一種高精密氦氣回收充注集成裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及氦氣回收的技術領域，尤其涉及一種高精密氦氣回收充注集成裝置。
【背景技術】
[0002]由于氦氣是一種戰略資源且國內氦氣產量較低，所以進行氦氣回收顯得尤為必要。目前國內很多企業檢漏后，將氦氣直排大氣中，不回收，故氦氣消耗量非常大，也有企業回收氦氣，但是回收率低，回收不徹底，系統配置不專業，選擇了不適用的機組，易產生漏氣。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型所要解決的技術問題是提供一種集成化的回收率高且具有氦氣濃度檢測的高精密氦氣回收充注集成裝置。
[0004]為實現上述技術效果，本實用新型公開了一種高精密氦氣回收充注集成裝置，包括一框架本體，所述框架本體包括一第一容置空間和設于所述第一容置空間上方的一第二容置空間；所述第二容置空間內設有氦氣回收氣囊，所述氦氣回收氣囊的進氣端設有一負壓罐，所述負壓罐進一步連接一真空泵；所述第一容置空間內設有連接所述氦氣回收氣囊的出氣端的氦氣增壓機、以及連接所述氦氣增壓機的高壓罐，所述氦氣增壓機與所述氦氣回收氣囊的出氣端之間設有混氣罐，所述混氣罐上設有氦氣濃度檢測儀。
[0005]本實用新型進一步的改進在于，所述氦氣增壓機的底部設有減震墊。
[0006]本實用新型進一步的改進在于，所述氦氣增壓機為壓縮機或增壓泵。
[0007]本實用新型進一步的改進在于，所述高壓罐通過抱箍設于所述第一容置空間的底部，且所述高壓罐的底部設有墊塊。
[0008]本實用新型進一步的改進在于，所述框架本體的頂部設有散熱器。
[0009]本實用新型進一步的改進在于，所述框架本體的頂部設有用于吊裝所述框架本體的起重吊耳。
[0010]本實用新型由于采用了以上技術方案，使其具有以下有益效果:
[0011]通過將氦氣回收氣囊、混氣罐、氦氣增壓機及高壓罐集成于一框架本體內，將氦氣的回收與充注功能集成在一起，結構緊湊、占地空間少，并通過框架本體頂部的起重吊耳，方便地整體移動裝置，便于氦氣的回收與充注；
[0012]通過在氦氣回收氣囊的進氣端與工件型腔之間配置了負壓罐和真空泵，組合進行深度氦氣回收，將工件型腔內的氦氣壓力和氣囊壓力平衡后，工件型腔內殘留的一個常壓的氦氣，快速全部抽空至氦氣回收氣囊中，提高了氦氣回收率；
[0013]配置專供氦氣增壓的壓縮機，采用專用密封材料的密封措施后，確保無氦滲漏和延長壓縮機使用壽命，提高了氦氣回收率；
[0014]或配置專用于氦氣回收的增壓泵，由于普通的增壓泵設計時，留有呼氣孔，如果應用于氦氣增壓時，將泄漏大量氦氣，因此本實用新型對該氣孔采取一定措施，不泄漏氦氣，且再回收，提高了氦氣回收率；
[0015]氦氣體的分子是氣體中最小的分子之一，在氦氣增壓前采用混氣罐和氦氣濃度檢測儀精確控制好氦氣的濃度，在確保能進行氦氣檢漏的情況下，利用氮氣降低氦氣的濃度，使實際損耗的氣體中占氦氣的比例部分的損耗量降低，從而進一步提高了氦氣回收率。
【附圖說明】
[0016]圖1是本實用新型高精密氦氣回收充注集成裝置的正面結構示意圖。
[0017]圖2是本實用新型高精密氦氣回收充注集成裝置的側面結構示意圖。
【具體實施方式】
[0018]下面結合附圖及【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細的說明。
[0019]在進行工件的氦氣檢漏時，在工件密封型腔中充注了高壓氦氣(幾bar?350bar)。因氦氣價格很高，且每天大批量檢測，所需的氦氣量非常大，使用成本很高，所以有必要將使用的氦氣回收后再利用，進行循環反復使用，使用實用新型高精密氦氣回收充注集成裝置后，高壓和低壓的氦氣回收率都非常高，可達99%左右，從而大大地降低了氦氣檢漏的成本。
