一種掩膜板的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種掩膜板，包括疊層設置的第一掩膜板和第二掩膜板，所述第一掩膜板上設置有第一開口，所述第一開口與目標顯示面板相對應；所述第二掩膜板上設置有第二開口區域，所述第二開口區域包括多個第二開口，且第二開口區域覆蓋所述至少一個第一開口；由于制造第一掩膜板只需保證第一開口的形狀和大小與目標顯示面板的大小和形狀相同即可，無需進一步制造用于形成像素圖形的開口，因此，相對于現有的掩膜板來說，制造工藝簡單且制造成本低。
【專利說明】
一種掩膜板
技術領域
[0001 ]本發明涉及OLED真空蒸鍍技術領域，具體涉及一種掩膜板。
【背景技術】
[0002]在0LED(0rganic Light-Emitting D1de，有機發光二極管)技術中，真空蒸鍍工藝是有機發光二極管制程的主要工藝，掩膜板是真空蒸鍍工藝的關鍵組件。掩膜板內陣列設置有多個開口，用于使蒸鍍材料在背板玻璃的顯示面板上形成像素圖形。多個開口形成多個開口區域，各開口區域的形狀和大小與背板玻璃上顯示面板的形狀和大小相同，開口區域的分布與背板玻璃上顯示面板的分布相同。隨著顯示行業的快速發展和人們需求的多樣化，可穿戴設備領域等需求的顯示面板的形狀已不僅僅是傳統的矩形，而是更具有設計感的圓形或非規則形狀。
[0003]現有的掩膜板存在以下缺陷:
[0004]現有的掩膜板為一層的結構，掩膜板上的開口區域與目標顯示面板的形狀和大小相對應，因此，若要制備不同形狀與大小的顯示面板，就需要采用不同的掩膜板，相應的，需要制造不同形狀和大小的掩膜板，而制造掩膜板內用于形成像素圖形的開口的工藝較為復雜，制造精度要求較高，導致掩膜板制造成本較高。
[0005]因此，亟需一種掩膜板以解決上述技術問題。
【發明內容】
[0006]本實用新型針對現有技術中存在的上述不足，提供一種掩膜板，用以至少部分解決掩膜板制造成本高的問題。
[0007]本實用新型提供一種掩膜板，包括疊層設置的第一掩膜板和第二掩膜板；
[0008]所述第一掩膜板設置有第一開口，所述第一開口與目標顯示面板相對應；
[0009]所述第二掩膜板設置有第二開口區域，所述第二開口區域包括多個第二開口，且第二開口區域覆蓋至少一個所述第一開口。
[0010]優選的，所述第一開口的面積大于所述目標顯示面板的面積。
[0011]優選的，所述第一開口在背板玻璃上的投影的邊緣與背板玻璃上目標顯示面板的邊緣之間的間距為75-150umo
[0012]優選的，所述第二開口區域的形狀為矩形。
[0013]優選的，所述第二開口區域為多個，各第二開口區域的形狀相同。
[0014]優選的，所述第二開口區域的大小相同。
[0015]優選的，所述第二掩膜板覆蓋于第一掩膜板上。
[0016]優選的，所述第一掩膜板與第二掩膜板的大小和形狀相同。
[0017]優選的，所述第一掩膜板為一個，所述第二掩膜板由多個形狀和大小相同的部分拼接形成。
[0018]進一步的，所述掩膜板還包括掩膜板邊框，所述第一掩膜板與掩膜板邊框通過第一焊點焊接，第二掩膜板的各部分與第一掩膜板通過第二焊點焊接。
[0019]優選的，所述第一焊點的位置與第二焊點的位置之間的間距大于2_。
[0020]優選的，所述第一焊點位于所述第一掩膜板的周邊位置，所述第二焊點位于所述第二掩膜板的各部分的第一側和第二側，所述第一側與第二側為第二掩膜板的各部分的非相鄰側。
[0021]優選的，所述第一掩膜板與第二掩膜板采用金屬因瓦合金材料制成。
[0022]優選的，所述第一掩膜板的厚度為100-150um，所述第二掩膜板的厚度為20-40umo
[0023]本實用新型具有以下有益效果:
