硅棒粘棒機的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種硅棒粘棒機,屬于多晶硅生產技術領域。
【背景技術】
[0002]目前,目前國內生產多晶硅的工藝大部分都是常規三氯氫硅氫還原法,即改良西門子法,改良西門子法或其他類似方法生產大直徑多晶硅的主要設備是多晶硅還原爐,多晶硅還原爐在細長的硅芯上通上電源,使硅芯加熱發紅,直至表面溫度達到1100攝氏度,通入高純的三氯氫硅和氫氣,使其在高溫下發生氫還原反應,使三氯氫硅中的硅分子堆積在硅芯上,使其的直徑不斷地增大,通常,硅芯的直徑在7-10毫米,可以是圓形也可以是方型,或是其他形狀,最終通過氫還原反應使直徑不斷地增大到120-200毫米,生產出高純太陽能級6N或電子級IlN的多晶硅。
[0003]現硅芯的制備方法有二種,傳統的方法是用CZ法(區熔提拉法),即把直徑在20-50毫米的硅棒在充滿惰性氣體的真空爐膛內用高頻感應加熱,使其頂部局部熔化,從上部放入I根直徑在5-10毫米的籽晶,然后慢慢向上提拉,使其成為直徑在7-10毫米,長度在1900-3000毫米之間的細長硅芯,其缺點是提拉速度慢,一般為8-12毫米/分鐘,拉制I根2米的硅芯需要4小時,生產效率低,電力消耗大,設備投資大。
[0004]另一種是用金剛石工具切割法,美國Diamond Wire Technology公司研制出采用金剛石線的數控多晶硅細長硅芯多線切割機床,用于硅芯的制備。通過利用電鍍上金剛石微粒的細鋼絲線在被加工工件上高速地往復運動或單向移動,將硅棒壓在該機床用金剛石線交叉組成的方形線網上,從而將該硅棒切割成細長的硅芯。其優點十分明顯,10-12小時可以切割出200根左右2米長的7X7或8X8毫米的方形硅芯,電力消耗小,加工效率高。
[0005]硅芯切割時需要將硅棒懸掛至切割機上,硅棒懸掛前需要通過粘合膠將硅棒與晶座連接在一起,由于硅棒和晶座重量很重,因此整個粘棒過程操作十分不便,并且無法有效保證硅棒與晶座的同軸度,從而影響最終產品的質量和成材率。
【發明內容】
[0006]本發明的目的在于克服上述不足,提供一種硅棒粘棒機,它大大方便了硅棒的粘棒過程,保證了硅棒與晶座的同軸度,從而提高了最終產品的質量和成材率。
[0007]本發明的目的是這樣實現的:一種硅棒粘棒機,它包括工作平臺,所述工作平臺上設置有晶座固定座,所述晶座固定座后方設置有前后兩個娃棒固定座,所述前后兩個娃棒固定座之間設置有兩個硅棒支撐墊。
[0008]所述晶座固定座包括底座,所述底座上設置有左右兩條第一滑軌,所述左右兩條第一滑軌上設置有滑座,所述滑座上設置有第一支座和第二支座,所述第一支座位于第二支座前方,所述第一支座和第二支座頂部開設有弧形支撐槽,所述第一支座上設置有壓塊,所述第一支座前側設置有固定支架,所述固定支架上設置有第一調節螺栓,所述左右兩條第一滑軌之間設置有第一螺桿支座,所述第一螺桿支座上穿裝有第一連接螺桿,所述第一連接螺桿前端設置有第一手輪,所述第一連接螺桿后端通過螺紋與滑座底部相連接。
[0009]所述第一滑軌前端設置有擋板。
[0010]所述硅棒固定座包括底板,所述底板上設置有豎直支撐板,所述豎直支撐板前側設置有上下兩條第二滑軌,所述上下兩條第二滑軌上左右對稱設置有兩個移動夾板,所述兩個移動夾板內側開設有弧形卡槽,所述上下兩條第二滑軌右側設置有第二螺桿支座,所述第二螺桿支座上穿裝有第二連接螺桿,所述第二連接螺桿左段設置有兩段反向螺紋,所述第二連接螺桿通過該兩段反向螺紋分別與左右兩個移動夾板相連接,所述第二連接螺桿右端設置有第二手輪,所述移動夾板后側開設有上下兩個滑槽,所述上下兩個滑槽分別位于弧形卡槽的上下兩側,所述上下兩個滑槽內設置有夾塊,所述夾塊外側設置有固定塊,所述固定塊上設置有第二調節螺栓,所述夾塊上沿水平方向開設有限位孔,所述限位孔內設置有限位螺栓。
