一種能夠制備大尺寸晶體成品的單晶爐的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及單晶材料制備設備領域,具體是一種能夠制備大尺寸晶體成品的單晶爐。
【背景技術】
[0002]導模法是從熔體人工制取單晶材料的方法之一,即邊緣限定薄膜供料提拉生長技術。它是將留有毛細管狹縫的模具放在熔體中,熔液借毛細作用上升到模具頂部,形成一層薄膜并向四周擴散,同時受種晶誘導結晶,模具頂部的邊緣可控制晶體呈片狀、管狀或所需的某種幾何形狀產出。這種方法用于定型生長單晶材料。導模法單晶爐就是利用導模法制備單晶材料的裝置。現有的導模法單晶爐受結構限制,制作的成品尺寸較小,無法滿足一些大尺寸成品的制備需求。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型的目的在于提供一種能夠制備大尺寸晶體成品的單晶爐,以解決上述【背景技術】中提出的問題。
[0004]為實現上述目的,本實用新型提供如下技術方案:
[0005]—種能夠制備大尺寸晶體成品的單晶爐,包括單晶爐主體,所述單晶爐主體內設有電熔爐、坩禍和提拉桿,電熔爐設置在單晶爐主體底部,電熔爐內設有坩禍槽,坩禍置于電熔爐的坩禍槽內,提拉桿位于單晶爐主體上端,且在驅動單元的帶動下在單晶爐主體內上下移動,提拉桿底端設有籽晶,籽晶的寬度為8-12mm ;所述坩禍內設有模具,模具由平行對稱設置的兩個模具板組成,兩個模具板之間留有狹縫,模具的長度為1100-1200_,寬度為 10_1.Smnin
[0006]作為本實用新型進一步的方案:所述單晶爐主體內還設有保溫棉板,保溫棉板放置在電熔爐上,且位于坩禍上方,保溫棉板內開設共提拉桿及產品穿過的通孔。
[0007]作為本實用新型再進一步的方案:所述坩禍內底部設有固定梁,模具與固定梁相垂直,且模具固定在固定梁上。
[0008]作為本實用新型再進一步的方案:所述單晶爐主體底端設有支撐架,單晶爐主體通過支撐架放置在地面上。
[0009]與現有技術相比,本實用新型的有益效果是:所述能夠制備大尺寸晶體成品的單晶爐,模具的長度為1100-1200mm,寬度為10_15mm,與傳統的單晶爐相比,該單晶爐的模具長度和寬度均較大,因此能夠制備尺寸更大的晶體產品。另外,當模具的長度超過1200mm,寬度超過15mm后,就無法成功制備晶體成品,因此該模具的尺寸為制備大尺寸晶體成品的最優尺寸。該單晶爐籽晶的寬度為8-12_,比傳統的單晶爐所用籽晶的寬度更大,有利于提尚晶體廣品的成品率。
【附圖說明】
[0010]圖1為能夠制備大尺寸晶體成品的單晶爐的結構示意圖。
[0011]圖2為能夠制備大尺寸晶體成品的單晶爐中單晶爐主體的結構示意圖。
[0012]圖3為能夠制備大尺寸晶體成品的單晶爐中坩禍的結構示意圖。
[0013]圖中:1-單晶爐主體、2-支撐架、3-電熔爐、4-坩禍、41-模具、42-固定梁、5-保溫棉板、6-籽晶、7-提拉桿。
【具體實施方式】
[0014]下面將結合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。
[0015]請參閱圖1?3,本實用新型實施例中,一種能夠制備大尺寸晶體成品的單晶爐,包括單晶爐主體1,所述單晶爐主體I底端設有支撐架2,單晶爐主體I通過支撐架2放置在地面上,單晶爐主體I內設有電熔爐3、坩禍4、保溫棉板5和提拉桿7,電熔爐3設置在單晶爐主體I底部,電熔爐3內設有坩禍槽,坩禍4置于電熔爐3的坩禍槽內,保溫棉板5放置在電熔爐3上,且位于坩禍4上方,保溫棉板5內開設共提拉桿7及產品穿過的通孔,提拉桿7位于單晶爐主體I上端,且在驅動單元的帶動下在單晶爐主體I內上下移動,提拉桿7底端設有籽晶6,籽晶6的寬度為8-12mm ;所述坩禍4內設有模具41,模具41由平行對稱設置的兩個模具板組成,兩個模具板之間留有狹縫,坩禍4內的熔液借狹縫的毛細作用上升到模具頂部,坩禍4內底部設有固定梁42,模具41與固定梁42相垂直,且模具41固定在固定梁42上,進而固定在坩禍4內,固定梁42為模具41的安裝提供支撐,模具41的長度為1100-1200mm,寬度為10_15mm,與傳統的單晶爐相比,該單晶爐的模具41長度和寬度均較大,因此能夠制備尺寸更大的晶體產品,所制備的晶體成品尺寸為長度800-1200_,寬度100-1200mm,厚度為10_15mm,比傳統單晶爐制備的晶體成品尺寸更大。另外,當模具的長度超過1200_,寬度超過15mm后,就無法成功制備晶體成品,因此該模具的尺寸為制備大尺寸晶體成品的最優尺寸。
