一種雙傳感器高靈敏度泡生法引晶系統的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種雙傳感器高靈敏度泡生法引晶系統。
【背景技術】
[0002]藍寶石晶體α -Α1203的物理、化學性能極為優越,有很多其它材料無法比擬的特點,如熔點高、硬度高、耐腐蝕、光學透過率高等。由于這些優點,大量手機、平板生產商開始用藍寶石作為其產品屏幕,導致近年來其需求量大增。藍寶石另一個重要的用途是用于LED芯片襯底,LED是新一代照明光源,憑借其節能、環保、使用壽命長,亮度高和可控性強等特點在民用,商業和軍事領域有廣泛的應用,逐漸替代傳統的照明燈具。
[0003]引晶是藍寶石晶體生長中最關鍵的一步,也是最復雜和難度最高的,對晶體質量起到決定性作用的,傳統引晶工作都過引晶工作人員的觀察和經驗進行的,不同的人員甚至不同的狀態下,引晶質量相差較大,不能實現精準的控制,且引晶難度較大,浪費大量人力,物力。
[0004]傳統晶體生長設備中稱重量程要達到數百公斤,所以其精度只能達到lg,更高的精度使得成本過高。但引晶初期藍寶石晶體生長速度很慢,且晶體生長在熔體中,重量變化小,Ig的精度不能準確地反映引晶初期的生長狀況,不能幫助進行引晶操作。
【實用新型內容】
[0005]本實用新型的目的是為了克服現有技術中的不足之處,提供一種結構簡單,使用方便,用于晶體生長的雙傳感器高靈敏度泡生法引晶系統,使用該系統可以最低的成本在引晶階段和晶體生長初期準確地判斷晶體生長狀況,極大的方便了引晶工作的進行,和提高了引晶的精準性,減少了人為主觀因素對晶體質量的影響。
[0006]為了達到上述目的,本實用新型采用以下方案:
[0007]—種雙傳感器高靈敏度泡生法引晶系統,其特征在于:包括有支撐平臺,在所述支撐平臺中設有籽晶桿安裝孔,在所述籽晶桿安裝孔兩側分別設有能支撐并稱量籽晶桿安裝孔中籽晶桿的重量的第一稱重傳感器和第二稱重傳感器,在所述第一稱重傳感器與支撐平臺之間設有能抬升第一稱重傳感器的第一壓電微位移驅動器,在所述第二稱重傳感器與支撐平臺之間設有能抬升第二稱重傳感器的第二壓電微位移驅動器。
[0008]如上所述的一種雙傳感器高靈敏度泡生法引晶系統,其特征在于所述第一稱重傳感器的精度為0.1g的S型重傳感器,最大量程為20kg。
[0009]如上所述的一種雙傳感器高靈敏度泡生法引晶系統,其特征在于所述第二稱重傳感器的精度為Ig的S型重傳感器,最大量程為120kg。
[0010]如上所述的一種雙傳感器高靈敏度泡生法引晶系統,其特征在于所述第一稱重傳感器和第二稱重傳感器分別與解碼器相連接。
[0011]綜上所述,本實用新型相對于現有技術其有益效果是:
[0012]本實用新型中包括一個精度為0.1g的S型稱重傳感器,其最大量程為20kg,可以滿足引晶階段的需求,一個精度為Ig的S型稱重傳感器,其最大量程為120kg,可以滿足晶體生長中后期需求;本實用新型通過調節第一壓電微位移驅動器和第二壓電微位移驅動器,可以精確測量晶體生長初期的重量,極大的方便了引晶工作,且成本較低,在晶體生長中后期,把傳感器換成量程較大的,能夠以最小的成本生長最大的晶體。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型的示意圖。
【具體實施方式】
[0014]下面結合【附圖說明】和【具體實施方式】對本實用新型作進一步描述:
[0015]如圖1所示的一種雙傳感器高靈敏度泡生法引晶系統,包括有支撐平臺1,在所述支撐平臺I中設有籽晶桿安裝孔2,在所述籽晶桿安裝孔2兩側分別設有能支撐并稱量籽晶桿安裝孔2中籽晶桿10的重量的第一稱重傳感器3和第二稱重傳感器4,在所述第一稱重傳感器3與支撐平臺I之間設有能抬升第一稱重傳感器3的第一壓電微位移驅動器5,在所述第二稱重傳感器4與支撐平臺I之間設有能抬升第二稱重傳感器4的第二壓電微位移驅動器6。