[0011]所述硅棒支撐墊包括上下兩個弧形支撐墊,所述上下兩個弧形支撐墊相對布置,所述上下兩個弧形支撐墊之間設置有水平支撐墊。
[0012]與現有技術相比,本發明具有以下有益效果:
本發明一種硅棒粘棒機,它大大方便了硅棒的粘棒過程,保證了硅棒與晶座的同軸度,從而提尚了最終廣品的質量和成材率。
【附圖說明】
[0013]圖1為本發明一種硅棒粘棒機的結構示意圖。
[0014]圖2為圖1中硅棒固定座的局部示意圖。
[0015]其中:
工作平臺I 晶座固定座2 底座2.1 滑座2.2
第一滑軌2.3 擋板2.4 第一支座2.5 第二支座2.6 壓塊2.7 固定支架2.8 第一調節螺栓2.9 第一手輪2.10 第一螺桿支座2.11 第一連接螺桿2.12 娃棒固定座3 底板3.1 豎直支撐板3.2 第二螺桿支座3.3 第二滑軌3.4 第二連接螺桿3.5 第二手輪3.6 移動夾板3.7 滑槽3.8 固定塊3.9 夾塊3.10 限位孔3.11 限位螺栓3.12 第二調節螺栓3.13 娃棒支撐墊4 弧形支撐墊4.1 水平支撐墊4.2 晶座5 娃棒6。
【具體實施方式】
[0016]參見圖1、圖2,本發明一種硅棒粘棒機,它包括工作平臺1,所述工作平臺I上設置有晶座固定座2,所述晶座固定座2后方設置有前后兩個娃棒固定座3,所述前后兩個娃棒固定座3之間設置有兩個硅棒支撐墊4 ;
所述晶座固定座2包括底座2.1,所述底座2.1上設置有左右兩條第一滑軌2.3,所述左右兩條第一滑軌2.3上設置有滑座2.2,所述滑座2.2上設置有第一支座2.5和第二支座2.6,所述第一支座2.5位于第二支座2.6前方,所述第一支座2.5和第二支座2.6頂部開設有弧形支撐槽,所述第一支座2.5上設置有壓塊2.7,所述第一支座2.5前側設置有固定支架2.8,所述固定支架2.8上設置有第一調節螺栓2.9,所述左右兩條第一滑軌2.3之間設置有第一螺桿支座2.11,所述第一螺桿支座2.11上穿裝有第一連接螺桿2.12,所述第一連接螺桿2.12前端設置有第一手輪2.10,所述第一連接螺桿2.12后端通過螺紋與滑座
2.2底部相連接,所述第一滑軌2.3前端設置有擋板2.4 ;
所述硅棒固定座3包括底板3.1,所述底板3.1上設置有豎直支撐板3.2,所述豎直支撐板3.2前側設置有上下兩條第二滑軌3.4,所述上下兩條第二滑軌3.4上左右對稱設置有兩個移動夾板3.7,所述兩個移動夾板3.7內側開設有弧形卡槽,所述上下兩條第二滑軌
3.4右側設置有第二螺桿支座3.3,所述第二螺桿支座3.3上穿裝有第二連接螺桿3.5,所述第二連接螺桿3.5左段設置有兩段反向螺紋,所述第二連接螺桿3.5通過該兩段反向螺紋分別與左右兩個移動夾板3.7相連接,所述第二連接螺桿3.5右端設置有第二手輪3.6,通過第二手輪3.6轉動第二連接螺紋3.5可以實現左右兩個移動夾板3.7同時向內或向外移動,所述移動夾板3.7后側開設有上下兩個滑槽3.8,所述上下兩個滑槽3.8分別位于弧形卡槽的上下兩側,所述上下兩個滑槽3.8內設置有夾塊3.10,所述夾塊3.10外側設置有固定塊3.9,所述固定塊3.9上設置有第二調節螺栓3.13,所述夾塊3.10上沿水平方向開設有限位孔3.11,所述限位孔3.11內設置有限位螺栓3.12 ; 所述硅棒支撐墊4包括上下兩個弧形支撐墊4.1,所述上下兩個弧形支撐墊4.1相對布置,所述上下兩個弧形支撐墊4.1之間設置有水平支撐墊4.2。