[0020]參閱圖1和圖2所示，本實用新型的高精密氦氣回收充注集成裝置10主要由框架本體11、氦氣回收氣囊12、混氣罐13、氦氣增壓機14及高壓罐15構成。
[0021 ] 其中，框架本體11為雙層框架，包括位于下層的第一容置空間111和位于上層的第二容置空間112。框架本體11的頂部設有用于裝置內部散熱的散熱器16，該散熱器16可以是散熱風扇。框架本體11的頂部設有用于吊裝框架本體11的起重吊耳17，便于移動框架本體11。
[0022]氦氣回收氣囊12設于第二容置空間112內，氦氣回收氣囊12具有一進氣端和一出氣端，該進氣端用于與工件密封型腔通過管道相連，并且在該進氣端與工件密封型腔之間的管道上安裝一負壓罐，并在負壓罐上進一步配合設置一真空泵，由于工件密封型腔內的氦氣壓力和氦氣回收氣囊12平衡后，工件密封型腔內還殘留一個常壓的氦氣，如果這時，取出工件，這部分氦氣就未被回收，而使用了本實用新型的負壓罐和真空泵組合，可以將該部分的氦氣快速全部抽空至氦氣回收氣囊12中，提高氦氣的回收率，高壓和低壓的氦氣回收率都非常高，可達99%左右，從而大大地降低了氦氣檢漏的成本。
[0023]氦氣回收氣囊12的出氣端與氦氣增壓機14的低壓吸氣端通過管道相連，混氣罐13進一步設置在氦氣增壓機14的低壓吸氣端與氦氣回收氣囊12的出氣端之間的管道上，混氣罐13上設有氦氣濃度檢測儀。氦氣體的分子是氣體中最小的分子之一，在氦氣增壓前采用混氣罐13和氦氣濃度檢測儀精確控制好氦氣的濃度，在確保能進行氦氣檢漏的情況下，利用氮氣降低氦氣的濃度，使實際損耗的氣體中占氦氣的比例部分的損耗量降低，從而能夠進一步提尚了気氣回收率。
[0024]混氣罐13用于混合氦氣與氮氣，為了確保氦氣濃度，在混合時由氦氣濃度檢測儀緊密檢測，如果氦氣濃度太低，立即快速充注純氦氣，使氦氣濃度迅速上升，如果氦氣濃度太高，立即快速充注純氮氣，使氦濃度迅速下降，一般常壓時，在增壓前，運用混氣罐13和氦氣濃度檢測儀，將氮氣和氦氣按一定比例混合后，再經氦氣增壓機14增壓至高壓罐15中，高壓罐15中氦氣濃度值由氦氣濃度監控系統控制和調整。
[0025]經混氣罐13混合好濃度后的氦氣由氦氣增壓機14的低壓吸氣端進入至氦氣增壓機14中進行增壓。氦氣增壓機14的底部設有減震墊20，用于減緩氦氣增壓機14與框架本體11之間的震動損傷，延長使用壽命。
[0026]其中，氦氣增壓機14可以配置為專供氦氣增壓的壓縮機，采用專用密封材料的密封措施后，確保無氦滲漏和延長壓縮機使用壽命，提高了氦氣回收率，而一般市售的壓縮機無專供氦氣增壓的壓縮機產品，只有自主改進，用專用密封材料的密封措施后，才能確保無氦滲漏和延長壓縮機使用壽命；
[0027]或者氦氣增壓機14也可以配置為專用于氦氣回收的增壓泵，由于普通的增壓泵設計時，留有呼氣孔，如果應用于氦氣增壓時，將泄漏大量氦氣，因此本實用新型對該氣孔采取一定措施，不泄漏氦氣，且再回收，提高了氦氣回收率。
[0028]最后，氦氣增壓機14的高壓排氣端與高壓罐15通過管道相連，將增壓后的氦氣充注至高壓罐15中，以備氦氣檢漏使用。高壓罐15通過抱箍18緊固于第一容置空間111的底部，且高壓罐15的底部設有墊塊19。
[0029]本實用新型的高精密氦氣回收充注集成裝置10通過將氦氣回收氣囊12、混氣罐13、氦氣增壓機14及高壓罐15集成于一框架本體11內，將氦氣的回收與充注功能集成在一起，結構緊湊、占地空間少，將使用的氦氣回收后再利用，進行循環反復使用，高壓和低壓的氦氣回收率都非常高，可達99 %左右，從而大大地降低了氦氣檢漏的成本。