[0016]所述能夠制備大尺寸晶體成品的單晶爐,模具41的長度為1100-1200_,寬度為10-15_,與傳統的單晶爐相比,該單晶爐的模具41長度和寬度均較大,因此能夠制備尺寸更大的晶體產品。另外,當模具的長度超過1200mm,寬度超過15mm后,就無法成功制備晶體成品,因此該模具的尺寸為制備大尺寸晶體成品的最優尺寸。該單晶爐籽晶6的寬度為8-12_,比傳統的單晶爐所用籽晶的寬度更大,有利于提高晶體產品的成品率。
[0017]對于本領域技術人員而言,顯然本實用新型不限于上述示范性實施例的細節,而且在不背離本實用新型的精神或基本特征的情況下,能夠以其他的具體形式實現本實用新型。因此,無論從哪一點來看,均應將實施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本實用新型的范圍由所附權利要求而不是上述說明限定,因此旨在將落在權利要求的等同要件的含義和范圍內的所有變化囊括在本實用新型內。不應將權利要求中的任何附圖標記視為限制所涉及的權利要求。
[0018]此外,應當理解,雖然本說明書按照實施方式加以描述,但并非每個實施方式僅包含一個獨立的技術方案,說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見,本領域技術人員應當將說明書作為一個整體,各實施例中的技術方案也可以經適當組合,形成本領域技術人員可以理解的其他實施方式。
【主權項】
1.一種能夠制備大尺寸晶體成品的單晶爐,包括單晶爐主體(1),其特征在于,所述單晶爐主體(I)內設有電熔爐(3)、坩禍(4)和提拉桿(7),電熔爐(3)設置在單晶爐主體(I)底部,電熔爐(3 )內設有坩禍槽,坩禍(4 )置于電熔爐(3 )的坩禍槽內,提拉桿(7 )位于單晶爐主體(I)上端,且在驅動單元的帶動下在單晶爐主體(I)內上下移動,提拉桿(7)底端設有籽晶(6),籽晶(6)的寬度為8-12mm;所述坩禍(4)內設有模具(41 ),模具(41)由平行對稱設置的兩個模具板組成,兩個模具板之間留有狹縫,模具(41)的長度為1100-1200_,寬度為 10_15mm。2.根據權利要求1所述的能夠制備大尺寸晶體成品的單晶爐,其特征在于,所述單晶爐主體(I)內還設有保溫棉板(5),保溫棉板(5)放置在電熔爐(3)上,且位于坩禍(4)上方,保溫棉板(5 )內開設共提拉桿(7 )及產品穿過的通孔。3.根據權利要求1或2所述的能夠制備大尺寸晶體成品的單晶爐,其特征在于,所述坩禍(4)內底部設有固定梁(42),模具(41)與固定梁(42)相垂直,且模具(41)固定在固定梁(42)上。4.根據權利要求3所述的能夠制備大尺寸晶體成品的單晶爐,其特征在于,所述單晶爐主體(I)底端設有支撐架(2 ),單晶爐主體(I)通過支撐架(2 )放置在地面上。
【專利摘要】本實用新型公開了一種能夠制備大尺寸晶體成品的單晶爐,包括單晶爐主體,所述單晶爐主體內設有電熔爐、坩堝和提拉桿,電熔爐設置在單晶爐主體底部,電熔爐內設有坩堝槽,坩堝置于電熔爐的坩堝槽內,提拉桿位于單晶爐主體上端,提拉桿底端設有籽晶,籽晶的寬度為8-12mm;所述坩堝內設有模具,模具由平行對稱設置的兩個模具板組成,兩個模具板之間留有狹縫,模具的長度為1100-1200mm,寬度為10-15mm;該單晶爐增加了模具尺寸,因此能夠制備尺寸更大的晶體產品。另外,當模具的長度更大時,就無法成功制備晶體成品,因此該模具的尺寸為制備大尺寸晶體成品的最優尺寸,該單晶爐增加了籽晶的寬度,有利于提高晶體產品的成品率。
【IPC分類】C30B15/00, C30B15/24
【公開號】CN204825124
【申請號】CN201520569201
【發明人】林志高
【申請人】福建鑫磊晶體有限公司
【公開日】2015年12月2日
【申請日】2015年8月2日