專利名稱：一種分離石英坩堝片和氮化硅的裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及光伏或半導體領域中的一種分離石英坩堝片和氮化硅的裝置，經 該裝置處理分離后得到的氮化硅經過簡單處理后可再次作為石英坩堝涂層的制備原料，當 然也可以用做其他用途，分離得到的石英坩堝片也可進行再利用。
背景技術：
在多晶硅鑄造過程中，由于制備工藝需要，在石英坩堝表面涂覆高純氮化硅涂層， 在完成多晶硅鑄造后，該氮化硅涂層回收后可以進行重復利用，但是由于坩堝壁上的氮化 硅涂層由于經過高溫烘烤和鑄錠的高溫燒結，氮化硅粉體和石英坩堝緊緊地結合在一起， 很難將氮化硅粉體和石英坩堝分離開。目前光伏企業對于這些粘附有氮化硅的石英坩堝片 都是作為廢棄物處理的，而由于高純氮化硅粉體的價格昂貴，所以找到一種裝置來實現氮 化硅粉體和石英坩堝片的分離是非常有意義的。
發明內容本實用新型要解決的技術問題是提供一種分離石英坩堝和氮化硅的裝置，該裝置 實現了石英坩堝和氮化硅的高效分離。本實用新型的技術方案為一種分離石英坩堝片和氮化硅的裝置，包括操作臺，其中操作臺上方設有一個或 若干個高壓噴槍，高壓噴槍通過管道與外界連接，操作臺下方設有容器。本實用新型中的噴槍為高壓噴槍，通過高壓噴槍噴出高壓水。本實用新型中的操作臺主要是用來放置待分離的粘附有氮化硅的石英坩堝片，為 了進一步提高分離效率，操作臺可以設置為具有自動傳輸功能，當操作臺將待分離的粘附 有氮化硅的石英坩堝片傳輸至高壓噴槍正下方處，高壓噴槍噴出高壓水對待分離的粘附有 氮化硅的石英坩堝片進行沖擊，氮化硅粉體會從石英坩堝片上脫落下來，并落入位于操作 臺下方的容器中。容器用來盛裝沉降分離得到的氮化硅粉體。一種分離石英坩堝片和氮化硅的裝置，其中為了節約水的利用，還設有循環管 道，容器通過循環管道與高壓噴槍連接，容器中的水可以通過循環管道運送至高壓噴槍處 提供高壓水。一種分離石英坩堝片和氮化硅的裝置，其中為了將容器中的水進行循環利用以 及促進氮化硅的沉降效果，容器可以采用分級式的，其中容器由若干個容器單元組成，上一 級容器單元的出口與下一級的容器單元的進口通過連接裝置連接。一種分離石英坩堝片和氮化硅的裝置，其中終級容器單元通過循環管道與高壓 噴槍連接。本實用新型的優點實現了石英坩堝片和氮化硅的高效率分離，同時本實用新型 的制備以及使用成本低，非常適合在生產中進行推廣應用。
附圖1是本實用新型的結構示意圖。附圖2是本實用新型實施例2的結構示意圖。附圖3是本實用新型實施例4使用狀態的結構示意圖。附圖4是本實用新型實施例6的結構示意圖。附圖標記高壓噴槍1、操作臺2、容器3、管道4、循環管道5、粘附有氮化硅的石英 坩堝片6、石英坩堝片7、氮化硅粉體8、高壓水9、連接裝置10。
具體實施方式
實施例1、一種分離石英坩堝片和氮化硅的裝置，包括操作臺2，其中操作臺2上 方設有一個或若干個高壓噴槍1，高壓噴槍1通過管道4與外界連接，操作臺2下方設有具 有容器3。實施例2、一種分離石英坩堝片和氮化硅的裝置，其中還設有循環管道5，容器3 通過循環管道5與高壓噴槍1連接。其余同實施例1。實施例3、一種分離石英坩堝片和氮化硅的裝置，其中操作臺2具有自動傳輸功 能。其余同實施例1。實施例4、一種分離石英坩堝片和氮化硅的裝置，其中操作臺2具有自動傳輸功 能。其余同實施例2。實施例5、一種分離石英坩堝片和氮化硅的裝置，其中容器3可以采用分級式的， 其中容器3由若干個容器單元組成，上一級容器單元的出口與下一級的容器單元的進口通 過連接裝置10連接。其余同實施例1-4中的任意一種實施例。實施例6、一種分離石英坩堝片和氮化硅的裝置，其中終級容器單元通過循環管 道5與高壓噴槍1連接。其余同實施例2、實施例4或實施例5。結合實施例解釋工作原理待分離的粘附有氮化硅的石英坩堝片6放置在操作臺 2上，位于操作臺2上方的高壓噴槍1噴出高壓水9對待分離的粘附有氮化硅的石英坩堝片 6進行沖擊，氮化硅粉體8會從石英坩堝片6上脫落下來，并與水一同落入位于操作臺2下 方的具有一定體積的容器3中，氮化硅粉體8從粘附有氮化硅的石英坩堝片6分離后，粘附 有氮化硅的石英坩堝片6變為石英坩堝片7，石英坩堝片7可以進行收集后進行再利用；循 環管道5的設置可以實現將容器3中的水運輸到高壓噴槍1處進行循環利用。實施效果本實用新型完全實現了石英坩堝片和氮化硅粉體的有效分離，分離效 果好，且分離速度快。
權利要求一種分離石英坩堝片和氮化硅的裝置，包括操作臺(2)，其特征在于操作臺(2)上方設有一個或若干個高壓噴槍(1)，高壓噴槍(1)通過管道(4)與外界連接，操作臺(2)下方設有具有容器(3)。
2.如權利要求1所述的一種分離石英坩堝片和氮化硅的裝置，其特征在于還設有循 環管道(5)，容器(3)通過循環管道(5)與高壓噴槍(1)連接。
3.如權利要求1所述的一種分離石英坩堝片和氮化硅的裝置，其特征在于容器(3) 為分級式，容器(3)由若干個容器單元組成，上一級容器單元的出口與下一級的容器單元 的進口通過連接裝置(10)連接。
4.如權利要求2或3所述的一種分離石英坩堝片和氮化硅的裝置，其特征在于終級 容器單元通過循環管道(5)與高壓噴槍(1)連接。
專利摘要本實用新型涉及光伏或半導體領域中的一種分離石英坩堝片和氮化硅的裝置，分離得到的氮化硅經過簡單處理后可再次作為石英坩堝涂層的制備原料，當然也可以用做其他用途，分離得到的石英坩堝片也可進行再利用；該裝置包括操作臺2，其中操作臺2上方設有一個或若干個高壓噴槍1，高壓噴槍1通過管道4與外界連接，操作臺2下方設有具有容器3；本實用新型實現了石英坩堝片和氮化硅的高效率分離，同時本實用新型的制備以及使用成本低，非常適合在生產中進行推廣應用。
文檔編號C01B33/021GK201704073SQ201020174029
公開日2011年1月12日 申請日期2010年4月27日 優先權日2010年4月27日
發明者呂東, 張軍彥, 張濤, 胡動力 申請人:江西賽維Ldk太陽能高科技有限公司