[0024]本實用新型提供的掩膜板為兩層結構，包括疊層設置的第一掩膜板和第二掩膜板，第一掩膜板上設置有與目標顯示面板的形狀和大小相同的第一開口。第二掩膜板上設置有第二開口區域，第二開口區域內陣列設置有多個用于形成像素圖形的第二開口，第二開口區域覆蓋第一開口。若要制備不同形狀與大小的顯示面板，只需將第一掩膜板的第一開口設置為與目標顯示面板的大小和形狀相同，并與原有的第二掩膜板相配合，即可形成新的掩膜板。由于制造第一掩膜板只需保證第一開口的形狀和大小與目標顯示面板的大小和形狀相同即可，無需進一步制造用于形成像素圖形的開口，因此，相對于現有的掩膜板來說，制造工藝簡單且制造成本低。
【附圖說明】
[0025]圖1a為本實用新型實施例提供的背板玻璃的結構示意圖；
[0026]圖1b為本實用新型實施例提供的掩膜板的結構示意圖之一；
[0027]圖2為本實用新型實施例提供的第一開口與顯示面板的投影示意圖；
[0028]圖3為本實用新型實施例提供的掩膜板的結構示意圖之二；
[0029]圖4為本實用新型實施例提供的掩膜板的結構示意圖之三。
[0030]附圖標記:
[0031]1、第一掩膜板2、第二掩膜板3、背板玻璃
[0032]4、掩膜板邊框11、第一開口 12、遮擋區域13、第一焊點
[0033]21、第二開口區域22、條狀結構23、第二焊點31、顯示面板
[0034]211、第二開口 231、第一側 232、第二側
【具體實施方式】
[0035]為使本領域的技術人員更好地理解本實用新型的技術方案，下面結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細描述。
[0036]如圖1a所示，背板玻璃3包括多個目標顯示面板31，在本實用新型實施例中，以顯示面板31的形狀是圓形為例進行說明。需要說明的是，背板玻璃3也可以包括一個目標顯示面板31。
[0037]如圖1b所示，本實用新型實施例提供一種掩膜板，包括:第一掩膜板I和第二掩膜板2，第一掩膜板I與第二掩膜板2疊層設置，第一掩膜板I上設置有第一開口 11，第一掩膜板I上非第一開口 11的區域為遮擋區域12。第一開口 11的形狀和大小與背板玻璃3上顯示面板31的形狀和大小相同，即第一開口 11與目標顯示面板31相對應。第二掩膜板2上設置有第二開口區域21，且第二開口區域21覆蓋至少一個第一開口 11。第二開口區域21包括多個第二開口 211，各第二開口 211陣列設置并與各像素相對應，用于形成像素圖形。
[0038]本實用新型實施例提供的掩膜板為兩層結構，包括疊層設置的第一掩膜板I和第二掩膜板2，第一掩膜板I上設置有與目標顯示面板31的形狀和大小相同的第一開口 11。第二掩膜板2上設置有第二開口區域21，第二開口區域21內陣列設置有多個用于形成像素圖形的第二開口 211，第二開口區域21覆蓋第一開口 11。若要制備不同形狀與大小的顯示面板31，只需將第一掩膜板I的第一開口 11設置為與目標顯示面板31的大小和形狀相同，并與原有的第二掩膜板2相配合，即可形成新的掩膜板。由于制造第一掩膜板I只需保證第一開口11的形狀和大小與目標顯示面板31的大小和形狀相同即可，無需進一步制造用于形成像素圖形的開口，因此，相對于現有的掩膜板來說，制造工藝簡單且制造成本低。
[0039]如圖1b所示，第一開口11的面積略大于顯示面板31的面積。這樣在掩膜板張網拉伸過程中，即使第一開口 11的形狀和大小發生變化，也不會出現蒸鍍材料無法蒸鍍到顯示面板31上的問題。
[0040]優選的，第一開口11在背板玻璃3上的投影的邊緣與背板玻璃3上相應的顯示面板31的邊緣之間的間距為75-150um。在本實施例中，以顯示面板31與第一開口 11的形狀為圓形為例進行說明。如圖2所示，第一開口 11在背板玻璃3上的投影的邊緣與背板玻璃3上相應的顯示面板31的邊緣之間的間距hi為75-150um，即第一開口 11的直徑D2比顯示面板31的直徑Dl大150-300um。
[0041]第二開口區域21的形狀可以為圓形、矩形、多邊形等，優選的，第二開口區域21的形狀為矩形。在掩膜板張網拉伸過程中，矩形形狀的第二開口區域21相比于非矩形形狀的第二開口區域21受力應變更均勻，因此，可以保證第二掩膜板2不會產生褶皺，避免蒸鍍工藝后顯示面板出現混色不良的問題。
