一種防止硅芯斷損的升降裝置制造方法

專利名稱:一種防止硅芯斷損的升降裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種防止硅芯斷損的升降裝置，其包括依次相連的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、齒輪機(jī)構(gòu)、升降機(jī)構(gòu)和托盤(pán)，托盤(pán)支撐在升降機(jī)構(gòu)上，齒輪機(jī)構(gòu)在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)，升降機(jī)構(gòu)能夠?qū)X輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)中的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為直線運(yùn)動(dòng)，以使托盤(pán)在升降機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下作升降運(yùn)動(dòng)。該升降裝置的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，且使用方便、制作成本低、且使用時(shí)不會(huì)影響硅芯的正常生產(chǎn)。
【專利說(shuō)明】一種防止硅芯斷損的升降裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于硅芯制備【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種防止硅芯斷損的升降裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]近年來(lái)，由于硅芯生產(chǎn)的多元化，硅芯制備通常采用區(qū)熔法。由于硅是半導(dǎo)體材料，具有溫度越高，電阻越低的負(fù)阻效應(yīng)。區(qū)熔法拉制的硅芯用于多晶硅生產(chǎn)載體，適用于還原爐內(nèi)加熱后或高壓擊穿后生長(zhǎng)多晶硅。硅芯的生產(chǎn)工藝從最早的一次拉制一根的一爐次工藝，發(fā)展到現(xiàn)在一爐次能夠拉制十多根，生產(chǎn)效率大大提高，但是區(qū)熔法生產(chǎn)硅芯時(shí)對(duì)操作要求較高，多根硅芯拉制工藝完全實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制較困難。而硅芯的直徑范圍為7-10mm，目前存在操作者勞動(dòng)強(qiáng)度大的問(wèn)題，并且在拉制完成以后，從上爐室剪制的過(guò)程中，由于時(shí)間原因而導(dǎo)致硅芯的整體溫度仍然比較高，同時(shí)硅芯又是一種易斷、易碎產(chǎn)品，其長(zhǎng)度在2500-2800mm之間，因此經(jīng)常發(fā)生硅芯掉落事件，導(dǎo)致成品硅芯斷損率高，造成成本的浪費(fèi)。
[0003]目前主要是采用升降裝置來(lái)避免硅芯掉落，以希望把硅芯斷損損耗降到最低?，F(xiàn)有的升降裝置主要存在以下問(wèn)題:
[0004]第一，升降裝置通過(guò)液壓傳動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)控制。然而液壓傳動(dòng)方式需要利用液壓油，但硅芯爐室內(nèi)通常不能出現(xiàn)油類的物質(zhì)，這樣就會(huì)使拉制出的硅芯出現(xiàn)不合格的現(xiàn)象，從而提高了硅芯的造價(jià)，使得成本高。
[0005]第二，現(xiàn)有的升降裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，且不易操作，更重要的是，不能很好的保護(hù)拉制成的娃芯。
[0006]由于硅芯掉落而導(dǎo)致的硅芯斷損的數(shù)目非常嚴(yán)重，每年因硅芯斷損而導(dǎo)致的損失數(shù)量巨大，在多晶硅生產(chǎn)企業(yè)中，接近80%的企業(yè)還在采用硅芯當(dāng)載體來(lái)生產(chǎn)多晶硅，因此對(duì)整個(gè)行業(yè)來(lái)說(shuō)硅芯成品后的斷損率是不能被忽視的。因此，亟需一種升降裝置，以解決上述技術(shù)問(wèn)題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0007]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述不足，提供一種不需要采用液壓油，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、便于操作的防止硅芯斷損的升降裝置。
