一種硅片鑄錠爐用改良加熱器的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種加熱器，具體涉及一種改良加熱器，尤其涉及一種硅片鑄錠爐用改良加熱器。
【背景技術】
[0002]晶體生長裝置中加熱器屬于熱場的供熱元件，在長晶裝置中是必不可少的基礎構件，現有技術中所采用的加熱器種類也比較多，具體有盤繞式加熱絲、桶狀加熱片和矩形加熱片，但是由于加熱電極只能從加熱器的一端接入，所以根據加熱器采用的不同材料會導致加熱器前期受熱不均勻，長期的受熱不均會導致加熱器局部之間產生差異，而晶體生長比較注重整體成型，所以局部結構的差異會導致內部溫度隨之產生差異，最終導致晶體生長形態不均勻，對生產的產品整體質量造成較大的影響，所以現有技術中對加熱器還需要做進一步的改造，從而達到晶體形態生長均勻的目的。
【發明內容】
[0003]本實用新型的目的在于克服現有技術的不足，而提供一種結構簡單、整體受熱均勻、使用壽命長、熱流動均勻的硅片鑄錠爐用改良加熱器。
[0004]本實用新型的目的是這樣實現的:一種硅片鑄錠爐用改良加熱器，包括加熱器本體，所述的加熱器本體整體呈圓柱體中空桶狀結構，所述的加熱器本體內側面最下邊緣位置以加熱器本體中心線為基準線左右對稱設置有固定耳，所述的固定耳上開設有電極固定孔，所述的加熱器本體側面上設置有導流孔，所述的加熱器本體內側面上鋪設有導熱層，所述的導熱層通過固定螺釘固定在加熱器本體內側壁上。
[0005]所述的導熱層為鋁制網狀層。
[0006]所述的導流孔為豎直的矩形槽孔。
[0007]所述的導流孔在加熱器本體的側壁上設置有至少4個。
[0008]本實用新型所產生的有益效果是:由于長晶裝置采用的坩禍一般為圓柱形坩禍，所以將加熱器本體設置為桶狀結構可以保證與坩禍之間每一點的垂直距離均相等，從而使得坩禍受熱均勻，從而能夠保證晶體生長更加均勻；在加熱器本體內側面最下邊緣位置以加熱器本體中心線為基準線左右對稱設置的固定耳，能夠提供較好的電極固定位置，在固定耳上設置的電極固定孔使加熱電極的固定更加方便，在加熱器本體側面上設置的導流孔，可以使內部氣體在受熱的情況下能夠保持平衡，避免局部壓迫，導流孔也起到熱量流轉的作用，使整個長晶裝置內部的溫度都能保證均勻，更加有利于晶體的生長，在側壁上設置至少4個導流孔保證受熱氣體流轉更加充分，其中所述的導流孔設置為矩形槽孔，使受熱氣體的流轉量更大；在加熱器本體內側面鋪設的導熱層在加熱電極對加熱器進行加熱時可以起到先行導熱的作用，對加熱器本體進行預熱，使加熱器的局部溫差大大縮小，從而有效的保證了坩禍受熱均勻，有利于晶體整體形態的生長，導熱層的設置能夠有效的解決前期加熱器受局部受熱溫差過大的問題，導熱層采用為鋁制網狀層，因為鋁制材料具有較好的熱傳導作用，對加熱器的預熱更加充分；其中導熱層在解決加熱器前期受熱不均、預熱時間過長的問題的同時也在一定程度上增長了其使用壽命；導熱層通過螺釘固定的方式固定在加熱器本體內側壁上具有安裝方便、便于更換維護等優點。總的本實用新型具有結構簡單、整體受熱均勻、使用壽命長、熱流動均勻的優點。
【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型的結構示意圖1。
[0010]圖2為本實用新型的結構示意圖2。
[0011]圖中:1、加熱器本體 2、固定耳 3、電極固定孔 4、導流孔 5、導熱層6、固定螺釘。
具體實施例
[0012]下面根據實施例對本實用的技術方案做進一步說明:
[0013]實施例1
[0014]如圖1一2所示，一種硅片鑄錠爐用改良加熱器，包括加熱器本體1，所述的加熱器本體I整體呈圓柱體中空桶狀結構，所述的加熱器本體I內側面最下邊緣位置以加熱器本體I中心線為基準線左右對稱設置有固定耳2，所述的固定耳2上開設有電極固定孔3，所述的加熱器本體I側面上設置有導流孔4，所述的加熱器本體I內側面上鋪設有導熱層5，所述的導熱層5通過固定螺釘6固定在加熱器本體I內側壁上。