[0016]本實用新型中所述第一稱重傳感器3的精度為0.1g的S型重傳感器,最大量程為20kgo
[0017]本實用新型中所述第二稱重傳感器4的精度為Ig的S型重傳感器,最大量程為120kgo
[0018]本實用新型中所述第一稱重傳感器3和第二稱重傳感器4分別與解碼器相連接。本實用新型中第一稱重傳感器3和第二稱重傳感器4可以共用同一個解碼器。
[0019]本實用新型中在晶體生長初期,通過調整第一壓電微位移驅動器,使0.1g靈敏度的第一稱重傳感器3抬升,支撐籽晶桿,使其進入工作狀態,進行引晶操作;
[0020]引晶操作結束以后,調整第二壓電微位移驅動器,使Ig靈敏度的第二稱重傳感器4進入工作狀態,在晶體生長的中后期階段使用精度為Ig的第二稱重傳感器4;本發明可以精確測量晶體生長初期的重量,極大的方便了引晶工作,且成本較低,在晶體生長中后期,把傳感器換成量程較大的,能夠以最小的成本生長最大的晶體。
[0021]以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征以及本實用新型的優點。本行業的技術人員應該了解,本實用新型不受上述實施例的限制,上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理,在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下,本實用新型還會有各種變化和改進,這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。
【主權項】
1.一種雙傳感器高靈敏度泡生法引晶系統,其特征在于:包括有支撐平臺(I),在所述支撐平臺(I)中設有籽晶桿安裝孔(2),在所述籽晶桿安裝孔(2)兩側分別設有能支撐并稱量籽晶桿安裝孔(2)中籽晶桿(10)的重量的第一稱重傳感器(3)和第二稱重傳感器(4),在所述第一稱重傳感器(3)與支撐平臺(I)之間設有能抬升第一稱重傳感器(3)的第一壓電微位移驅動器(5),在所述第二稱重傳感器(4)與支撐平臺(I)之間設有能抬升第二稱重傳感器(4)的第二壓電微位移驅動器(6)。2.根據權利要求1所述的一種雙傳感器高靈敏度泡生法引晶系統,其特征在于所述第一稱重傳感器(3)的精度為0.1g的S型重傳感器,最大量程為20kg。3.根據權利要求1所述的一種雙傳感器高靈敏度泡生法引晶系統,其特征在于所述第二稱重傳感器(4)的精度為Ig的S型重傳感器,最大量程為120kg。4.根據權利要求1所述的一種雙傳感器高靈敏度泡生法引晶系統,其特征在于所述第一稱重傳感器(3)和第二稱重傳感器(4)分別與解碼器相連接。
【專利摘要】本實用新型公開了一種雙傳感器高靈敏度泡生法引晶系統,包括有支撐平臺,在支撐平臺中設有籽晶桿安裝孔,在籽晶桿安裝孔兩側分別設有能支撐并稱量籽晶桿安裝孔中籽晶桿的重量的第一稱重傳感器和第二稱重傳感器,在第一稱重傳感器與支撐平臺之間設有能抬升第一稱重傳感器的第一壓電微位移驅動器,在第二稱重傳感器與支撐平臺之間設有能抬升第二稱重傳感器的第二壓電微位移驅動器。本實用新型的目的提供一種結構簡單,使用方便,用于晶體生長的雙傳感器高靈敏度泡生法引晶系統,該系統可以最低的成本在引晶階段和晶體生長初期準確地判斷晶體生長狀況,極大的方便了引晶工作的進行,和提高了引晶的精準性,減少了人為主觀因素對晶體質量的影響。
【IPC分類】C30B29/20, C30B17/00
【公開號】CN204918841
【申請號】CN201520518598
【發明人】王東陽, 翟劍龐, 黃鏡蓁
【申請人】中山兆龍光電科技有限公司
【公開日】2015年12月30日
【申請日】2015年7月16日