[0008]解決本實(shí)用新型技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是該防止硅芯斷損的升降裝置包括依次相連的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、齒輪機(jī)構(gòu)、升降機(jī)構(gòu)和托盤(pán)，托盤(pán)支撐在升降機(jī)構(gòu)上，齒輪機(jī)構(gòu)在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)，升降機(jī)構(gòu)能夠?qū)X輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)中的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為直線運(yùn)動(dòng)，以使托盤(pán)在升降機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下作升降運(yùn)動(dòng)。
[0009]優(yōu)選的是，所述升降機(jī)構(gòu)包括內(nèi)螺紋管、螺桿和防旋轉(zhuǎn)管，所述內(nèi)螺紋管與齒輪機(jī)構(gòu)的輸出端相連，所述螺桿設(shè)于內(nèi)螺紋管內(nèi)部并與內(nèi)螺紋管螺紋連接，螺桿的下端為棱柱結(jié)構(gòu)，所述防旋轉(zhuǎn)管套設(shè)在螺桿下端的棱柱結(jié)構(gòu)上，以使得螺桿無(wú)法隨內(nèi)螺紋管轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0010]優(yōu)選的是，所述螺桿下端的棱柱結(jié)構(gòu)為六棱柱，相應(yīng)地，防旋轉(zhuǎn)管采用六角管。
[0011]優(yōu)選的是，所述齒輪機(jī)構(gòu)包括大錐齒輪和與大錐齒輪嚙合的小錐齒輪，所述大錐齒輪的輸入端與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，小錐齒輪與內(nèi)螺紋管連接。
[0012]優(yōu)選的是，所述大錐齒輪的齒數(shù)大于小錐齒輪的齒數(shù)。
[0013]優(yōu)選的是，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用手動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，該手動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)軸和手柄，大錐齒輪固設(shè)在轉(zhuǎn)軸上，手柄與轉(zhuǎn)軸的一端連接。
[0014]優(yōu)選的是，所述托盤(pán)的形狀與硅芯爐的內(nèi)部形狀相適配。
[0015]優(yōu)選的是，該裝置還包括緩沖面板，緩沖面板設(shè)置在托盤(pán)上，緩沖面板采用防燙、有彈性的材料制成。
[0016]優(yōu)選的是，所述緩沖面板采用高溫玻璃棉氈或海綿制成。
[0017]本實(shí)用新型升降裝置的有益效果是:由于該升降裝置不需要采用液壓油，而是用硅脂來(lái)潤(rùn)滑，不會(huì)污染爐室而達(dá)到高純衛(wèi)生的要求，即可以解決硅芯爐中的衛(wèi)生問(wèn)題，避免不合格品的出現(xiàn)；該升降裝置通過(guò)手動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)手動(dòng)調(diào)節(jié)托盤(pán)的高度，從而可解決因不同類型的硅芯爐的高度不一的問(wèn)題，也可以避免因硅芯爐內(nèi)部的支撐支架高度不夠而無(wú)法使用的現(xiàn)象，因而可適用于現(xiàn)有的硅芯生產(chǎn)的一芯爐、三芯爐、五芯爐、六芯爐、七芯爐等一系列的硅芯拉制設(shè)備中(根據(jù)尺寸大小可適當(dāng)調(diào)節(jié)裝置的高度)，并能夠很好地保護(hù)線圈及硅芯的完好，使硅芯的斷損率降到最低；通過(guò)在托盤(pán)上安置緩沖面板，硅芯在下落過(guò)程中，與緩沖面板形成軟性碰撞，形成緩沖的效果，因而可以保護(hù)硅芯，以避免硅芯發(fā)生斷損。
[0018]該升降裝置的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，且使用方便、制作成本低、且使用時(shí)不會(huì)影響硅芯的正常生產(chǎn)。

【附圖說(shuō)明】

[0019]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例1中防止硅芯斷損的升降裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例1中防止硅芯斷損的升降裝置的立體圖；
[0021]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例1中防止硅芯斷損的升降裝置在硅芯爐內(nèi)部的安裝位置圖。
[0022]圖中:1-托盤(pán)；2_內(nèi)螺紋管；3-軸承；4_小維齒輪；5_大維齒輪；6_手柄；7_轉(zhuǎn)軸；8-軸承；9-螺母；10_螺栓；11_機(jī)箱；12-安裝座；13-防旋轉(zhuǎn)管；14_螺桿；15_支架；16-底座；17-硅芯爐；18-緩沖面板。

