一種多晶硅制絨刻蝕廢液的回收再利用系統的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種環保系統，涉及一種廢液回收再利用系統，具體涉及一種多晶硅制絨刻蝕廢液的回收再利用系統。
【背景技術】
[0002]多晶硅由于具有優異的物理化學性能，而被廣泛應用于太能電池、半導體等行業。隨著光伏產業和電子產業的蓬勃發展，多晶硅的市場需求量也越來越大。然而在具體的應用過程中，多晶硅需要經過制絨、刻蝕、清洗等多個加工工藝才能達到應用要求。目前，行業內主要采用硝酸和氫氟酸的混酸溶液對多晶硅進行制絨、刻蝕、清洗，因此，在加工過程中產生了大量的混酸廢液。
[0003]當前，企業普遍的處理工藝是采用中和法處理混酸廢液，此法的不足之處在于:
(I)由于混酸廢液中仍含有相當數量的硝酸、氫氟酸，以及加過過程中生成的氟硅酸，造成了資源的浪費，同時，由于需要加入片堿或堿液中和，產生了額外的費用；(2)中和后的溶液由于含鹽量較高，仍不能直接排放，還需要轉移到有處理資質的企業委托處理，進一步增加企業的處理成本，也增加了環境負擔。
【發明內容】
[0004]本實用新型目的是為了克服現有技術的不足而提供一種多晶硅制絨刻蝕廢液的回收再利用系統。
[0005]為達到上述目的，本實用新型采用的技術方案是:一種多晶硅制絨刻蝕廢液的回收再利用系統，它包括廢液槽、與所述廢液槽相連通的氟硅酸去除組件、與所述氟硅酸去除組件相連通的氫氟酸去除組件以及與所述氫氟酸去除組件相連通的硝酸收集組件。
[0006]優化地，所述氟硅酸去除組件包括與所述廢液槽相連通的第一沉淀釜、與所述第一沉淀釜相連通用于向其中加入堿金屬化合物的第一藥箱、與所述第一沉淀釜相連通用于將其中溶液進行固液分離的第一過濾器以及與所述第一過濾器相連通用于承接其固體成分并進行干燥的第一干燥器。
[0007]進一步地，所述氫氟酸去除組件包括與所述第一過濾器相連通用于承接其液體成分的第二沉淀釜、與所述第二沉淀釜相連通用于向其中加入堿土金屬化合物的第二藥箱、與所述第二沉淀釜相連通用于將其中溶液進行固液分離的第二過濾器以及與所述第二過濾器相連通用于承接其固體成分并進行干燥的第二干燥器。
[0008]進一步地，所述硝酸收集組件包括與所述第二過濾器相連通用于承接其液體成分并進行蒸餾的蒸餾釜、與所述蒸餾釜相連通的換熱器以及與所述換熱器相連通用于承接冷凝液的收集槽。
[0009]進一步地，所述廢液槽與所述第一沉淀釜之間、所述第一沉淀釜與所述第一過濾器之間、所述第二沉淀釜與所述第二過濾器之間分別通過第一輸液栗、第二輸液栗、第三輸液栗相連通。
[0010]由于上述技術方案運用，本實用新型與現有技術相比具有下列優點:本實用新型多晶硅制絨刻蝕廢液的回收再利用系統，通過設置依次相連通的氟硅酸去除組件、氫氟酸去除組件和硝酸收集組件，這樣能夠依次將氟硅酸、氫氟酸去除后對硝酸進行收集，這樣使得三種酸在去除時不會相互干擾，確保最大限度的實現了氟硅酸根離子、氟離子和硝酸的回收，產生了大量可以利用的產品，且沒有產生二次污染物，解決了混酸廢液處理的問題，整個處理系統經濟、環保、穩定。
【附圖說明】
[0011]附圖1為本實用新型多晶硅制絨刻蝕廢液的回收再利用系統的結構示意圖；
[0012]其中，1、廢液槽；2、第一輸液栗；3、氟硅酸去除組件；31、第一沉淀釜；32、第一藥箱；33、第二輸液栗；34、第一過濾器；35、第一干燥器；4、氫氟酸去除組件；41、第二沉淀釜；42、第二藥箱；43、第三輸液栗；44、第二過濾器；45、第二干燥器；5、硝酸收集組件；51、蒸餾釜；52、換熱器；53、收集槽。
【具體實施方式】
[0013]下面將結合附圖對本實用新型優選實施方案進行詳細說明:
[0014]如圖1所示的多晶硅制絨刻蝕廢液的回收再利用系統，主要包括氟硅酸去除組件
3、氫氟酸去除組件4和硝酸收集組件5。
[0015]其中，廢液槽I用于儲存刻蝕廢液，該刻蝕廢液中混有相當數量的硝酸、氫氟酸和氟硅酸。氟硅酸去除組件3與廢液槽I相連通，用于將刻蝕廢液含有的氟硅酸沉淀除去；氫氟酸去除組件4與氟硅酸去除組件3相連通，用于將刻蝕廢液含有的氫氟酸沉淀除去；硝酸收集組件5與氫氟酸去除組件4相連通，用將對蝕廢液進行蒸餾產生濃硝酸，冷卻后形成硝酸溶液。通過設置依次相連通的氟硅酸去除組件3、氫氟酸去除組件4和硝酸收集組件5，這樣能夠依次將氟硅酸、氫氟酸去除后對硝酸進行收集，這樣使得三種酸在去除時不會相互干擾，確保最大限度的實現了氟硅酸根離子、氟離子和硝酸的回收，產生了大量可以利用的產品，且沒有產生二次污染物，解決了混酸廢液處理的問題，整個處理系統經濟、環保、穩定。