[0042]如圖1b所示，當第一掩膜板I設置有多個第一開口11，且第二掩膜板2設置有多個第二開口區域21時，第二掩膜板2上的各第二開口區域21的形狀可以不受顯示面板31的形狀、排列、分布以及邊框電路的限制。只要保證各第二開口區域21的形狀相同，在掩膜板張網拉伸過程中，各第二口區域21之間受力應變均勻，第二掩膜板2不會產生褶皺，相應的，各第二開口區域21內的各第二開口 211產生的形變均相同，通過第二開口 211形成的像素圖形大小和形狀一致，從而可以解決蒸鍍工藝后顯示面板出現混色不良的問題。
[0043]優選的，各第二開口區域21的大小也相同，這樣在掩膜板張網拉伸過程中，各形狀與大小均相同的第二開口區域21之間受力應變更為均勻。
[0044]如圖1b所示，第二掩膜板2覆蓋于第一掩膜板I上，蒸鍍方向是從第二掩膜板2向第一掩膜板I蒸鍍。第一掩膜板I與第二掩膜板2之間存在間距，蒸鍍材料會在第一掩膜板I與第二掩膜板2之間擴散。蒸鍍材料先經過第二掩膜板2上的第二開口區域21內的第二開口211，擴散后經過第一掩膜板I上的第一開口 11。由于第一掩膜板I在第二掩膜板2的下方，第一掩膜板I上的遮擋區域12對蒸鍍材料起到遮擋作用，因此，蒸鍍材料不會蒸鍍到顯示面板31以外的區域。
[0045]優選的，第一掩膜板I與第二掩膜板2的大小和形狀相同。
[0046]第二開口區域21可以覆蓋一個或多個第一開口11，例如，可以覆蓋兩個第一開口11，也可以覆蓋四個第一開口 11。在本實施例中，如圖1b所示，第二開口區域21覆蓋四個第一開口 Ilo
[0047]如圖3所示，第一掩膜板I為一個，第二掩膜板2可以由多個形狀和大小相同的部分拼接形成。在本實用新型的實施例中，第二掩膜板2的各部分呈條狀，各條狀部分22拼接形成的第二掩膜板2的大小和形狀與玻璃背板的大小和形狀相同，本實用新型實施例以第二掩膜板2由四個條狀部分22構成為例進行說明。在掩膜板張網拉伸過程中，各條狀部分22可以平均分擔第二掩膜板2在張網過程所受的拉力，使各條狀部分22之間應變更為均勻，進一步保證了蒸鍍工藝后顯示面板不會出現混色不良。
[0048]需要說明的是，第一掩膜板I上各第一開口11的邊角位置處設置有第一對位孔(圖中未繪示)，在第二掩膜板2上各第二開口區域21內，與各第一開口 21的邊角位置相對應的位置處設置有第二對位孔(圖中未繪示)，通過第一對位孔與第二對位孔相互配合對位，能夠將第一掩膜板I和第二掩膜板2正確對位。
[0049]如圖4所示，本實用新型提供的掩膜板還包括掩膜板邊框4，第一掩膜板I與掩膜板邊框4通過第一焊點13焊接，第二掩膜板2的各條形部分22與第一掩膜板I通過第二焊點23焊接。這樣，即使第一掩膜板I與掩膜板邊框4焊接錯誤，在進行修復重新焊接時，可以不用修復各條狀結構22的焊接位置，從而大幅提高修復效率。
[0050]優選的，如圖4所示，第一焊點13的位置與第二焊點23的位置之間的間距h2大于2mm，以方便焊接，避免焊接位置錯誤。
[0051]第一焊點13位于第一掩膜板I的周邊位置，第二焊點23位于第二掩膜板2的各條狀部分22的第一側231與第二側232。所述第一側231與第二側232是指第二掩膜板2的各條狀部分22的非相鄰側。
[0052]優選的，第一掩膜板I與第二掩膜板2可以采用金屬因瓦合金材料制成。
[°°53]優選的，第一掩膜板I的厚度可以為100-150um，第二掩膜板2的厚度可以為20-40umo
[0054]為了清楚說明本實用新型的技術方案，以下結合圖4，對本實用新型提供的掩膜板張網拉伸過程進行詳細說明。
[0055]首先利用張網機(圖中未繪示)對第一掩膜板I進行張網拉伸，通過第一對位孔確定第一掩膜板I的位置后，將第一掩膜板I與掩膜板邊框4通過第一焊點13焊接，其中，第一掩膜板的下垂量小于150um。然后對第二掩膜板2的各條狀部分22進行張網拉伸，通過第二對位孔確定各條狀結構22的位置后，將第二掩膜板2的各條狀部分22與第一掩膜板I通過第二焊點23焊接，從而完成整個掩膜板的組裝。
