風扇組包括四個位于同一直線上的風扇,四個風扇中,相鄰的兩個風扇轉向相反,且風向均為向下,橫桿上設置有一組等距離的定位槽,定位槽的內輪廓與石英舟的底部外輪廓相吻合,將載有硅片的石英舟放置于兩個相鄰橫桿上的定位槽中,使用四個風扇進行風冷降溫,該降溫器能夠對大量硅片均勻降溫,且降溫效率明顯提高,硅片的利用率也能得到提升。
【IPC分類】C30B29/06, C30B33/02
【公開號】CN205258663
【申請號】CN201521110104
【發明人】李世杰, 吳成志, 陳世杰, 劉曉燕
【申請人】寧晉賽美港龍電子材料有限公司
【公開日】2016年5月25日
【申請日】2015年12月28日