Tft玻璃基板減薄環保蝕刻液及其減薄工藝的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及TFT玻璃基板減薄技術領域，特別是一種TFT玻璃基板減薄環保蝕刻 液及其減薄工藝。
【背景技術】
[0002] 目前移動終端輕薄化要求日益高漲，智能手機、平板電腦等新興消費類電子產品 的顯示屏往往只有0. 4mm-0. 6mm厚度。TFT設備很難處理0. 3mm以下的基板玻璃，而傳統 的TFT-般在0. 5mm左右，加上中間填充液晶一般達到I.Omm-1. 4mm左右，滿足顯示器件 輕薄化需求最經濟實惠的方法只能通過化學或物理方法進行玻璃減薄。行業內使用的TFT 玻璃基板薄化液主要成分為HF(氫氟酸）和純水、濃度在8% -15%之間，玻璃表面蝕刻效 果不佳，其表面劃傷被放大、凹點及凸點比較難以控制，且氫氟酸具有劇毒，生產過程對操 作員工的危害性較大，廢水、廢棄物處理困難，使用一到兩次之后，蝕刻液中會產生大量的 粘稠粉末體，影響蝕刻液的利用率，且氫氟酸具有劇毒，生產過程對操作員工危害性較大。
【發明內容】
[0003]本發明的目的在于提供一種毒性低、操作安全可靠的TFT玻璃基板減薄環保蝕刻 液及其減薄工藝。
[0004]本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：
[0005]TFT玻璃基板減薄環保蝕刻液是包括有氟化物、醋酸、鹽酸、無水乙醇、純水組成； 所述組份物重量百分比是：氟化物10% -20%、醋酸8% -12%、鹽酸4% -6%、無水乙醇 1% -3%、純水 57% -74%。
[0006]進一步的是所述氟化物是易溶水固態氟化物。
[0007]TFT玻璃基板減薄工藝是包括以下步驟：
[0008] 步驟1:配制環保蝕刻液，按重量百分比將氟化物10% -20%、醋酸8% -12%、 鹽酸4% -6%、無水乙醇1% -3%、純水57% -74%混合放置在蝕刻槽內，加熱到30-32攝 氏度。
[0009] 步驟2:對TFT玻璃基板進行外觀檢查；
[0010]步驟3:點膠封邊，用UV膠水對TFT玻璃基板四邊進行封邊處理，用UV固化機 固化UV膠水，清洗并去除邊緣溢膠；
[0011] 步驟4:對TFT玻璃基板表面進行清洗，放入槽內，用溫度為30度純水浸泡5分鐘， 去除玻璃表面異物；
[0012] 步驟5:用夾具把TFT玻璃基板放入上述配好蝕刻液的槽內，溫度加熱到30-32 度，對玻璃進行蝕刻1. 5-2. 5小時；
[0013] 步驟6:用夾具把蝕刻好的TFT玻璃基板放入清洗槽內，用純水進行清洗，放入第 一槽內，用溫度為30度純水浸泡10分鐘，再放入第二槽內用溫度為30度純水浸泡5分鐘， 再QC檢查、物理拋光，終檢包裝。
[0014] 進一步的是所述UV固化機能量為3000-6000mJ/cm2。
[0015] 進一步的是所述蝕刻液的槽內底部有用潔凈空氣將溶液循環攪動。
[0016] 本發明的積極效果：
[0017] 本發明TFT玻璃基板減薄環保蝕刻液及其減薄工藝，是用環保型玻璃蝕刻液替代 了目前傳統的HF(氫氟酸）蝕刻液，使用HF酸是有劇毒，本發明使用的是易溶水固態氟化 物，不是HF(氫氟酸），整個反應過程不含HF酸.大大降低了蝕刻液的毒性，生產員工操 作更加安全可靠，而且本發明新型環保蝕刻液在過濾后可以循環使用，對TFT品質要求具 有很大的改善，特別是對康寧玻璃（硼硅基材）在生產過程中出現的玻璃表面劃傷放大、凹 點及凸點具有明顯改善。
【附圖說明】
[0018] 圖1是根據本發明一種【具體實施方式】的工藝流程圖。
【具體實施方式】
[0019] 下面結合附圖對本發明做進一步詳細說明：
[0020] 本發明TFT玻璃基板減薄環保蝕刻液是包括有氟化物、醋酸、鹽酸、無水乙醇、純 水組成；所述組份物重量百分比是：氟化物10% -20%、醋酸8% -12%、、鹽酸4% -6%、 無水乙醇1% -3%、純水57% -74%。氟化物是易溶水固態氟化物。
[0021] 采用上述環保蝕刻液對TFT玻璃基板減薄的工藝是如圖1所示：
[0022] 步驟1:配制環保蝕刻液，按重量百分比將氟化物10% -20%、醋酸8% -12%、 鹽酸4% -6%、無水乙醇1% -3%、純水57% -74%混合放置在蝕刻槽內，加熱到30-32攝 氏度；