【主權項】
1.一種硅棒粘棒機,其特征在于:它包括工作平臺(1),所述工作平臺(I)上設置有晶座固定座(2),所述晶座固定座(2)后方設置有前后兩個娃棒固定座(3),所述前后兩個娃棒固定座(3)之間設置有兩個娃棒支撐墊(4)。
2.根據權利要求1所述的一種硅棒粘棒機,其特征在于:所述晶座固定座(2)包括底座(2.1),所述底座(2.1)上設置有左右兩條第一滑軌(2.3),所述左右兩條第一滑軌(2.3)上設置有滑座(2.2),所述滑座(2.2)上設置有第一支座(2.5)和第二支座(2.6),所述第一支座(2.5)位于第二支座(2.6)前方,所述第一支座(2.5)和第二支座(2.6)頂部開設有弧形支撐槽,所述第一支座(2.5)上設置有壓塊(2.7),所述第一支座(2.5)前側設置有固定支架(2.8),所述固定支架(2.8)上設置有第一調節螺栓(2.9),所述左右兩條第一滑軌(2.3)之間設置有第一螺桿支座(2.11),所述第一螺桿支座(2.11)上穿裝有第一連接螺桿(2.12),所述第一連接螺桿(2.12)前端設置有第一手輪(2.10),所述第一連接螺桿(2.12)后端通過螺紋與滑座(2.2)底部相連接。
3.根據權利要求2所述的一種硅棒粘棒機,其特征在于:所述第一滑軌(2.3)前端設置有擋板(2.4)。
4.根據權利要求1所述的一種硅棒粘棒機,其特征在于:所述硅棒固定座(3)包括底板(3.1),所述底板(3.1)上設置有豎直支撐板(3.2),所述豎直支撐板(3.2)前側設置有上下兩條第二滑軌(3.4),所述上下兩條第二滑軌(3.4)上左右對稱設置有兩個移動夾板(3.7),所述兩個移動夾板(3.7)內側開設有弧形卡槽,所述上下兩條第二滑軌(3.4)右側設置有第二螺桿支座(3.3),所述第二螺桿支座(3.3)上穿裝有第二連接螺桿(3.5),所述第二連接螺桿(3.5)左段設置有兩段反向螺紋,所述第二連接螺桿(3.5)通過該兩段反向螺紋分別與左右兩個移動夾板(3.7)相連接,所述第二連接螺桿(3.5)右端設置有第二手輪(3.6),所述移動夾板(3.7)后側開設有上下兩個滑槽(3.8),所述上下兩個滑槽(3.8)分別位于弧形卡槽的上下兩側,所述上下兩個滑槽(3.8)內設置有夾塊(3.10),所述夾塊(3.10)外側設置有固定塊(3.9),所述固定塊(3.9)上設置有第二調節螺栓(3.13),所述夾塊(3.10)上沿水平方向開設有限位孔(3.11),所述限位孔(3.11)內設置有限位螺栓(3.12)。
5.根據權利要求1所述的一種硅棒粘棒機,其特征在于:所述硅棒支撐墊(4)包括上下兩個弧形支撐墊(4.1),所述上下兩個弧形支撐墊(4.1)相對布置,所述上下兩個弧形支撐墊(4.1)之間設置有水平支撐墊(4.2)。
【專利摘要】本發明涉及一種硅棒粘棒機,屬于多晶硅生產技術領域。它包括工作平臺(1),所述工作平臺(1)上設置有晶座固定座(2),所述晶座固定座(2)后方設置有前后兩個硅棒固定座(3),所述前后兩個硅棒固定座(3)之間設置有兩個硅棒支撐墊(4)。本發明一種硅棒粘棒機,它大大方便了硅棒的粘棒過程,保證了硅棒與晶座的同軸度,從而提高了最終產品的質量和成材率。
【IPC分類】C01B33-035
【公開號】CN104817086
【申請號】CN201510189887
【發明人】陳大春, 袁鄭堂, 薛榮國, 孫勇
【申請人】江陰東升新能源有限公司
【公開日】2015年8月5日
【申請日】2015年4月21日