一種經酸洗后的晶硅線切割廢砂漿中的碳化硅干燥篩分系統的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種經酸洗后的晶硅線切割廢砂漿中的碳化硅干燥篩分系統。
【背景技術】
[0002]硅片切割是電子工業主要原材料一硅片(晶圓)生產的上游關鍵技術,切割的質量與規模直接影響到整個產業鏈的后續生產。在電子工業中,對硅片的需求主要表現在太陽能光伏發電和集成電路等半導體產業上。晶體硅片是制作光伏太陽能電池的主要材料,每生產I麗的太陽能電池組件需要17噸左右的原料。Clean Edge預計,全球太陽能發電市場的規模將從2005年的110億美元猛進增到2015年的510億美元,以芯片著名的“硅谷”將被“太陽谷”所取代。顯然太陽能產業的迅猛發展需要更多的硅原料及切割設備來支撐。
[0003]硅片加工工藝流程一般經過晶體生長、切斷、外徑滾磨、平邊、切片、倒角、研磨、腐蝕、拋光、清洗、包裝等階段。在整個切割過程中,切割液(PEG)具有重要作用,然而,隨著人們對環境保護的重視,如何處理切割液在切割完畢后所產生的廢砂漿,日益成為人們研宄的重點。
[0004]晶硅線切割廢砂漿是一種灰黑色粘稠固液混合體,含有碳化硅,硅粉,鐵,聚乙二醇,水雜質等。略有吸濕性,不易揮發,化學性質穩定,能溶于水,難燃,按危險化學廢棄物運輸,密封貯存。
[0005]如何利用晶硅線切割廢漿料,再生切割液(聚乙二醇)、碳化硅、陶瓷細粉材料,是近年來急需解決的問題。
【實用新型內容】
[0006]為解決上述存在的問題,本實用新型的目的在于提供一種經酸洗后的晶硅線切割廢砂漿中的碳化硅干燥篩分系統統,用于對廢砂漿中的碳化硅及硅粉進行再生處理,提高再生效率。
[0007]為達到上述目的,本實用新型的技術方案是:
[0008]一種經酸洗后的晶硅線切割廢砂漿中的碳化硅干燥篩分系統,包括:一漿料收集桶,內設攪拌機,其進料口接經酸洗過濾處理的的漿料;一平板分離機,其進料口通過一砂漿泵與所述漿料收集桶出料口連接;第一斗提機,傾斜設置,其裝料口與所述平板分離機底部出料口連接;一閃蒸干燥機,其進料口與所述第一斗提機卸料口連接,上方依次設有送風機和三通分料器;旋風分離機,其上部進料口與所述三通分料器出料口連接;一布袋除塵器,其粉塵入口與所述旋風分離機頂部出氣口連接,且一側連有一引風機,底部連有一集塵袋;第二斗提機,傾斜設置,其裝料口與所述旋風分離機底部出料口連接;一混料器,其進料口與所述第二斗提機卸料口連接;若干振動篩,進料口分別與所述混料器底部出料口連接;第三斗提機,傾斜設置,其裝料口與所述振動篩底部出料口連接;一自動包裝機,其進料口與所述第三斗提機卸料口連接。
[0009]進一步,所述平板分離機出水口通過管道與所述漿料收集桶進料口連接。
[0010]另,還包括一袋式除塵器,其粉塵入口與所述第二斗提機卸料口連接,且一側連有一引風機,底部連有一集塵袋。
[0011]本實用新型的有益效果在于:
[0012]通過離心分離和閃蒸干燥相配合干燥,輔以斗提機運輸,可有效提升漿料中碳化硅干燥、提純、再生效率。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型實施例所述的經酸洗后的晶硅線切割廢砂漿中的碳化硅干燥篩分系統結構示意圖。
【具體實施方式】
[0014]參見圖1,本實用新型所述的經酸洗后的晶硅線切割廢砂漿中的碳化硅干燥篩分系統,包括:一漿料收集桶1,內設攪拌機2,其進料口接經酸洗過濾處理的的漿料;一平板分離機3,其進料口通過一砂漿泵4與所述漿料收集桶出料口連接;第一斗提機5,傾斜設置,其裝料口與所述平板分離機3底部出料口連接;一閃蒸干燥機6,其進料口與所述第一斗提機5卸料口連接,上方依次設有送風機61和三通分料器62 ;
[0015]旋風分離機7,其上部進料口與所述三通分料器62出料口連接;一布袋除塵器8,其粉塵入口與所述旋風分離機7頂部出氣口連接,且一側連有一引風機9,底部連有一集塵袋10 ;第二斗提機11,傾斜設置,其裝料口與所述旋風分離機7底部出料口連接;一混料器12,其進料口與所述第二斗提機11卸料口連接;若干振動篩13,進料口分別與所述混料器12底部出料口連接;第三斗提機14,傾斜設置,其裝料口與所述振動篩13底部出料口連接;一自動包裝機15,其進料口與所述第三斗提機14卸料口連接。
[0016]進一步,所述平板分離機3出水口通過管道與所述漿料收集桶I進料口連接。
[0017]另,還包括一袋式除塵器16,其粉塵入口與所述第二斗提機11卸料口連接,且一側連有一引風機9,底部連有一集塵袋10。
