抑制三銀玻璃放電的裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明屬于玻璃深加工技術領域，尤其是涉及一種抑制三銀玻璃放電的裝置。
【背景技術】
[0002]在普通的鍍膜玻璃生產中，生產大板玻璃和三銀夾層玻璃時極易出現玻璃放電現象，出現放電現象后在玻璃表面形成一種放電的痕跡，出現此放電痕跡后會造成此片鍍膜玻璃報廢，如果是夾層玻璃會造成很大成本的浪費，給工廠帶來很大的損失。
[0003]目前解決常規放電問題的方法有輥道絕緣，針對平面靶使用直流脈沖電源等方法，輥道絕緣法就是在換靶時通過清潔輥道濺射物，更換絕緣不良的軸承，以及更換輥道等辦法。但做完絕緣后當時測量絕緣正常，生產一段時間后沒有到一個換靶周期就會出現絕緣不良現象，導致放電現象復發。平面靶使用直流脈沖電源是將原平面靶使用的直流電源輸出電壓由穩定的直流輸出變成脈動的方波形狀，減小玻璃表面膜層電位與腔室的電位差，從而減少放電現象的產生。但從實際情況看，抑制放電的效果并不理想，而且不適用于除平面靶之外的其他靶。
【發明內容】
[0004]針對鍍膜玻璃生產過程中放電問題，本發明提供一種抑制三銀玻璃放電的裝置。
[0005]為解決上述技術問題，本發明采用的技術方案是:
[0006]抑制三銀玻璃放電的裝置，包括兩組并聯在中頻電源輸出端的二極管整流單元，每組二極管整流單元包括依次串聯的若干二極管并聯單元，每個二極管并聯單元包括兩個并聯的大功率的二極管和二極管兩端并聯的一電阻和一電容；
[0007]兩組二極管整流單元的陽極分別連接兩個旋轉靶的旋轉陰極，二極管整流單元的陰極接地。
[0008]優選的，所述兩組二極管整流單元的二極管均安裝在內部含有冷卻水道的鋁板上，所述鋁板的冷卻水道連接在冷卻水管上，所述鋁板安裝在一箱體內。
[0009]優選的，每組所述二極管整流單元包含四個二極管并聯單元。
[0010]本發明具有的優點和積極效果是:
[0011]減少三銀夾層鍍膜產品的放電，抑制放電效果明顯，提高產品成品率，從而降低生產成本；
[0012]二極管箱結構簡單，制作成本低，安裝方便，不需要增加任何控制系統，使用方便。
【附圖說明】
[0013]圖1是本發明的電路原理圖；
[0014]圖2是本發明中頻電源的輸出波形；
[0015]圖3是本發明并接二極管箱后的輸出波形；
[0016]圖4是不加二極管箱時打弧的電壓圖；
[0017]圖5是加二極管箱后打弧的電壓圖。
【具體實施方式】
[0018]下面結合附圖對本發明的具體實施例做詳細說明。
[0019]本發明是在現有的玻璃深加工技術上為避免工藝缺陷的背景下產生的，具體是由于生產三銀鍍膜玻璃時出現在玻璃表面的膜層下放電的現象，造成玻璃報廢。放電現象一般發生在玻璃的邊緣部位，在膜層間形成放射狀的放電痕跡，出現玻璃放電后會造成玻璃報廢，尤其生產三銀夾層產品時由于放電造成玻璃報廢，造成很嚴重的成本損失。
[0020]為解決上述問題，本發明提供的技術方案是抑制三銀玻璃放電的裝置，如圖1所示，包括兩組并聯在中頻電源輸出端的二極管整流單元，每組二極管整流單元包括依次串聯的若干二極管并聯單元，每個二極管并聯單元包括兩個并聯的大功率的二極管和二極管兩端并聯的一電阻和一電容，并聯的電阻和電容起濾波作用；
[0021]兩組二極管整流單元的陽極分別連接兩個旋轉靶的旋轉陰極，二極管整流單元的陰極接地；如圖2所示為中頻電源的輸出波形，圖3為中頻電源并接二極管箱后的輸出波形。
[0022]為了減少二極管產生的熱量，所述兩組二極管整流單元的二極管均安裝在內部含有冷卻水道的鋁板上，所述鋁板的冷卻水道連接在冷卻水管上，所述鋁板安裝在一箱體內。
[0023]為了達到更好的抑制放電效果，每組所述二極管整流單元包含四個二極管并聯單
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[0024]生產三銀產品時不同膜層(導電介質層和非導電介質層)之間形成了一個電容，增加二極管箱的主要作用是減少相鄰平面靶與旋轉靶之間的電勢差，從而減少玻璃膜層間的電壓差，起到減少放電的作用，從而減少放電現象的產生。生產三銀產品時共使用兩個二極管箱，放在第三層銀前面和后面的旋轉靶上試驗，使用二極管箱前后打弧的電壓效果分別如圖4、5所示，使用二極管箱前生產三銀夾層產品的放電比例為50%左右，安裝二極管箱后生產同樣產品時放電比例可減小到5%左右。提高了成品率，提高了生產效率，降低了生產成本。
[0025]以上對本發明的一個實施例進行了詳細說明，但所述內容僅為本發明的較佳實施例，不能被認為用于限定本發明的實施范圍。凡依本發明申請范圍所作的均等變化與改進等，均應仍歸屬于本發明的專利涵蓋范圍之內。
【主權項】
1.抑制三銀玻璃放電的裝置，其特征在于:包括兩組并聯在中頻電源輸出端的二極管整流單元，每組二極管整流單元包括依次串聯的若干二極管并聯單元，每個二極管并聯單元包括兩個并聯的大功率的二極管和二極管兩端并聯的一電阻和一電容； 兩組二極管整流單元的陽極分別連接兩個旋轉靶的旋轉陰極，二極管整流單元的陰極接地。
2.根據權利要求1所述的抑制三銀玻璃放電的裝置，其特征在于:所述兩組二極管整流單元的二極管均安裝在內部含有冷卻水道的鋁板上，所述鋁板的冷卻水道連接在冷卻水管上，所述鋁板安裝在一箱體內。
3.根據權利要求1或2所述的抑制三銀玻璃放電的裝置，其特征在于:每組所述二極管整流單元包含四個二極管并聯單元。
【專利摘要】本發明提供抑制三銀玻璃放電的裝置，包括兩組并聯在中頻電源輸出端的二極管整流單元，每組二極管整流單元包括依次串聯的若干二極管并聯單元，每個二極管并聯單元包括兩個并聯的大功率的二極管和二極管兩端并聯的一電阻和一電容；兩組二極管整流單元的陽極分別連接兩個旋轉靶的陰極，二極管整流單元的陰極接地。本發明具有的優點和積極效果是：減少三銀夾層鍍膜產品的放電，抑制放電效果明顯，提高產品成品率，從而降低生產成本；二極管箱結構簡單，制作成本低，安裝方便，不需要增加任何控制系統，使用方便。
【IPC分類】C03C17-00
【公開號】CN104529179
【申請號】CN201410606933
【發明人】彭立群, 王爍, 齊士新, 王健
【申請人】天津南玻節能玻璃有限公司
【公開日】2015年4月22日
【申請日】2014年10月31日