[0015]本實用新型在使用時:首先將導熱層環繞加熱器本體內側壁進行鋪設，并通過固定螺釘將導熱層安裝固定在加熱器本體內側壁上，采用螺釘固定的方式使導熱層的安裝和拆卸維護更加方便；然后將加熱電極固定安裝在固定耳上設置的電極固定孔內，并通電導熱，在導熱的過程中由于導熱層具有較佳的導熱效果，從而熱量從加熱電極處向外蔓延，對整個導熱層進行先預熱，在加熱電極對導熱層加熱的同時，對加熱器本體也進行加熱，由于加熱器導熱效果較導熱層較差，所以導熱層在受熱后對加熱器本體進行加熱輔助，從而使加熱器本體的預熱更加迅速，提供了生產效率，保證了晶體生產所需求的受溫均衡，使晶體的生長更加規則，整體質量更好；在整體的加熱過程中，內部惰性氣體受熱可能存在一定的膨脹，此時導流孔可以實現內部惰性氣體的流轉，使內部氣壓均衡；總的本實用新型具有結構簡單、整體受熱均勻、使用壽命長、熱流動均勻的優點。
[0016]實施例2
[0017]如圖1一2所示，一種硅片鑄錠爐用改良加熱器，包括加熱器本體1，所述的加熱器本體I整體呈圓柱體中空桶狀結構，所述的加熱器本體I內側面最下邊緣位置以加熱器本體I中心線為基準線左右對稱設置有固定耳2，所述的固定耳2上開設有電極固定孔3，所述的加熱器本體I側面上設置有導流孔4，所述的加熱器本體I內側面上鋪設有導熱層5，所述的導熱層5通過固定螺釘6固定在加熱器本體I內側壁上。
[0018]所述的導熱層5為鋁制網狀層。
[0019]所述的導流孔4為豎直的矩形槽孔。
[0020]所述的導流孔4在加熱器本體I的側壁上設置有6個。
[0021]本實用新型在使用時:首先將導熱層環繞加熱器本體內側壁進行鋪設，并通過固定螺釘將導熱層安裝固定在加熱器本體內側壁上，采用螺釘固定的方式使導熱層的安裝和拆卸維護更加方便；然后將加熱電極固定安裝在固定耳上設置的電極固定孔內，并通電導熱，在導熱的過程中由于導熱層具有較佳的導熱效果，從而熱量從加熱電極處向外蔓延，對整個導熱層進行先預熱，在加熱電極對導熱層加熱的同時，對加熱器本體也進行加熱，由于加熱器導熱效果較導熱層較差，所以導熱層在受熱后對加熱器本體進行加熱輔助，從而使加熱器本體的預熱更加迅速，提供了生產效率，保證了晶體生產所需求的受溫均衡，使晶體的生長更加規則，整體質量更好，其中導熱層采用鋁制網狀層使導熱效果更好；在整體的加熱過程中，內部惰性氣體受熱可能存在一定的膨脹，此時導流孔可以實現內部惰性氣體的流轉，使內部氣壓均衡，其中導流孔設計為矩形槽孔使其整體倒流面積更大，且上下倒流均勻，設置的6個導流孔大大增加倒流面積；總的本實用新型具有結構簡單、整體受熱均勻、使用壽命長、熱流動均勻的優點。
【主權項】
1.一種硅片鑄錠爐用改良加熱器，包括加熱器本體，其特征在于:所述的加熱器本體整體呈圓柱體中空桶狀結構，所述的加熱器本體內側面最下邊緣位置以加熱器本體中心線為基準線左右對稱設置有固定耳，所述的固定耳上開設有電極固定孔，所述的加熱器本體側面上設置有導流孔，所述的加熱器本體內側面上鋪設有導熱層，所述的導熱層通過固定螺釘固定在加熱器本體內側壁上。
2.根據權利要求1所述的一種硅片鑄錠爐用改良加熱器，其特征在于:所述的導熱層為鋁制網狀層。
3.根據權利要求1所述的一種硅片鑄錠爐用改良加熱器，其特征在于:所述的導流孔為豎直的矩形槽孔。
4.根據權利要求1所述的一種硅片鑄錠爐用改良加熱器，其特征在于:所述的導流孔在加熱器本體的側壁上設置有至少4個。
【專利摘要】一種硅片鑄錠爐用改良加熱器，包括加熱器本體，加熱器本體整體呈圓柱體中空桶狀結構，加熱器本體內側面最下邊緣位置以加熱器本體中心線為基準線左右對稱設置有固定耳，固定耳上開設有電極固定孔，加熱器本體側面上設置有導流孔，加熱器本體內側面上鋪設有導熱層，導熱層通過固定螺釘固定在加熱器本體內側壁上，導熱層為鋁制網狀層，導流孔為豎直的矩形槽孔，導流孔在加熱器本體的側壁上設置有至少4個，總的本實用新型具有結構簡單、整體受熱均勻、使用壽命長、熱流動均勻的優點。
【IPC分類】C30B35-00, C30B29-06
【公開號】CN204570094
【申請號】CN201520089431
【發明人】陳坤助, 李圣琦, 林彥廷, 張立峰
【申請人】洛陽巨子新能源科技有限公司
【公開日】2015年8月19日
【申請日】2015年2月9日