【具體實(shí)施方式】
[0023]下面將結(jié)合本實(shí)用新型中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整的描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0024]本實(shí)用新型防止硅芯斷損的升降裝置包括依次相連的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、齒輪機(jī)構(gòu)、升降機(jī)構(gòu)和托盤(pán)，托盤(pán)支撐在升降機(jī)構(gòu)上，齒輪機(jī)構(gòu)在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)，升降機(jī)構(gòu)能夠?qū)X輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)中的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為直線運(yùn)動(dòng)，以使托盤(pán)在升降機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下作升降運(yùn)動(dòng)。
[0025]以下結(jié)合實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0026]實(shí)施例1:
[0027]如圖1、2所示，本實(shí)施例中，該防止硅芯斷損的升降裝置包括機(jī)座，還包括依次相連的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、齒輪機(jī)構(gòu)、升降機(jī)構(gòu)和托盤(pán)1，托盤(pán)支撐在升降機(jī)構(gòu)上，齒輪機(jī)構(gòu)在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)，升降機(jī)構(gòu)能夠?qū)X輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)中的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為直線運(yùn)動(dòng)，以使托盤(pán)I在升降機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下作升降運(yùn)動(dòng)。
[0028]其中，機(jī)座包括底座16、支架15和機(jī)箱11。所述齒輪機(jī)構(gòu)設(shè)于機(jī)箱11內(nèi)。本實(shí)施例中，具體地，底座16為圓形底座，支架15包括三根支撐桿，三根支撐桿均設(shè)在底座16上，機(jī)箱11安裝在安裝座12上，安裝座12安裝在三根支撐桿的上端。
[0029]本實(shí)施例中，支架中的三根支撐桿根據(jù)現(xiàn)在三點(diǎn)定位原理能夠起到很好的穩(wěn)固作用，且拆卸和安裝都極為方便。
[0030]優(yōu)選地，本實(shí)施例中，所述升降機(jī)構(gòu)包括內(nèi)螺紋管2、螺桿14和防旋轉(zhuǎn)管13，螺桿14的上部設(shè)有外螺紋，螺桿的下部為六棱柱結(jié)構(gòu)，螺桿的上部安裝在內(nèi)螺紋管內(nèi)并與內(nèi)螺紋管2之間螺紋連接，防旋轉(zhuǎn)管13為六角管，防旋轉(zhuǎn)管13套設(shè)在螺桿下部的六棱柱結(jié)構(gòu)上，以用于約束螺桿14，使螺桿14無(wú)法隨內(nèi)螺紋管2的轉(zhuǎn)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0031]優(yōu)選地，所述齒輪機(jī)構(gòu)包括大錐齒輪5和小錐齒輪4，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用手動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，該手動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)軸7和手柄6。其中，大錐齒輪5與小錐齒輪4嚙合，轉(zhuǎn)軸的一端伸入機(jī)箱11中，大錐齒輪5套設(shè)在轉(zhuǎn)軸7伸入機(jī)箱的一端上，手柄6設(shè)置在轉(zhuǎn)軸7的另一端，小錐齒輪4與內(nèi)螺紋管2連接。
[0032]本實(shí)施例中，大錐齒輪的齒數(shù)與小錐齒輪的齒數(shù)比為5:3。
[0033]如圖1所示，機(jī)箱11的頂部設(shè)有開(kāi)孔，內(nèi)螺紋管2的上端從該開(kāi)孔中穿出，螺桿14的頂端從內(nèi)螺紋管2中伸出而與托盤(pán)I的底部固定連接。
[0034]本實(shí)施例中，托盤(pán)I對(duì)掉落的硅芯起支撐作用。優(yōu)選地，如圖2所示，優(yōu)選托盤(pán)I的形狀為半橢圓形。在實(shí)際使用中，托盤(pán)I的形狀與硅芯爐17的內(nèi)部形狀相適配(如圖3所示)。
