一種可拆式氣體噴淋頭的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種可拆式氣體噴淋頭，包括氣體導入管、蓋板、第一氣體分配板及第二氣體分配板，蓋板和第一氣體分配板之間設有第一氣體緩沖室，第一氣體分配板和第二氣體分配板之間設有第二氣體緩沖室，第一氣體分配板、第二氣體分配板上設有貫穿上表面和下表面的多個第一通孔和第二通孔；其中蓋板、第一氣體分配板通過鎖緊裝置和第二氣體分配板活動連接。本實用新型第一氣體緩沖室與第二氣體緩沖室，使得氣體在腔室中分布得更加均勻，并且噴淋板之間通過鎖緊裝置活動連接，方便對噴淋板進行拆卸式保養。
【專利說明】
一種可拆式氣體噴淋頭
技術領域
[0001]本實用新型涉及太陽能電池制備領域，尤其涉及一種可拆式氣體噴淋頭。
【背景技術】
[0002]目前，采用等離子增強化學氣相沉積法(PECVD)制備硅基薄膜材料已經得到廣泛應用。在異質結電池制備過程中，因采用經過制絨后的硅片，且制備的硅基薄膜厚度很薄，對PECVD設備要求更高，S卩PECVD設備在制絨后的硅片上制備的硅基薄膜均勻性必須很好，也就是對電極結構提出了更高要求，首先是電極噴出的氣流均勻性必須好，其次是電極的電場分布必須均勻。
[0003]現有技術的噴淋頭由于采用焊接形成，故容易出現縫隙，脫焊等情況，從而會造成氣體的泄露，且噴淋板上直通式氣孔，使得氣體流速變慢，導致氣體在制程室中分布與混合不均勻，制程一段時間后噴淋板上會附著大量的顆粒，待顆粒逐漸堆積形成大的顆粒物，掉落至制程腔中會污染腔體，影響輝光。
【實用新型內容】
[0004]針對上述問題，本實用新型提供了一種可拆式氣體噴淋頭，解決了噴淋頭故容易出現縫隙，脫焊等情況，從而會造成氣體的泄露，布氣不均勻的現象。
[0005]為解決上述技術問題，本實用新型所采用的技術方案是:一種可拆式氣體噴淋頭，包括氣體導入管、蓋板、第一氣體分配板及第二氣體分配板，所述蓋板和第一氣體分配板之間設有第一氣體緩沖室，第一氣體分配板和第二氣體分配板之間設有第二氣體緩沖室，所述第一氣體分配板、第二氣體分配板上設有貫穿上表面和下表面的多個第一通孔和第二通孔;所述蓋板、第一氣體分配板通過鎖緊裝置和第二氣體分配板活動連接。
[0006]進一步的，所述第一通孔和第二通孔等距錯開排布。
[0007]進一步的，所述第一通孔與和第二通孔為上寬下窄的椎體結構。
[0008]進一步的，所述鎖緊裝置為螺栓連接。
[0009]由上述對本實用新型結構的描述可知，和現有技術相比，本實用新型具有如下優占.V.
[0010]本實用新型一種可拆式氣體噴淋頭，第一氣體緩沖室與第二氣體緩沖室，使得氣體在腔室中分布得更加均勻。其中第一通孔與第二通孔等距錯開排布，且通孔上寬下窄，中間用錐面過渡，使得氣體從上一個緩沖室到下一個緩沖室及反應室氣體流速增加，壓力下降，提高了氣體在緩沖室及反應室中的混合性和均勻性。并且噴淋板之間通過鎖緊裝置活動連接，方便對噴淋板進行拆卸式保養。
【附圖說明】
[0011]構成本申請的一部分的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中:
[0012]圖1為本實用新型一種可拆式氣體噴淋頭結構示意圖；
[0013]圖2為本實用新型蓋板、第一氣體分配板、第一氣體緩沖室、第二氣體分配板、第二氣體緩沖室的分布示意圖；
[0014]圖3為本實用新型述蓋板、第一氣體分配板和第二氣體分配板的連接示意圖；
[0015]圖4為本實用新型第一氣體分配板、第二氣體分配板上上第一瞳孔和第二通孔的分布示意圖。
【具體實施方式】
[0016]為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。
[0017]實施例
[0018]如圖1-圖4所示，所示為了解決噴淋頭故容易出現縫隙，脫焊等情況，從而會造成氣體的泄露，布氣不均勻的現象，本實用新型一種可拆式氣體噴淋頭，包括氣體導入管14、蓋板11、第一氣體分配板12及第二氣體分配板13，蓋板11和第一氣體分配板12之間設有第一氣體緩沖室21，第一氣體分配板12和第二氣體分配板13之間設有第二氣體緩沖室22，所述第一氣體分配板12、第二氣體分配板13上設有貫穿上表面和下表面的多個第一通孔31和第二通孔31，第一通孔31和第二通32孔等距錯開排布，且第一通孔31和第二通孔32上寬下窄，中間用錐面過渡，第一通孔31和第二通孔32的錯開排布和上寬下窄的結構，使得氣體從第一氣體緩沖室21到第二氣體緩沖室22及反應室氣體流速增加，壓力下降，提高了氣體在緩沖室及反應室中的混合性和均勻性，從而解決現有技術中噴淋板上直通式氣孔，使得氣體流速變慢，導致氣體在制程室中分布與混合不均勻的現象。蓋板11及第一氣體分配板12通過邊緣多個螺栓41連接第二氣體分配板13，待第二氣體分配板13工作一段時間后可拆下緊固螺栓41對第二氣體分配板13進行保養清潔，以保證反應腔室不受到污染，解決了現有技術容易出現縫隙，脫焊從而會造成氣體的泄露。
[0019]綜上所述本實用新型相對于現有技術，第一氣體緩沖室21與第二氣體緩沖室22，使得氣體在腔室中分布得更加均勻，并且噴淋板之間通過鎖緊裝置活動連接，方便對噴淋板進行拆卸式保養。
[0020]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種可拆式氣體噴淋頭，包括氣體導入管、蓋板、第一氣體分配板及第二氣體分配板，其特征在于: 所述蓋板和第一氣體分配板之間設有第一氣體緩沖室，第一氣體分配板和第二氣體分配板之間設有第二氣體緩沖室，所述第一氣體分配板、第二氣體分配板上設有貫穿上表面和下表面的多個第一通孔和第二通孔； 所述蓋板、第一氣體分配板通過鎖緊裝置和第二氣體分配板活動連接。2.根據權利要求1所述一種可拆式氣體噴淋頭，其特征在于:所述第一通孔和第二通孔等距錯開排布。3.根據權利要求1所述一種可拆式氣體噴淋頭，其特征在于:所述第一通孔與和第二通孔為上寬下窄的椎體結構。4.根據權利要求1所述一種可拆式氣體噴淋頭，其特征在于:所述鎖緊裝置為螺栓連接。
【文檔編號】C23C16/455GK205529030SQ201620201845
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年3月16日
【發明人】李鵬飛, 王樹林, 陳劍雨, 王武鵬
【申請人】鈞石(中國)能源有限公司