[0018]本實用新型所述的經酸洗后的晶硅線切割廢砂漿中的碳化硅干燥篩分系統工作流程如下:
[0019]碳化硅的干燥
[0020]本項目采用XSG - 12型閃蒸干燥機,對碳化硅進行干燥。閃蒸干燥機的給料操作如下:
[0021]開車程序
[0022](I)首先啟動引風機9,再啟動送風機61,調節引風機的蝶閥的開啟度,使干燥機在微負壓下作業。
[0023](2)開布袋除塵器8反吹系統,并調節反吹頻率,保證氣體進口壓力在0.5-0.6Mpa下工作。
[0024](4)將平板離心機3脫水后的碳化硅用傳送帶投入加料斗中,啟動攪拌器,攪拌物料。
[0025](5)開啟天然氣閥門通入燃氣點火升溫,使其干燥機的空氣進口溫度逐漸上升,當干燥機的空氣出口溫度超過110°c時,啟動輸料電機、調節控制加料速度,保證出口溫度在900C- 100°C時穩定。待進口溫度達到350 - 400°C時,重新調節輸料電機速度、控制干燥機塔體進口、出口溫度在設計溫度工藝條件下作業。
[0026](6 )觀察系統中各設備(及其它部位)運轉是否正常。
[0027](7)取樣檢測干粉料質量,干燥后的碳化硅,通過封閉斗式提升機(第二斗提機11)輸送至振動篩13上的混料器12中。
[0028]碳化硅的篩分
[0029]閃蒸干燥機6蒸干燥后的碳化硅,通過封閉斗式提升機輸送至頂部三通分料器62,(三通分料器分左、右兩口,左口對應混料機I臺,右口對應混料機I臺,中間翻板由氣缸控制)。控制給料時間為Ihr,切換給料到另一臺混料機。
[0030]碳化硅經混料機攪拌30min后,由將出料閥門打開,物料進入混合料倉。
[0031]啟動螺旋輸送機進入第一道超聲波振動篩進行一次篩分,再通過第二道超聲波振動篩進行二次篩分。經過篩分后,非成品物料從篩分機上出料口排出到接料桶。成品碳化娃料進入成品倉。
[0032]成品倉的碳化硅通過出料口進入封閉斗式提升機(第三斗提機14),由封閉斗式提升機輸送至自動包裝機15。
[0033]需要說明的是,以上實施例僅用以說明本實用新型的技術方案而非限制。盡管參照較佳實施例對本實用新型進行了詳細說明,本領域的普通技術人員應當理解,可以對實用新型的技術方案進行修改或者等同替換,而不脫離本實用新型技術方案的范圍,其均應涵蓋在本實用新型的權利要求范圍中。
【主權項】
1.一種經酸洗后的晶硅線切割廢砂漿中的碳化硅干燥篩分系統,其特征在于,包括: 一漿料收集桶,內設攪拌機,其進料口接經酸洗過濾處理的的漿料; 一平板分離機,其進料口通過一砂漿泵與所述漿料收集桶出料口連接; 第一斗提機,傾斜設置,其裝料口與所述平板分離機底部出料口連接; 一閃蒸干燥機,其進料口與所述第一斗提機卸料口連接,上方依次設有送風機和三通分料器; 旋風分離機,其上部進料口與所述三通分料器出料口連接; 一布袋除塵器,其粉塵入口與所述旋風分離機頂部出氣口連接,且一側連有一引風機,底部連有一集塵袋; 第二斗提機,傾斜設置,其裝料口與所述旋風分離機底部出料口連接; 一混料器,其進料口與所述第二斗提機卸料口連接; 若干振動篩,進料口分別與所述混料器底部出料口連接; 第三斗提機,傾斜設置,其裝料口與所述振動篩底部出料口連接; 一自動包裝機,其進料口與所述第三斗提機卸料口連接。
2.根據權利要求1所述的經酸洗后的晶硅線切割廢砂漿中的碳化硅干燥篩分系統,其特征在于,所述平板分離機出水口通過管道與所述漿料收集桶進料口連接。
3.根據權利要求1所述的經酸洗后的晶硅線切割廢砂漿中的碳化硅干燥篩分系統,其特征在于,還包括一袋式除塵器,其粉塵入口與所述第二斗提機卸料口連接,且一側連有一引風機,底部連有一集塵袋。
【專利摘要】一種經酸洗后的晶硅線切割廢砂漿中的碳化硅干燥篩分系統,包括:漿料收集桶一平板分離機,與漿料收集桶連接;第一斗提機,與所述平板分離機出料口連接;閃蒸干燥機,與第一斗提機卸料口連接,上方依次設有送風機和三通分料器;旋風分離機,進料口與三通分料器出料口連接;布袋除塵器,粉塵入口與旋風分離機出氣口連接,底部有集塵袋;第二斗提機,其裝料口與旋風分離機出料口連接;混料器,與第二斗提機卸料口連接;振動篩,與混料器出料口連接;第三斗提機,與振動篩出料口連接;自動包裝機,與第三斗提機卸料口連接。所述干燥篩分系統通過離心分離和閃蒸干燥相配合干燥,輔以斗提機運輸,可有效提升漿料中碳化硅干燥、提純、再生效率。
【IPC分類】C01B31-36
【公開號】CN204454604
【申請號】CN201520105708
【發明人】唐彥文, 黃志斌
【申請人】徐州吉興新材料有限公司
【公開日】2015年7月8日
【申請日】2015年2月13日