[0056]圓形形狀的顯示面板的生產制作對于掩膜板的要求較高，本實用新型提供的掩膜板與背板玻璃完全對應，第一掩膜板與第二掩膜板組合使用，能夠減少顯示面板的周邊電路和蒸鍍工藝對掩膜板在設計上的限制，從而使掩膜板按照最優設計進行制作。利用本實用新型的掩膜板不但可以生產圓形等其它非傳統矩形形狀的顯示面板，還可以減少掩膜板引起的不良從而提尚廣品良率。
[0057]可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本實用新型的原理而采用的示例性實施方式，然而本實用新型并不局限于此。對于本領域內的普通技術人員而言，在不脫離本實用新型的精神和實質的情況下，可以做出各種變型和改進，這些變型和改進也視為本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.一種掩膜板，其特征在于，包括疊層設置的第一掩膜板和第二掩膜板； 所述第一掩膜板設置有第一開口，所述第一開口與目標顯示面板相對應； 所述第二掩膜板設置有第二開口區域，所述第二開口區域包括多個第二開口，且第二開口區域覆蓋至少一個所述第一開口。2.根據權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第一開口的面積大于所述目標顯示面板的面積。3.根據權利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述第一開口在背板玻璃上的投影的邊緣與背板玻璃上目標顯示面板的邊緣之間的間距為75-150um。4.根據權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第二開口區域的形狀為矩形。5.根據權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第二開口區域為多個，各第二開口區域的形狀相同。6.根據權利要求5所述的掩膜板，其特征在于，所述第二開口區域的大小相同。7.根據權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第二掩膜板覆蓋于第一掩膜板上。8.根據權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第一掩膜板與第二掩膜板的大小和形狀相同。9.根據權利要求8所述的掩膜板，其特征在于，所述第一掩膜板為一個，所述第二掩膜板由多個形狀和大小相同的部分拼接形成。10.根據權利要求9所述的掩膜板，其特征在于，還包括掩膜板邊框，所述第一掩膜板與掩膜板邊框通過第一焊點焊接，第二掩膜板的各部分與第一掩膜板通過第二焊點焊接。11.根據權利要求10所述的掩膜板，其特征在于，所述第一焊點的位置與第二焊點的位置之間的間距大于2mm。12.根據權利要求10所述的掩膜板，其特征在于，所述第一焊點位于所述第一掩膜板的周邊位置，所述第二焊點位于所述第二掩膜板的各部分的第一側和第二側，所述第一側與第二側為第二掩膜板的各部分的非相鄰側。13.根據權利要求1-12任一項所述的掩膜板，其特征在于，所述第一掩膜板與第二掩膜板采用金屬因瓦合金材料制成。14.根據權利要求1-12任一項所述的掩膜板，其特征在于，所述第一掩膜板的厚度為100-150um，所述第二掩膜板的厚度為20-40um。
【文檔編號】C23C14/24GK205688000SQ201620661367
【公開日】2016年11月16日
【申請日】2016年6月29日 公開號201620661367.2, CN 201620661367, CN 205688000 U, CN 205688000U, CN-U-205688000, CN201620661367, CN201620661367.2, CN205688000 U, CN205688000U
【發明人】白珊珊
【申請人】鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司, 京東方科技集團股份有限公司