[0023] 步驟2:對TFT玻璃基板進行外觀檢查；
[0024] 步驟3:點膠封邊，用UV膠水對TFT玻璃基板四邊進行封邊處理，用UV固化機 固化UV膠水，清洗并去除邊緣溢膠；
[0025] 步驟4:對TFT玻璃基板表面進行清洗，放入槽內，用溫度為30度純水浸泡5分鐘， 去除玻璃表面異物；
[0026] 步驟5:用夾具把TFT玻璃基板放入上述配好蝕刻液的槽內，溫度加熱到30-32 度，對玻璃進行蝕刻1. 5-2. 5小時；
[0027] 步驟6:用夾具把蝕刻好的TFT玻璃基板放入清洗槽內，用純水進行清洗，放入第 一槽內，用溫度為30度純水浸泡10分鐘，再放入第二槽內用溫度為30度純水浸泡5分鐘， 再QC檢查，物理拋光，終檢包裝。
[0028] 使用的UV固化機能量為3000-6000mJ/cm2。在蝕刻液的槽內底部有用潔凈空氣 將溶液循環攪動。
[0029] 根據上述工藝步驟，調整蝕刻液組份物比例的實施例及效果：
[0030] 實施例一：氟化物10.5% -11. 5%、醋酸8% -9. 5%、鹽酸4. 2% -4. 8%、無水乙 醇 1% -2%、純水 71. 7% -76.8%。
[0031] 實施例二：氟化物12. 5% -14. 5%、醋酸9% -11%、鹽酸4. 2% -4. 8%、無水乙醇 1% -2%、純水：66. 8% -74%。
[0032] 實施例三：氟化物15% -17. 5%、醋酸9 % -11 %、、鹽酸6% -8 %無水乙醇 2% -3%、純水：67%。
[0033] 實施例四：氟化物18%-19%、醋酸10%-11%、鹽酸6%-8%無水乙醇2%-3%、 純水：66%。
[0034] 實施例五：氟化物20%、醋酸11 %、鹽酸8%、無水乙醇3%、純水：58%。
[0035]
【主權項】
1. 一種TFT玻璃基板減薄環保蝕刻液，其特征是包括有氟化物、醋酸、鹽酸、無水乙醇、 純水組成；所述組份物重量百分比是：氟化物10% -20%、醋酸8% -12%、鹽酸4% -6%、 無水乙醇1% -3%、純水57% -74%。
2. 根據權利要求1所述TFT玻璃基板減薄環保蝕刻液，其特征在于所述氟化物是易溶 水固態氟化物。
3. -種TFT玻璃基板減薄工藝，其特征是包括以下步驟： 步驟1:配制環保蝕刻液，按重量百分比將氟化物10% -20%、醋酸8% -12%、、鹽酸 4% -6%、無水乙醇1% -3%、純水57 % -74 %混合放置在蝕刻槽內，加熱到30-32攝氏度； 步驟2:對TFT玻璃基板進行外觀檢查； 步驟3:點膠封邊，用UV膠水對TFT玻璃基板四邊進行封邊處理，用UV固化機固化 UV膠水，清洗并去除邊緣溢膠； 步驟4:對TFT玻璃基板表面進行清洗，放入槽內，用溫度為30度純水浸泡5分鐘，去 除玻璃表面異物； 步驟5:用夾具把TFT玻璃基板放入上述配好蝕刻液的槽內，溫度加熱到30-32度，對 玻璃進行蝕刻1. 5-2. 5小時； 步驟6:用夾具把蝕刻好的TFT玻璃基板放入清洗槽內，用純水進行清洗，放入第一槽 內，用溫度為30度純水浸泡10分鐘，再放入第二槽內用溫度為30度純水浸泡5分鐘，再QC 檢查、物理拋光，終檢包裝。
4. 根據權利要求3所述TFT玻璃基板減薄環保蝕刻工藝，其特征在于所述UV固化機能 量為 3000-6000mJ/ cm2。
5. 根據權利要求3所述TFT玻璃基板減薄環保蝕刻工藝，其特征在于所述蝕刻液的槽 內底部有用潔凈空氣將溶液循環攪動。
【專利摘要】本發明涉及一種TFT玻璃基板減薄環保蝕刻液及其減薄工藝。TFT玻璃基板減薄環保蝕刻液包括有氟化物、醋酸、鹽酸、無水乙醇、純水組成；TFT玻璃基板減薄工藝是：配制環保蝕刻液；對TFT玻璃基板進行外觀檢查；點膠封邊；對TFT玻璃基板表面進行清洗；對玻璃進行蝕刻；蝕刻后清洗，檢查、包裝。發明是用環保型玻璃蝕刻液替代了傳統的HF(氫氟酸)蝕刻液，降低了蝕刻液的毒性，操作更加安全可靠，而且蝕刻液在過濾后可以循環使用，對TFT品質要求具有很大的改善，特別是對康寧玻璃(硼硅基材)在生產過程中出現的玻璃表面劃傷放大、凹點及凸點具有明顯改善。
【IPC分類】C03C15-00
【公開號】CN104556717
【申請號】CN201510054554
【發明人】張小瓊
【申請人】張小瓊
【公開日】2015年4月29日
【申請日】2015年2月3日