[0030]本實用新型的高精密氦氣回收充注集成裝置10的具體操作如下:
[0031]首先氦氣檢漏結束后，工件密封型腔中有高壓氦氣存在，開通工件密封型腔與氦氣回收氣囊12的進氣端之間的管道，使高壓氦氣直通氦氣回收氣囊12中，平衡氣體壓力，使工件密封型腔中的高壓氣體平衡至常壓。
[0032]接著開通氦氣回收氣囊12的進氣端的負壓罐和真空泵管道，利用真空泵前的負壓罐，將工件密封型腔內的殘留氦氣全部抽空至氦氣回收氣囊12中。
[0033]然后再將氦氣回收氣囊12中的常壓氦氣，采用壓縮機或增壓泵增壓至高氣壓(例如，40Bar，350Bar)至高壓罐15中，最后將高壓罐15中的氦氣充注到帶檢漏工件密封型腔中，完成氦氣的回收與充足。
[0034]為了確保高壓罐15中的氦氣濃度，由氦濃度控制系統控制。如果氦濃度太低，立即快速充注純氦氣，使氦濃度迅速上升，如果氦濃度太高，立即快速充注純氮氣，使氦濃度迅速下降，一般常壓時，在增壓前，運用混氣罐，將氮氣和氦氣按一定比例混合后，再增壓至高壓罐中，高壓罐中氦氣濃度值，由氦氣濃度監控系統控制和調整。
[0035]以上結合附圖及實施例對本實用新型進行了詳細說明，本領域中普通技術人員可根據上述說明對本實用新型做出種種變化例。因而，實施例中的某些細節不應構成對本實用新型的限定，本實用新型將以所附權利要求書界定的范圍作為本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.一種高精密氦氣回收充注集成裝置，其特征在于:包括一框架本體，所述框架本體包括一第一容置空間和設于所述第一容置空間上方的一第二容置空間；所述第二容置空間內設有氦氣回收氣囊，所述氦氣回收氣囊的進氣端設有一負壓罐，所述負壓罐進一步連接一真空泵；所述第一容置空間內設有連接所述氦氣回收氣囊的出氣端的氦氣增壓機、以及連接所述氦氣增壓機的高壓罐，所述氦氣增壓機與所述氦氣回收氣囊的出氣端之間設有混氣罐，所述混氣罐上設有氦氣濃度檢測儀。
2.如權利要求1所述的高精密氦氣回收充注集成裝置，其特征在于:所述氦氣增壓機的底部設有減震墊。
3.如權利要求2所述的高精密氦氣回收充注集成裝置，其特征在于:所述氦氣增壓機為壓縮機或增壓泵。
4.如權利要求1所述的高精密氦氣回收充注集成裝置，其特征在于:所述高壓罐通過抱箍設于所述第一容置空間的底部，且所述高壓罐的底部設有墊塊。
5.如權利要求1所述的高精密氦氣回收充注集成裝置，其特征在于:所述框架本體的頂部設有散熱器。
6.如權利要求1所述的高精密氦氣回收充注集成裝置，其特征在于:所述框架本體的頂部設有用于吊裝所述框架本體的起重吊耳。
【專利摘要】本實用新型公開了一種高精密氦氣回收充注集成裝置，包括框架本體，框架本體包括第一容置空間和第二容置空間；第二容置空間內設有氦氣回收氣囊，氦氣回收氣囊的進氣端設有負壓罐，負壓罐連接真空泵；第一容置空間內設有連接氦氣回收氣囊的出氣端的氦氣增壓機、以及連接氦氣增壓機的高壓罐，氦氣增壓機與氦氣回收氣囊的出氣端之間設有混氣罐，混氣罐上設有氦氣濃度檢測儀。本實用新型通過將氦氣回收氣囊、混氣罐、氦氣增壓機及高壓罐集成于一框架本體內，將氦氣的回收與充注功能集成在一起，結構緊湊、占地空間少，將使用的氦氣回收后再利用，進行循環反復使用，高壓和低壓的氦氣回收率都非常高，可達99％左右，從而大大地降低了氦氣檢漏的成本。
【IPC分類】C01B23-00
【公開號】CN204417129
【申請號】CN201520054766
【發明人】張和毅
【申請人】上海賢日自動化設備有限公司
【公開日】2015年6月24日
【申請日】2015年1月26日