晶棒加工設備及用于該設備的主軸機構的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種晶棒加工設備及用于該設備的主軸機構，所述主軸機構包括：基板，基板上設有轉動式底盤；設置于轉動式底盤上的雙頭主軸，雙頭主軸的第一端設有第一加工裝置，雙頭主軸的第二端設有第二加工裝置；設置于基板上且與轉動式底盤相連的第一驅動裝置，用于驅動轉動式底盤進行轉動以使雙頭主軸中的第一加工裝置和第二加工裝置切換位置。本實用新型應用于多工位晶棒加工設備的主軸機構，通過在雙頭主軸的兩端分別設置兩種不同的加工裝置，當第一加工裝置加工完成后，通過第一驅動裝置驅動轉動式底盤旋轉180°就可以進行第二加工裝置的加工，這樣既保證了可以完成二種加工工序的要求，又可以節約一個工位，結構簡單實用。
【專利說明】
晶棒加工設備及用于該設備的主軸機構
技術領域
[0001]本實用新型涉及晶棒加工技術領域，特別是涉及晶棒加工設備及用于該設備的主軸機構。
【背景技術】
[0002]現有的晶棒工件加工過程中，例如切割、表面研磨、拋光等工序均需要一一對應有加工設備，則在此過程中晶棒需運送到不同地點的設備上進行加工，效率極為低下。
【實用新型內容】
[0003]鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種晶棒加工設備及用于該設備的主軸機構，用于解決現有技術中的問題。
[0004]為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供了一種應用于多工位晶棒加工設備的主軸機構，包括:
[0005]基板，所述基板上設有轉動式底盤；
[0006]設置于所述轉動式底盤上的雙頭主軸，所述雙頭主軸的第一端設有第一加工裝置，所述雙頭主軸的第二端設有第二加工裝置；
[0007]設置于所述基板上且與所述轉動式底盤相連的第一驅動裝置，用于驅動所述轉動式底盤進行轉動以使所述雙頭主軸中的所述第一加工裝置和所述第二加工裝置切換位置。
[0008]本實用新型應用于多工位晶棒加工設備的主軸機構，通過在雙頭主軸的兩端分別設置兩種不同的加工裝置，當第一加工裝置加工完成后，通過第一驅動裝置驅動轉動式底盤旋轉180°就可以進行第二加工裝置的加工，這樣既保證了可以完成二種加工工序的要求，又可以節約一個工位，結構簡單實用。
[0009]本實用新型應用于多工位晶棒加工設備的主軸機構的進一步改進在于，所述第一加工裝置為磨削機，所述第二加工裝置為拋光機。
[0010]本實用新型應用于多工位晶棒加工設備的主軸機構的進一步改進在于:
[0011]所述轉動式底盤為圓形底盤；
[0012]所述轉動式底盤的外周面布置有至少一對定位結構，所述一對定位結構之間的夾角與所述第一加工裝置和所述第二加工裝置之間的夾角相一致；
[0013]所述基板上設有鎖止裝置，所述鎖止裝置包括與所述定位結構相適配的鎖止結構以及用于驅動所述鎖止結構移動的第二驅動裝置。
[0014]本實用新型應用于多工位晶棒加工設備的主軸機構的進一步改進在于:
[0015]所述定位結構為插孔或插槽；
[0016]所述鎖止結構為伸縮式插銷。
[0017]本實用新型還提供了一種應用于多工位晶棒加工設備的工位加工裝置，包括:
[0018]晶棒定位機構，用于放置待加工的晶棒工件；
[0019]上述的主軸機構，設置于所述晶棒定位機構的側部；
[0020]第三驅動裝置，用于驅動所述主軸機構進行三維移動。
[0021]本實用新型應用于多工位晶棒加工設備的工位加工裝置，通過在主軸機構的雙頭主軸的兩端分別設置兩種不同的加工裝置，當第一加工裝置加工完成后，通過第一驅動裝置驅動轉動式底盤旋轉180°就可以進行第二加工裝置的加工，這樣既保證了可以完成二種加工工序的要求，又可以節約一個工位，結構簡單實用。
[0022]本實用新型應用于多工位晶棒加工設備的工位加工裝置的進一步改進在于，所述主軸機構的數量為兩個，兩個所述主軸機構對稱設置于所述晶棒定位機構的兩側。