[0035]通過(guò)調(diào)整托盤(pán)I的角度，從而可以適當(dāng)調(diào)節(jié)整個(gè)升降裝置的方位。
[0036]本實(shí)施例中，托盤(pán)I的厚度為3_5mm，其長(zhǎng)度和寬度因不同硅芯爐的內(nèi)部尺寸而定。
[0037]優(yōu)選地，該升降裝置還包括緩沖面板，所述緩沖面板設(shè)置在托盤(pán)I上。
[0038]通過(guò)在托盤(pán)上方安置一個(gè)緩沖面板，以避免硅芯下落時(shí)與托盤(pán)接觸形成硬性碰撞而導(dǎo)致硅芯斷損，這樣，在硅芯掉落以后，硅芯直接與緩沖面板形成緩沖碰撞，對(duì)硅芯起到很好的緩沖，避免其直接斷損。
[0039]緩沖面板的材質(zhì)選擇原則是:材質(zhì)柔軟，且防燙、富有彈性、耐高溫(耐熱溫度為50?100度)、且具有一定的韌性，長(zhǎng)期使用不會(huì)發(fā)生形變。上述設(shè)定緩沖面板的材料選擇原則的目的是，當(dāng)硅芯爐中剛拉制完硅芯時(shí)，由于整體爐室內(nèi)溫度過(guò)高，所以在緩沖材料的選擇上要求緩沖面板具有耐高溫，彈性好，且在硅芯掉落時(shí)可以起到很好的緩沖作用，這樣在緩沖面板發(fā)生很大的形變下，硅芯就能夠出現(xiàn)很大的自身能量的釋放，因此緩沖面板可以有效地保護(hù)好硅芯，避免硅芯發(fā)生斷損而導(dǎo)致的成本浪費(fèi)。
[0040]優(yōu)選緩沖面板采用高溫玻璃棉氈或海綿制成；優(yōu)選緩沖面板的厚度為20?30mm。
[0041]該升降裝置工作時(shí)，通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)手柄6帶動(dòng)大錐齒輪5轉(zhuǎn)動(dòng)，由于大錐齒輪5與小錐齒輪4嚙合，使得小錐齒輪4也隨之轉(zhuǎn)動(dòng)，而小錐齒輪4與內(nèi)螺紋管2固定連接，內(nèi)螺紋管2與軸承3鉸接，所以小錐齒輪4的轉(zhuǎn)動(dòng)會(huì)帶動(dòng)內(nèi)螺紋管2在軸承3內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，又由于內(nèi)螺紋管2與螺桿14的上部通過(guò)螺紋連接，而螺桿14的下部為六棱柱結(jié)構(gòu)，且螺桿14的下端安裝在防旋轉(zhuǎn)管13內(nèi)，這樣，螺桿14相對(duì)于防旋轉(zhuǎn)管13只會(huì)產(chǎn)生上下移動(dòng)，即升降運(yùn)動(dòng)，而不會(huì)作相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)，由于內(nèi)螺紋管2與螺桿14是螺紋連接，所以當(dāng)內(nèi)螺紋管2轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，螺桿14只會(huì)作升降運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)托盤(pán)I作升降移動(dòng)，達(dá)到調(diào)節(jié)高度的目的。
[0042]本實(shí)施例中的升降裝置可以通過(guò)手動(dòng)升降托盤(pán)來(lái)滿足不同硅芯爐的要求，避免了因高度不夠而無(wú)法使用的現(xiàn)象，并且通過(guò)手柄調(diào)節(jié)升降裝置來(lái)滿足支撐支架的高度，通過(guò)托盤(pán)對(duì)掉落的硅芯所起的支撐作用，實(shí)現(xiàn)硅芯掉落后力的釋放，同時(shí)通過(guò)托盤(pán)上的緩沖面板的彈性，從而可以很好地保護(hù)硅芯，防止其發(fā)生斷損。
[0043]本實(shí)施例中升降裝置的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單而使用方便，且能運(yùn)用于現(xiàn)在的一芯爐、三芯爐、五芯爐、六芯爐、七芯爐等一系列的硅芯拉制設(shè)備中，方便拆卸，在運(yùn)用過(guò)程中也不會(huì)影響到硅芯的拉制，且可以很好的保護(hù)硅芯在剪制過(guò)程中的完好率；同時(shí)，由于該升降裝置不需要采用液壓油，因此也可以解決硅芯爐中高純衛(wèi)生的問(wèn)題，避免不合格品的出現(xiàn)。
[0044]具體來(lái)說(shuō)，本實(shí)施例中的升降裝置具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0045]1、結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小，具有一定的承受載荷能力；
[0046]2、通過(guò)大錐齒輪帶動(dòng)小錐齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，這樣手動(dòng)旋轉(zhuǎn)手柄I圈，螺桿便會(huì)旋轉(zhuǎn)多圈，升降的效率尚;
