爐腔填充氬氣的拉晶爐的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體致冷件生產技術領域的設備，特別是涉及拉晶爐。
【背景技術】
[0002]晶粒是制造半導體致冷件的部件，晶粒的主要成分是三碲化二鉍，作為制造致冷件的晶粒要求其分子排列整齊，晶粒里面的分子排列越整齊，致冷件的效率就越高。
[0003]晶粒是由晶棒切割而成的，這就要求晶棒里面的分子排列是整齊的。
[0004]制造晶棒時，對其里面的分子進行排列的過程就是拉晶，拉晶是在拉晶爐中進行的，原料盛裝在拉晶管中進行拉晶，拉晶爐具有爐腔，現有技術中，拉晶爐的爐腔沒有通入氬氣的裝置，拉晶的過程就是在有氧氣的環境中進行的，這樣的拉晶爐具有生產出的產品有氧化現象，影響了廣品質量。
【發明內容】
[0005]本實用新型的目的就是針對上述缺點，提供一種拉晶效果好、拉晶產品質量高的拉晶爐一一爐腔填充氬氣的拉晶爐。
[0006]本實用新型的技術方案是這樣實現的:爐腔填充氬氣的拉晶爐，包括爐體，爐體具有爐腔，在爐腔內具有安裝拉晶管的卡座，所述的爐腔內還有拉晶套，拉晶套是對產品進行拉晶的部件，其特征是:所述的爐體外面還有一個氬氣倉和氬氣輸送裝置，氬氣倉連通氬氣輸送裝置，氬氣輸送裝置用管道連通爐腔。
[0007]進一步地講，所述的管道中間還有增壓裝置。
[0008]進一步地講，所述的爐腔后面還連通有氬氣回收裝置，回收裝置連接氬氣倉。
[0009]本實用新型的有益效果是:這樣的拉晶爐具有拉晶效果好、拉晶產品質量高的優點；所述的管道中間還有增壓裝置，還具有拉晶在高壓下工作效果更好的優點；所述的爐腔后面還連通有氬氣回收裝置，回收裝置連接氬氣倉，還具有節省氬氣，降低生產成本的優點。
【附圖說明】
[0010]圖1是本實用新型的結構示意圖。
[0011]其中:1、爐體 2、爐腔 3、卡座 4、拉晶套 5、氬氣倉 6、氬氣輸送裝置7、管道 8、增壓裝置 9、氬氣回收裝置。
【具體實施方式】
[0012]下面結合附圖對本實用新型作進一步說明。
[0013]如圖1所示，爐腔填充氬氣的拉晶爐，包括爐體1，爐體具有爐腔2，在爐腔內具有安裝拉晶管的卡座3，所述的爐腔內還有拉晶套4，拉晶套是對產品進行拉晶的部件，其特征是:所述的爐體外面還有一個氬氣倉5和氬氣輸送裝置6，氬氣倉連通氬氣輸送裝置，氬氣輸送裝置用管道7連通爐腔。
[0014]進一步地講，所述的管道中間還有增壓裝置8。
[0015]進一步地講，所述的爐腔后面還連通有氬氣回收裝置9，回收裝置連接氬氣倉。
[0016]以上所述僅為本實用新型的具體實施例，但本實用新型的結構特征并不限于此，任何本領域的技術人員在本實用新型的領域內，所作的變化或修飾皆涵蓋在本實用新型的專利范圍內。
【主權項】
1.爐腔填充氬氣的拉晶爐，包括爐體，爐體具有爐腔，在爐腔內具有安裝拉晶管的卡座，所述的爐腔內還有拉晶套，拉晶套是對產品進行拉晶的部件，其特征是:所述的爐體外面還有一個氬氣倉和氬氣輸送裝置，氬氣倉連通氬氣輸送裝置，氬氣輸送裝置用管道連通爐腔。2.根據權利要求1所述的拉晶爐，其特征是:所述的管道中間還有增壓裝置。3.根據權利要求1或2所述的拉晶爐，其特征是:所述的爐腔后面還連通有氬氣回收裝置，回收裝置連接氬氣倉。
【專利摘要】本實用新型涉及半導體致冷件生產技術領域的設備，是爐腔填充氬氣的拉晶爐，包括爐體，爐體具有爐腔，在爐腔內具有安裝拉晶管的卡座，所述的爐腔內還有拉晶套，拉晶套是對產品進行拉晶的部件，所述的爐體外面還有一個氬氣倉和氬氣輸送裝置，氬氣倉連通氬氣輸送裝置，氬氣輸送裝置用管道連通爐腔，所述的管道中間還有增壓裝置，所述的爐腔后面還連通有氬氣回收裝置，回收裝置連接氬氣倉，這樣的拉晶爐具有拉晶效果好、拉晶產品質量高的優點。
【IPC分類】C30B15/00
【公開號】CN204825119
【申請號】CN201520582207
【發明人】陳磊, 劉栓紅, 趙麗萍, 張文濤, 蔡水占, 郭晶晶, 張會超, 陳永平, 王東勝, 惠小青, 辛世明, 田紅麗
【申請人】河南鴻昌電子有限公司
【公開日】2015年12月2日
【申請日】2015年8月6日