[0023]本實用新型應用于多工位晶棒加工設備的工位加工裝置的進一步改進在于，所述晶棒定位機構包括:
[0024]第一軸承座，用于放置待加工的晶棒工件；
[0025]相對設置于所述第一軸承座上方的第二軸承座，用于壓緊待加工的晶棒工件，所述第二軸承座的底部設有與待加工的晶棒工件的頂面相適配的壓緊塊；
[0026]第四驅動裝置，用于驅動所述第二軸承座沿豎直方向做可升降運動；
[0027]第五驅動裝置，用于驅動所述壓緊塊繞豎直方向做旋轉運動以使待加工的晶棒工件轉換作業面。
[0028]本實用新型還提供了一種多工位晶棒加工設備，包括:
[0029]晶棒輸送單元，呈圓盤形或圓環形且能旋轉運動以輸送待加工晶棒工件；
[0030]設置于所述晶棒輸送單元的輸送行程上的多個工位，多個所述工位中的至少一個工位處設置有上述的工位加工裝置，至少一個工位處設置有表面研磨單元，至少一個工位處設置有滾圓/倒角研磨單元；
[0031]晶棒移送單元，用于將待加工的晶棒工件移送至所述晶棒輸送單元以及將隨所述晶棒輸送單元運動而經包括所述工位加工裝置在內的多個所述工位進行加工作業后的所述晶棒工件移出所述晶棒輸送單元。
[0032]本實用新型的多工位晶棒加工設備，通過在主軸機構的雙頭主軸的兩端分別設置兩種不同的加工裝置，當第一加工裝置加工完成后，通過第一驅動裝置驅動轉動式底盤旋轉180°就可以進行第二加工裝置的加工，這樣既保證了可以完成二種加工工序的要求，又可以節約一個工位，結構簡單實用。
[0033]本實用新型的多工位晶棒加工設備的進一步改進在于，所述晶棒輸送單元的輸送行程上還設置有空位，其中，待加工的晶棒工件在所述空位內獲得定位；
[0034]所述空位，用于作為所述輸送行程的起點而接納晶棒移送單元所移送來的進行切割后的晶棒工件，以供所述晶棒輸送單元將其向下一工位輸送；
[0035]所述空位，還用于作為所述輸送行程的終點而接納經歷所述各工位的加工后的晶棒工件，以供所述晶棒移送單元將其移出所述晶棒輸送單元。
[0036]本實用新型的多工位晶棒加工設備的進一步改進在于:
[0037I所述晶棒輸送單元包括:
[0038]圓盤形或圓環形本體，其圓弧形的周側表面設有齒帶；
[0039]驅動電機及連接所述驅動電機而受所述驅動電機驅動的聯動結構，所述聯動結構包括嚙合所述齒輪帶的轉動齒輪；
[0040]所述表面研磨單元包括:
[0041]第一容納空間，用于接納由所述晶棒輸送單元輸送來的所述晶棒工件；
[0042]至少一砂輪組件，設置于所述第一容納空間；所述第一容納空間內設有橫向設置的供所述砂輪組件套接的能旋轉的單軸或雙軸，所述單軸或雙軸與所述第一容納空間的豎側壁設有的縱向滑動導引結構間能相對滑動地結合以令各砂輪組件能縱向運動，用于研磨所述第一容納空間中能進行自轉運動的所述晶棒工件的各個第一豎側面，所述第一豎側面是與所述晶棒工件的多邊形截面上倒角以外各邊對應的豎側面；
[0043]所述滾圓/倒角研磨單元包括:
[0044]第二容納空間，用于接納輸送來的晶棒工件；
[0045]至少一對磨輪，設置于所述第二容納空間，所述第二容納空間內設有橫向設置的供所述各磨輪套接的能旋轉的單軸或雙軸，所述單軸或雙軸與所述第二容納空間豎側壁設有的縱向滑動導引結構間能相對滑動地結合以令各磨輪能縱向運動;且所述一對磨輪在縱向及橫向上相互錯位地分置于所述第二容納中間中的晶棒工件兩側，用于以研磨所述第二容納空間中旋轉狀態下的晶棒工件上與其多邊形截面倒角對應的豎側面。
【附圖說明】
[0046]圖1是本實用新型應用于多工位晶棒加工設備的主軸機構的立體示意圖。
[0047]圖2是本實用新型應用于多工位晶棒加工設備的主軸機構去掉雙頭主軸后的立體示意圖。
[0048]圖3是本實用新型晶棒加工設備的立體不意圖。
[0049]圖4是本實用新型應用于多工位晶棒加工設備的工位加工裝置的晶棒定位機構的立體示意圖。
[0050]圖5是本實用新型晶棒加工設備的晶棒定位機構的壓緊塊與待加工的晶棒工件處于未接觸狀態的示意圖。
