氬氣純化裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種氬氣純化裝置，它涉及一種氣體生產裝置。它包括吸氣劑純化器、氣氣換熱器、電熱加熱器、氣水換熱器、低溫儲罐、室溫汽化器和減壓裝置，吸氣劑純化器分別與氣氣換熱器、電熱加熱器相連，氣氣換熱器分別與氣水換熱器和減壓裝置相連，減壓裝置通過室溫汽化器與低溫儲罐相連。本實用新型結構簡單，操作方便，能夠生產出高純度的氬氣，實用性強。
【專利說明】氬氣純化裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及的是一種氣體生產裝置，具體涉及一種氬氣純化裝置。
【背景技術】
[0002]氬氣是一種稀有氣體，空氣中的氬含量約占0.932% (體積)，它廣泛應用于冶金、化工、電子等行業。隨著經濟的發展和科學技術的進步，氬氣已成為一種重要的工業氣體，其應用范圍得到不斷擴大，對其質量的要求也越來越高，促進了氬氣生產技術的發展。傳統的氬氣純化裝置存在一些缺陷:不能快速高效地進行氬氣純化，純化效果不佳，操作不便。
實用新型內容
[0003]針對現有技術上存在的不足，本實用新型目的是在于提供一種氬氣純化裝置，結構簡單，操作方便，能夠生產出高純度的氬氣，實用性強。
[0004]為了實現上述目的，本實用新型是通過如下的技術方案來實現:氬氣純化裝置，包括吸氣劑純化器、氣氣換熱器、電熱加熱器、氣水換熱器、低溫儲罐、室溫汽化器和減壓裝置，吸氣劑純化器分別與氣氣換熱器、電熱加熱器相連，氣氣換熱器分別與氣水換熱器和減壓裝置相連，減壓裝置通過室溫汽化器與低溫儲罐相連。
[0005]作為優選，所述的氣水換熱器還與冷卻循環水裝置相連。
[0006]作為優選，所述的低溫儲罐還與吸附干燥器相連，能夠對氬氣進行深度脫水。
[0007]本實用新型結構簡單，操作方便，能夠生產出高純度的氬氣，實用性強。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0008]下面結合附圖和【具體實施方式】來詳細說明本實用新型；
[0009]圖1為本實用新型的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0010]為使本實用新型實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合【具體實施方式】，進一步闡述本實用新型。
[0011]參照圖1，本【具體實施方式】采用以下技術方案:氬氣純化裝置，包括吸氣劑純化器
1、氣氣換熱器2、電熱加熱器3、氣水換熱器4、低溫儲罐5、室溫汽化器6和減壓裝置7，吸氣劑純化器I分別與氣氣換熱器2、電熱加熱器3相連，氣氣換熱器2分別與氣水換熱器4和減壓裝置7相連，減壓裝置7通過室溫汽化器6與低溫儲罐5相連。
[0012]值得注意的是，所述的氣水換熱器4還與冷卻循環水裝置相連。
[0013]此外，所述的低溫儲罐5還與吸附干燥器相連，能夠對氬氣進行深度脫水。
[0014]本【具體實施方式】的工作原理:采用催化反應法和金屬吸氣法，當僅僅=除去氬氣中的氧氣、二氧化碳、水雜質等，可采用催化吸附法，可提純到ppm-ppb級的要求，若需要除去氬氣中的氮氣、THC時，采用金屬吸氣劑，采用本【具體實施方式】的裝置可以將這些雜質全部去除，從而得到高純度氬氣。
[0015]本【具體實施方式】可以區熔晶硅爐配套使用于激光器、濺射、半導體生產，氣象色譜儀、特殊燈泡稀有金屬加工等需要用高純氬氣的生產【技術領域】。
[0016]以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優點。本行業的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。
【權利要求】
1.氬氣純化裝置，其特征在于，包括吸氣劑純化器(I)、氣氣換熱器(2)、電熱加熱器(3)、氣水換熱器(4)、低溫儲罐(5)、室溫汽化器(6)和減壓裝置(7)，吸氣劑純化器(I)分別與氣氣換熱器(2)、電熱加熱器(3)相連，氣氣換熱器(2)分別與氣水換熱器(4)和減壓裝置(7)相連，減壓裝置(7)通過室溫汽化器(6)與低溫儲罐(5)相連。
2.根據權利要求1所述的氬氣純化裝置，其特征在于，所述的氣水換熱器(4)還與冷卻循環水裝置相連。
3.根據權利要求1所述的氬氣純化裝置，其特征在于，所述的低溫儲罐(5)還與吸附干燥器相連。
【文檔編號】C01B23/00GK203922729SQ201420172040
【公開日】2014年11月5日 申請日期:2014年4月10日 優先權日:2014年4月10日
【發明者】王紹洋 申請人:天津博利明科技有限公司