一種vb/vgf法制備晶體用立封管支撐固定裝置的制造方法
【技術領域】
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[0001]本實用新型涉及VB/VGF法制備晶體技術領域，具體涉及一種VB/VGF法制備晶體用立封管支撐固定裝置。
【背景技術】
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[0002]VB/VGF法是目前量產銻化鎘、砷化鎵、磷化銦等晶體的主流技術。VB/VGF法制備晶體一般需要經過以下步驟:將多晶料、籽晶裝入PBN坩禍，然后放入立封管內，石英帽蓋合，用氫氧焰進行焊接密封，再將密封好的立封管放入單晶爐，進行單晶生長過程，單晶生長完畢后，將立封管從爐內取出，敲碎立封管或對立封管進行切割，取出立封管內裝有晶體的PBN坩禍。在破壞立封管的過程中，存在下述幾個問題:1、VB/VGF法制備晶體所用的立封管本身為圓柱形且底端有一個細的籽晶槽保護套，難以保持穩定；2、立封管可能仍有一定的余溫，不利于對其進行控制；因此，在敲管過程中操作難度較大，容易對立封管內的PBN坩禍及坩禍內的晶體造成損傷，另外也可能會給操作人員帶來傷害。
【實用新型內容】:
[0003]為了解決【背景技術】存在的問題，本實用新型旨在提出一種VB/VGF法制備晶體用立封管支撐固定裝置。該裝置簡單快捷地完成對立封管的支撐及固定，減小操作難度，保障操作人員的安全；減少立封管內的PBN坩禍及晶體的損傷幾率，降低生產成本。
[0004]本實用新型的技術方案是:VB/VGF法制備晶體用立封管支撐固定裝置包括底座，所述的底座的中心位置設有籽晶槽保護套掉落孔，底座通過螺絲孔及螺栓固定有支撐管，支撐管內腔依次安裝有管狀粒面氟橡膠內芯及漏斗形石英棉內芯，管狀粒面氟橡膠內芯及漏斗形石英棉內芯的外壁分別與支撐管的內壁緊配合，管狀粒面氟橡膠內芯中心為籽晶槽保護套放置腔，管狀粒面氟橡膠內芯中心為立封管管體放置腔。
[0005]上述方案中的底座由帶有5個圓孔的平臺和4個支撐腿組成。
[0006]本實用新型具有如下有益效果:由于采取上述方案，該裝置可獲得以下效果:(1)設計了立封管支撐固定裝置，確保實施過程操作簡單，降低操作人員工作難度，保障操作人員人身安全；(2)該裝置可將有效起到支撐和固定的作用，有利于下一步工作的進行；(3)該裝置還可起到緩沖和保護的作用，可大幅度減少立封管內的PBN坩禍及坩禍內的晶體的損壞幾率，降低生產成本，提高晶體成品率。
【附圖說明】
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[0007]附圖1是本實用新型的結構示意圖；
[0008]附圖2是附圖1的俯視圖；
[0009]附圖3是附圖1的主視圖。
[0010]圖中1-底座平臺，2-螺絲孔，3-籽晶槽保護套掉落孔，4-籽晶槽保護套放置腔，5_石英棉內芯，6-支撐管，7-粒面氟橡膠內芯，8-立封管管體放置腔，9-支撐腿。【具體實施方式】:
[0011]下面結合附圖對本實用新型作進一步說明:
[0012]由圖1結合圖2?圖3所示，VB/VGF法制備晶體用立封管支撐固定裝置包括底座，所述的底座包括底座平臺1和支撐腿9組成，所述的底座平臺1的中心位置設有籽晶槽保護套掉落孔3，籽晶槽保護套掉落孔3是為了防止立封管底端的籽晶槽保護套掉落后難以取出，底座平臺1通過螺絲孔2及螺栓固定有支撐管6，支撐管6內腔依次安裝有粒面氟橡膠內芯7及石英棉內芯5，粒面氟橡膠內芯7由耐高溫的粒面氟橡膠制成，目的在于增大立封管與粒面氟橡膠內芯7之間的摩擦力，石英棉內芯5由石英棉制成，對籽晶槽可起到緩沖及保護的作用，粒面氟橡膠內芯7及石英棉內芯5的外壁分別與支撐管6的內壁緊配合，粒面氟橡膠內芯7圍成圓柱形立封管管體放置腔8，立封管放置在立封管管體放置腔8內，立封管管體放置腔8的內徑要略大于立封管管體的外徑，高度為立封管管體長度的20% -40%左右。石英棉內芯5圍成漏斗形籽晶槽保護套放置腔4，籽晶槽保護套放置腔4的直徑要略大于立封管籽晶槽保護套的外徑，高度要略高于立封管籽晶槽保護套的長度。底座由帶有5個圓孔的底座平臺1和4個支撐腿9組成。
【主權項】
1.一種VB/VGF法制備晶體用立封管支撐固定裝置，包括底座，其特征在于:所述的底座包括底座平臺(1)和支撐腿(9)，所述的底座平臺(1)的中心位置設有籽晶槽保護套掉落孔(3)，底座平臺⑴通過螺絲孔(2)及螺栓固定支撐管(6)，支撐管(6)內腔依次安裝有粒面氟橡膠內芯(7)及石英棉內芯(5)，粒面氟橡膠內芯(7)及石英棉內芯(5)的外壁分別與支撐管(6)的內壁緊配合，粒面氟橡膠內芯(7)圍成圓柱形立封管管體放置腔(8)，石英棉內芯(5)圍成漏斗形籽晶槽保護套放置腔(4)。2.根椐權利要求1所述的VB/VGF法制備晶體用立封管支撐固定裝置，其特征在于:底座由帶有5個圓孔的底座平臺(1)和4個支撐腿(9)組成。
【專利摘要】本實用新型提出一種VB/VGF法制備晶體用立封管支撐固定裝置。所述的底座平臺的中心位置設有籽晶槽保護套掉落孔(3)，底座(1)通過螺絲孔(2)及螺栓固定有支撐管(6)，支撐管(6)內腔依次安裝有管狀粒面氟橡膠內芯(7)及漏斗形石英棉內芯(5)，管狀粒面氟橡膠內芯(7)及漏斗形石英棉內芯(5)的外壁分別與支撐管(6)的內壁緊配合，管狀粒面氟橡膠內芯(7)中心為籽晶槽保護套放置腔(4)，管狀粒面氟橡膠內芯中心為立封管管體放置腔(8)。該裝置簡單快捷地完成對立封管的支撐及固定，減小操作難度，保障操作人員的安全；減少立封管內的PBN坩堝及坩堝內的晶體的損壞幾率，降低生產成本，提高晶體成品率。
【IPC分類】C30B11/00
【公開號】CN205035485
【申請號】CN201520753170
【發明人】于會永
【申請人】大慶佳昌晶能信息材料有限公司
【公開日】2016年2月17日
【申請日】2015年9月25日