專利名稱：還原爐啟動電源裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種多晶硅生產中還原爐啟動電源裝置。
背景技術：
目前原生多晶硅的生產主要還是采用改良西門子法用氫還原三氯氫硅的方式生產多晶硅。三氯氫硅還原在超低碳的不銹鋼或鎳基合金制成的水冷爐壁還原爐內，用氫將三氯氫硅還原成硅。爐內有不透明的石英鐘罩和用細硅芯或鉭管制成的發熱體。細硅芯是用超純硅在特制的硅芯爐內制成。在進行化學氣相沉積之前，由于硅在常溫時電阻率很高，因此硅芯必須在石英罩外用電阻加熱至300°C或用幾千伏的高壓電啟動。經過提純的氫氣在揮發器將三氯氫硅自爐底帶入爐內，于110(TC左右進行還原反應，使硅沉積在發熱體上。基于上述工藝可知，多晶硅生產首先需要啟動，然后再進行還原生長。目前從行業實際應用情況來看，還原生長方法的差異主要在于電氣技術上，而還原啟動方法的差異較大。 由于硅在常溫時電阻率很高，不易導通，業內多晶硅生產廠家常采用①石墨加熱、②等離子加熱、③鹵素燈加熱等外加熱方式，將還原爐爐溫加熱至300°C左右，還原電源輸出中壓， 使硅芯導通，完成啟動過程，然后繼續加熱進行化學氣相沉積，完成還原生長。但以上啟動方案或多或少存在操作麻煩、起動時間長、效率低、啟動成功率低、影響硅純度、還原設備復雜等弊端。發明內容本實用新型的目是是針對現有技術的不足，提供一種新的還原爐啟動電源裝置。本實用新型的構造包括中央控制器、手動開關、飽和電抗器、變壓器、倒級開關、 硅棒、變壓器原邊電流檢測裝置、變壓器原邊電壓檢測裝置、硅棒電流檢測裝置。手動開關、飽和電抗器、變壓器、倒級開關、硅棒依次連接，手動開關與電源接通， 飽和電抗器、倒級開關與中央控制器連接，變壓器原邊電壓檢測裝置與變壓器連接，變壓器電流檢測裝置與手動開關和飽和電抗器的連線相接，硅棒電流檢測裝置與倒級開關和硅棒的連線相接。本實用新型的有益效果是本實用新型是采用幾千伏的高壓電啟動方式，由于是讓硅棒自身發熱，從而使其發熱內外上下均勻、快速，同時可縮短啟動時間、提高啟動效率和成功率、減小還原電氣設備復雜程度。高壓啟動方式具有先天優勢，對于高品質的多晶硅生產本實用新型是一種最優選擇。
附圖1本實用新型的方框示意圖。
具體實施方式
本實用新型由中央控制器、手動開關、飽和電抗器、變壓器、倒級開關、硅棒、變壓器原邊電流檢測裝置、變壓器原邊電壓檢測裝置、硅棒電流檢測裝置組成。手動開關、飽和電抗器、變壓器、倒級開關、硅棒依次連接，手動開關與電源接通，飽和電抗器、倒級開關與中央控制器連接，變壓器原邊電壓檢測裝置與變壓器連接，變壓器電流檢測裝置與手動開關和飽和電抗器的連線相接，硅棒電流檢測裝置與倒級開關和硅棒的連線相接。
權利要求1. 一種還原爐啟動電源裝置，其特征是所述裝置由中央控制器、手動開關、飽和電抗器、變壓器、倒級開關、硅棒、變壓器原邊電流檢測裝置、變壓器原邊電壓檢測裝置、硅棒電流檢測裝置組成；手動開關、飽和電抗器、變壓器、倒級開關、硅棒依次連接，手動開關與電源接通，飽和電抗器、倒級開關與中央控制器連接，變壓器原邊電壓檢測裝置與變壓器連接，變壓器電流檢測裝置與手動開關和飽和電抗器的連線相接，硅棒電流檢測裝置與倒級開關和硅棒的連線相接。
專利摘要一種還原爐啟動電源裝置，由中央控制器、手動開關、飽和電抗器、變壓器、倒級開關、硅棒、變壓器原邊電流檢測裝置、變壓器原邊電壓檢測裝置、硅棒電流檢測裝置組成。手動開關、飽和電抗器、變壓器、倒級開關、硅棒依次連接，手動開關與電源接通，飽和電抗器、倒級開關與中央控制器連接，變壓器原邊電壓檢測裝置與變壓器連接，變壓器電流檢測裝置與手動開關和飽和電抗器的連線相接，硅棒電流檢測裝置與倒級開關和硅棒的連線相接。該裝置是高品質多晶硅生產的最優選擇。
文檔編號C01B33/035GK202226675SQ20112037423
公開日2012年5月23日 申請日期2011年9月30日 優先權日2011年9月30日
發明者陶剛義 申請人:江西晶大半導體材料有限公司