一種新型的等離子鍍膜機的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種新型的等離子鍍膜機，包括底板、安裝座和密封罩，所述安裝座設在所述底板上，所述密封罩設在所述安裝座上，所述密封罩與所述安裝座卡持連接，所述底板底部設置有真空泵和蒸發源，所述底板上設置有第一接線座和第二接線座，所述第一接線座上設置有基板，所述第二接線座一側連接有線圈，所述第二接線座下方連接有射頻電源，所述線圈下方設置有絕緣子，所述絕緣子與所述線圈可拆卸連接，所述絕緣子與所述底板固定連接，所述安裝座一側設置有氣閥，該新型的等離子鍍膜機調控方便，有效地控制沉積過程，改善了鍍層的物理性質，容易拆卸組裝。
【專利說明】
一種新型的等離子鍍膜機
技術領域
[0001 ]本實用新型涉及一種新型的等離子鍍膜機。
【背景技術】
[0002]離子鍍在真空條件下，利用氣體放電使氣體或被蒸發物質部分電離，并在氣體離子或被蒸發物質離子的轟擊下，將蒸發物質或其反應物沉積在基片上的方法。其中包括磁控濺射離子鍍、反應離子鍍、空心陰極放電離子鍍(空心陰極蒸鍍法)、多弧離子鍍(陰極電弧離子鍍)等。
[0003]目前現有的等離子鍍膜機操控不方便，造成不能有效地控制沉積過程，不能改善鍍層的物理性質，結構安裝拆卸不方便。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型的目的在于克服上述現有技術的不足，提供一種調控方便，有效地控制沉積過程，改善了鍍層的物理性質，容易拆卸組裝的新型的等離子鍍膜機。
[0005]本實用新型是這樣實現的一種新型的等離子鍍膜機，包括底板、安裝座和密封罩，所述安裝座設在所述底板上，所述密封罩設在所述安裝座上，所述密封罩與所述安裝座卡持連接，所述底板底部設置有真空栗和蒸發源，所述底板上設置有第一接線座和第二接線座，所述第一接線座上設置有基板，所述第二接線座一側連接有線圈，所述第二接線座下方連接有射頻電源，所述線圈下方設置有絕緣子，所述絕緣子與所述線圈可拆卸連接，所述絕緣子與所述底板固定連接，所述安裝座一側設置有氣閥。
[0006]作為優選，所述密封罩為有機玻璃密封罩，采用有機玻璃密封罩能夠保持良好的絕緣效果和透明效果，方便進行觀測。
[0007]作為優選，所述密封罩頂部呈弧形設置，保持結構穩定性高。
[0008]作為優選，所述第一接線座上安裝有導電支桿，導線支桿具有導電和支撐基板的作用。
[0009]作為優選，所述第一接線座通過所述導電支桿與基板電性連接，保持連接順暢。
[0010]本實用新型的有益效果是:設置的安裝座與密封罩卡持連接，方便密封罩的安裝，同時保持密封效果良好，方便通過真空栗進行抽真空;射頻電源接通到線圈后，使得線圈內部的電子在高頻電場作用下做振蕩運動，延長了電子到達陽極的路徑，增加了電子與反應氣體及金屬蒸氣碰掩的概率，這樣可提高放電電流密度，通過調節射頻電源即可有效地控制沉積過程，改善了鍍層的物理性質;設置的第一接線座和第二接線座保證了接線方便。
【附圖說明】
[0011]為了更清楚地說明本實用新型的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0012]圖1是本實用新型實施例提供的一種新型的等離子鍍膜機的結構圖。
【具體實施方式】
[0013]下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述。
[0014]如圖1所示，一種新型的等離子鍍膜機，包括底板1、安裝座2和密封罩3，安裝座2設在底板I上，密封罩3設在安裝座2上，密封罩3為有機玻璃密封罩，密封罩3頂部呈弧形設置，密封罩3與安裝座2卡持連接，底板I底部設置有真空栗4和蒸發源5，底板I上設置有第一接線座6和第二接線座7，第一接線座6上設置有基板8和導電支桿9，第一接線座6通過導電支桿9與基板8電性連接，第二接線座7—側連接有線圈10，第二接線座7下方連接有射頻電源11，線圈10下方設置有絕緣子12，絕緣子12與線圈10可拆卸連接，絕緣子12與底板I固定連接，安裝座2—側設置有氣閥13。
[0015]在使用時，將工件固定在基板8上，第一接線座6接地，第二接線座7與射頻電源11接通，關閉氣閥13，使用真空栗4對密封罩3進行抽真空作業，打開蒸發源5即可進行鍍膜作業。
[0016]本實用新型的有益效果是:設置的安裝座2與密封罩3卡持連接，方便密封罩3的安裝，同時保持密封效果良好，方便通過真空栗4進行抽真空;射頻電源11接通到線圈10后，使得線圈10內部的電子在高頻電場作用下做振蕩運動，延長了電子到達陽極的路徑，增加了電子與反應氣體及金屬蒸氣碰撞的概率，這樣可提高放電電流密度，通過調節射頻電源11即可有效地控制沉積過程，改善了鍍層的物理性質；設置的第一接線座6和第二接線座7保證了接線方便。
[0017]以上所述是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也視為本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.一種新型的等離子鍍膜機，其特征在于:包括底板、安裝座和密封罩，所述安裝座設在所述底板上，所述密封罩設在所述安裝座上，所述密封罩與所述安裝座卡持連接，所述底板底部設置有真空栗和蒸發源，所述底板上設置有第一接線座和第二接線座，所述第一接線座上設置有基板，所述第二接線座一側連接有線圈，所述第二接線座下方連接有射頻電源，所述線圈下方設置有絕緣子，所述絕緣子與所述線圈可拆卸連接，所述絕緣子與所述底板固定連接，所述安裝座一側設置有氣閥。2.根據權利要求1所述的一種新型的等離子鍍膜機，其特征在于:所述密封罩為有機玻璃密封罩。3.根據權利要求1所述的一種新型的等離子鍍膜機，其特征在于:所述密封罩頂部呈弧形設置。4.根據權利要求1所述的一種新型的等離子鍍膜機，其特征在于:所述第一接線座上安裝有導電支桿。5.根據權利要求4所述的一種新型的等離子鍍膜機，其特征在于:所述第一接線座通過所述導電支桿與基板電性連接。
【文檔編號】C23C14/32GK205576267SQ201620080740
【公開日】2016年9月14日
【申請日】2016年1月27日
【發明人】楊勇
【申請人】深圳晶鉆智能科技有限公司