一種新型的四氯化硅汽化裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種新型的四氯化硅汽化裝置。
【背景技術】
[0002]近幾年來，隨著太陽能光伏產業的飛速發展，多晶硅作為太陽能電池板或組件的原材料常量也大幅增加，與此同時，多晶硅生產過程中的副產物四氯化硅也大幅增多，這對環境產生了巨大的壓力，也為多晶硅生產的原料三氯氫硅的循環生成帶來了困擾，而要實現四氯化硅到三氯氫硅的轉化，首先就是要實現四氯化硅的汽化。因此，為了能夠實現上述目的，四氯化硅必須先經過汽化處理。
[0003]通常，四氯化硅的汽化在大約200°C下汽化，傳統的臥式汽化器采用電加熱方式進行汽化，雖然可以達到汽化目的，但也存在著汽化溫度不易控制，從而導致其他雜質被汽化的發生，以及電解熱棒與四氯化硅接觸面積較小，溫度不均勻，造成四氯化硅液體的湍流，也容易使液體中的重質雜質從汽化器底部浮起，影響四氯化硅液體穩定性和汽化效率。
[0004]另一種立式的連通形式的汽化器雖然可以較為有效的避免四氯化硅液體的湍流，但依然存在電解熱溫度不均，接觸面積小的問題。
【發明內容】
[0005]為了解決上述的技術問題，本實用新型的目的在于提供一種四氯化硅汽化器，以提高四氯化硅的汽化效率，節能降耗，降低生產成本，提高設備高效性，安全性和穩定性。
[0006]為了達到上述的目的，本實用新型采用了以下的技術方案:
[0007]提供一種新型的四氯化硅汽化裝置，包括由底座和壁筒一體連接而成的密封筒柱，其特征在于，四氯化硅進氣管從底座中心延伸進入密封筒柱內，四氯化硅出氣管嵌套在該四氯化硅進氣管的外壁;且四氯化硅進氣管的端口靠近于密封筒柱的頂部，四氯化硅出氣管的端口靠近于密封筒柱的底座;底座上設置有若干個平行排列的U型加熱電棒，每個U型加熱電棒通過電極與加熱電源相連接;密封筒柱的頂部上設置有保險開關，且該保險開關位于四氯化硅進氣管的端口的正上方;壁筒的底端上還設有排污管。
[0008]本實用新型的優點是:本實用新型四氯化硅進氣管和出氣管采用嵌套式結構，四氯化硅出氣管嵌套在進氣管的外壁上，增設氣體分離裝置使得進氣均勻、整個壁筒內氣體分布均勻；同時在壁筒內增設若干組U型加熱電棒，使得四氯化硅進行充分汽化，本實用新型提供的四氯化硅汽化裝置可以很好地降低生產成本，提高設備安全性和穩定性。
【附圖說明】
[0009]圖1是本實用新型的結構示意圖。
[0010]【附圖說明】:I保險開關，2分離裝置，3進氣管，4出氣管，5底座，6壁筒，7U型加熱電棒，8加熱電源，9電極。
【具體實施方式】
[0011 ]下面結合附圖對本實用新型的【具體實施方式】做一個詳細的說明。
[0012]如圖1所示的一種新型的四氯化硅汽化裝置的具體實施例，提供一種新型的四氯化硅汽化裝置，包括由底座5和壁筒6—體連接而成的密封筒柱，其特征在于，四氯化硅進氣管3從底座5中心延伸進入密封筒柱內，四氯化硅出氣管4嵌套在該四氯化硅進氣管3的外壁;且四氯化硅進氣管3的端口靠近于密封筒柱的頂部，四氯化硅出氣管4的端口靠近于密封筒柱的底座5;底座5上設置有若干個平行排列的U型加熱電棒7，每個U型加熱電棒7通過電極9與加熱電源8相連接;密封筒柱的頂部上設置有保險開關I，且該保險開關I位于四氯化硅進氣管3的端口的正上方；當壁筒6內部壓力大于安全壓力時，關閉進氣管3，并采用相應的泄壓方式，以確保壁筒6內安全運行;壁筒6的底端上還設有排污管。
[0013]本實用新型四氯化硅進氣管3和出氣管4采用嵌套式結構，四氯化硅出氣管4嵌套在進氣管3的外壁上，增設氣體分離裝置2使得進氣均勻、整個壁筒6內氣體分布均勻；同時在壁筒6內增設若干組U型加熱電棒7，使得四氯化硅進行充分汽化，本實用新型提供的四氯化硅汽化裝置可以很好地降低生產成本，提高設備安全性和穩定性。
[0014]以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優點。本行業的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。
【主權項】
1.一種新型的四氯化硅汽化裝置，包括由底座和壁筒一體連接而成的密封筒柱，其特征在于，四氯化硅進氣管從底座中心延伸進入密封筒柱內，四氯化硅出氣管嵌套在該四氯化硅進氣管的外壁;且四氯化硅進氣管的端口靠近于密封筒柱的頂部，四氯化硅出氣管的端口靠近于密封筒柱的底座;底座上設置有若干個平行排列的U型加熱電棒，每個U型加熱電棒通過電極與加熱電源相連接;密封筒柱的頂部上設置有保險開關，且該保險開關位于四氯化硅進氣管的端口的正上方;壁筒的底端上還設有排污管。
【專利摘要】本實用新型涉及一種新型的四氯化硅汽化裝置，包括由底座和壁筒一體連接而成的密封筒柱，四氯化硅進氣管從底座中心延伸進入密封筒柱內，四氯化硅出氣管嵌套在該四氯化硅進氣管的外壁；且四氯化硅進氣管的端口靠近于密封筒柱的頂部，四氯化硅出氣管的端口靠近于密封筒柱的底座；底座上設置有若干個平行排列的U型加熱電棒。本實用新型四氯化硅進氣管和出氣管采用嵌套式結構，四氯化硅出氣管嵌套在進氣管的外壁上，增設氣體分離裝置使得進氣均勻、整個壁筒內氣體分布均勻；同時在壁筒內增設若干組U型加熱電棒，使得四氯化硅進行充分汽化，本實用新型提供的四氯化硅汽化裝置可以很好地降低生產成本，提高設備安全性和穩定性。
【IPC分類】C01B33/107
【公開號】CN205187884
【申請號】CN201520945475
【發明人】周駿
【申請人】杭州富通翔駿新材料有限公司
【公開日】2016年4月27日
【申請日】2015年11月24日