[0016]在本實施例中，氟硅酸去除組件3包括與廢液槽I相連通的第一沉淀釜31、與第一沉淀釜31相連通用于向其中加入堿金屬化合物的第一藥箱32、與第一沉淀釜31相連通用于將其中溶液進行固液分離的第一過濾器34以及與第一過濾器34相連通用于承接其固體成分并進行干燥的第一干燥器35。第一藥箱32中儲存有堿金屬化合物，將堿金屬化合物加入第一沉淀釜31中后能夠使得氟硅酸與堿金屬化合物反應形成氟硅酸鹽沉淀，該含有氟硅酸鹽沉淀的溶液被導入第一過濾器34中進行固液分離，濾渣直接導入第一干燥器35中進行干燥收集；濾液則導入下游處理。
[0017]在本實施例中，氫氟酸去除組件4包括與第一過濾器34相連通用于承接其液體成分的第二沉淀釜41、與第二沉淀釜41相連通用于向其中加入堿土金屬化合物的第二藥箱42、與第二沉淀釜41相連通用于將其中溶液進行固液分離的第二過濾器44以及與第二過濾器44相連通用于承接其固體成分并進行干燥的第二干燥器45。上述濾液直接導入第二沉淀釜41中，隨后通過第二藥箱42向濾液中加入堿土金屬化合物，使得氫氟酸與堿土金屬化合物反應形成氟化鹽沉淀，該含有氟化鹽沉淀的溶液被導入第二過濾器44中進行固液分離，濾渣直接導入第二干燥器45中進行干燥收集；濾液則導入下游處理。
[0018]在本實施例中，硝酸收集組件5包括與第二過濾器44相連通用于承接其液體成分并進行蒸餾的蒸餾釜51、與蒸餾釜51相連通的換熱器52以及與換熱器52相連通用于承接冷凝液的收集槽53。經第二過濾器44分離產生的濾液在蒸餾釜51中產生濃硝酸，隨后經過換熱器52的冷卻后形成硝酸溶液導入收集槽53中進行收集儲存。
[0019]上述實施例只為說明本實用新型的技術構思及特點，其目的在于讓熟悉此項技術的人士能夠了解本實用新型的內容并據以實施，并不能以此限制本實用新型的保護范圍，凡根據本實用新型精神實質所作的等效變化或修飾，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種多晶硅制絨刻蝕廢液的回收再利用系統，其特征在于:它包括廢液槽(1)、與所述廢液槽(1)相連通的氟硅酸去除組件(3)、與所述氟硅酸去除組件(3)相連通的氫氟酸去除組件(4)以及與所述氫氟酸去除組件(4)相連通的硝酸收集組件(5)。2.根據權利要求1所述的多晶硅制絨刻蝕廢液的回收再利用系統，其特征在于:所述氟硅酸去除組件(3)包括與所述廢液槽(1)相連通的第一沉淀釜(31)、與所述第一沉淀釜(31)相連通用于向其中加入堿金屬化合物的第一藥箱(32)、與所述第一沉淀釜(31)相連通用于將其中溶液進行固液分離的第一過濾器(34)以及與所述第一過濾器(34)相連通用于承接其固體成分并進行干燥的第一干燥器(35 )。3.根據權利要求2所述的多晶硅制絨刻蝕廢液的回收再利用系統，其特征在于:所述氫氟酸去除組件(4)包括與所述第一過濾器(34)相連通用于承接其液體成分的第二沉淀釜(41)、與所述第二沉淀釜(41)相連通用于向其中加入堿土金屬化合物的第二藥箱(42)、與所述第二沉淀釜(41)相連通用于將其中溶液進行固液分離的第二過濾器(44)以及與所述第二過濾器(44)相連通用于承接其固體成分并進行干燥的第二干燥器(45)。4.根據權利要求3所述的多晶硅制絨刻蝕廢液的回收再利用系統，其特征在于:所述硝酸收集組件(5)包括與所述第二過濾器(44)相連通用于承接其液體成分并進行蒸餾的蒸餾釜(51)、與所述蒸餾釜(51)相連通的換熱器(52)以及與所述換熱器(52)相連通用于承接冷凝液的收集槽(53 )。5.根據權利要求3所述的多晶硅制絨刻蝕廢液的回收再利用系統，其特征在于:所述廢液槽(1)與所述第一沉淀釜(31)之間、所述第一沉淀釜(31)與所述第一過濾器(34)之間、所述第二沉淀釜(41)與所述第二過濾器(44)之間分別通過第一輸液栗(2)、第二輸液栗(33)、第三輸液栗(43)相連通。
【專利摘要】本實用新型涉及一種多晶硅制絨刻蝕廢液的回收再利用系統，它包括廢液槽、與所述廢液槽相連通的氟硅酸去除組件、與所述氟硅酸去除組件相連通的氫氟酸去除組件以及與所述氫氟酸去除組件相連通的硝酸收集組件。通過設置依次相連通的氟硅酸去除組件、氫氟酸去除組件和硝酸收集組件，這樣能夠依次將氟硅酸、氫氟酸去除后對硝酸進行收集，這樣使得三種酸在去除時不會相互干擾，確保最大限度的實現了氟硅酸根離子、氟離子和硝酸的回收，產生了大量可以利用的產品，且沒有產生二次污染物，解決了混酸廢液處理的問題，整個處理系統經濟、環保、穩定。
【IPC分類】C01B33/10, C01F11/22, C01B21/46
【公開號】CN204981156
【申請號】CN201520469343
【發明人】蔣新, 朱信俊, 施利君, 柳小平
【申請人】蘇州晶洲裝備科技有限公司
【公開日】2016年1月20日
【申請日】2015年7月2日