[0047]3、采用防旋轉(zhuǎn)管來(lái)約束螺桿下端的棱柱結(jié)構(gòu)，這種約束結(jié)構(gòu)，不會(huì)使螺桿產(chǎn)生相對(duì)旋轉(zhuǎn)，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于實(shí)現(xiàn)，并且在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中不會(huì)產(chǎn)生較大的沖擊；
[0048]4、采用螺旋傳動(dòng)，使裝置自身具有自鎖功能，不需要額外設(shè)置自鎖機(jī)構(gòu)；
[0049]5、機(jī)座中的支架根據(jù)現(xiàn)在三點(diǎn)定位起到很好的穩(wěn)定作用，拆卸方便，容易取，也容易安裝。
[0050]可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說(shuō)明本實(shí)用新型的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本實(shí)用新型并不局限于此。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本實(shí)用新型的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種防止硅芯斷損的升降裝置，其特征在于，包括依次相連的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、齒輪機(jī)構(gòu)、升降機(jī)構(gòu)和托盤(pán)，托盤(pán)支撐在升降機(jī)構(gòu)上，齒輪機(jī)構(gòu)在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)，升降機(jī)構(gòu)能夠?qū)X輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)中的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為直線運(yùn)動(dòng)，以使托盤(pán)在升降機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下作升降運(yùn)動(dòng)。2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)包括內(nèi)螺紋管、螺桿和防旋轉(zhuǎn)管，所述內(nèi)螺紋管與齒輪機(jī)構(gòu)的輸出端相連，所述螺桿設(shè)于內(nèi)螺紋管內(nèi)部并與內(nèi)螺紋管螺紋連接，螺桿的下端為棱柱結(jié)構(gòu)，所述防旋轉(zhuǎn)管套設(shè)在螺桿下端的棱柱結(jié)構(gòu)上，以使得螺桿無(wú)法隨內(nèi)螺紋管轉(zhuǎn)動(dòng)。3.如權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述螺桿下端的棱柱結(jié)構(gòu)為六棱柱，相應(yīng)地，防旋轉(zhuǎn)管采用六角管。4.如權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述齒輪機(jī)構(gòu)包括大錐齒輪和與大錐齒輪嚙合的小錐齒輪，所述大錐齒輪的輸入端與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，小錐齒輪與內(nèi)螺紋管連接。5.如權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述大錐齒輪的齒數(shù)大于小錐齒輪的齒數(shù)。6.如權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用手動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，該手動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)軸和手柄，大錐齒輪固設(shè)在轉(zhuǎn)軸上，手柄與轉(zhuǎn)軸的一端連接。7.如權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述托盤(pán)的形狀與硅芯爐的內(nèi)部形狀相適配。8.如權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，該裝置還包括緩沖面板，緩沖面板設(shè)置在托盤(pán)上，緩沖面板采用防燙、有彈性的材料制成。9.如權(quán)利要求8所述的裝置，其特征在于，所述緩沖面板采用高溫玻璃棉氈或海綿制成。
【文檔編號(hào)】C30B28-08GK204281895SQ201420744432
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