[0051]圖6是本實用新型晶棒加工設備的晶棒定位機構的壓緊塊與待加工的晶棒工件處于壓緊狀態的示意圖。
[0052]元件標號說明
[0053]100晶棒定位機構
[0054]10第一軸承座
[0055]20第二軸承座
[0056]210壓緊塊
[0057]310活塞桿
[0058]320驅動氣缸
[0059]410套筒
[0060]420連接耳板[0061 ] 421 軸套
[0062]422直線軌道
[0063]430水平連接桿
[0064]50伺服電機
[0065]I主軸機構
[0066]60基板
[0067]610轉動式底盤
[0068]611定位結構
[0069]620雙頭主軸
[0070]621第一加工裝置
[0071]622第二加工裝置
[0072]630第一驅動裝置
[0073]640安裝塊
[0074]70鎖止裝置
[0075]710鎖止結構
[0076]720第二驅動裝置
[0077]810晶棒輸送單元
[0078]90晶棒工件
[0079]SlOl?S107方法步驟
[0080]S201?S204方法步驟[0081 ]S2011 ?S2015方法步驟
【具體實施方式】
[0082]以下由特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式，熟悉此技術的人士可由本說明書所揭露的內容輕易地了解本實用新型的其他優點及功效。
[0083]參閱圖1所示，圖1是本實用新型應用于多工位晶棒加工設備的主軸機構的立體示意圖。本實用新型應用于多工位晶棒加工設備的主軸機構I，包括:
[0084]基板60，基板60上設有轉動式底盤610。
[0085]設置于轉動式底盤610上的雙頭主軸620，雙頭主軸620的第一端設有第一加工裝置621，雙頭主軸620的第二端設有第二加工裝置622。優選地，第一加工裝置621為磨削機且第二加工裝置622為拋光機，或第一加工裝置621為拋光機且第二加工裝置622為磨削機。
[0086]設置于基板60上且與轉動式底盤610相連的第一驅動裝置630，用于驅動轉動式底盤610進行轉動以使雙頭主軸620中的第一加工裝置621和第二加工裝置622切換位置。
[0087]本實用新型應用于多工位晶棒加工設備的主軸機構，通過在雙頭主軸的兩端分別設置兩種不同的加工裝置，當第一加工裝置加工完成后，通過第一驅動裝置驅動轉動式底盤旋轉180°就可以進行第二加工裝置的加工，這樣既保證了可以完成二種加工工序的要求，又可以節約一個工位，結構簡單實用。
[0088]進一步地，參見圖2所示，圖2是本實用新型應用于多工位晶棒加工設備的主軸機構去掉雙頭主軸后的立體示意圖。如圖2所示，轉動式底盤610為圓形底盤，轉動式底盤610的外周面布置有至少一對定位結構611，一對定位結構611之間的夾角與第一加工裝置621和第二加工裝置622之間的夾角相一致;基板60上設有鎖止裝置70，鎖止裝置70包括與轉動式底盤610的定位結構611相適配的鎖止結構710以及用于驅動鎖止結構710移動的第二驅動裝置720。優選地，定位結構611為插槽或插孔，鎖止結構710為伸縮式插銷。更優選地，一對定位結構611沿鉛垂線對稱布置，鎖止裝置70的數量為兩個，兩個鎖止裝置70沿水平線對稱布置于基板60上。
[0089]在本實用新型應用于多工位晶棒加工設備的主軸機構的一個較佳實施例中，還包括與基板60固接的安裝塊640，用于將本實用新型應用于多工位晶棒加工設備的主軸機構安裝于晶棒加工設備上。
[0090]參見圖3所示，圖3是本實用新型晶棒加工設備的立體示意圖。如圖3所示，本實用新型的晶棒加工設備，包括:
[0091]晶棒輸送單元810，呈圓盤形或圓環形且能旋轉運動以輸送待加工晶棒工件；
[0092]設置于晶棒輸送單元810的輸送行程上的多個工位，多個所述工位中的至少一個工位處設置有工位加工裝置，至少一個工位處設置有表面研磨單元，至少一個工位處設置有滾圓/倒角研磨單元；
[0093]晶棒移送單元，用于將待加工的晶棒工件移送至晶棒輸送單元810以及將隨晶棒輸送單元810運動而經包括所述工位加工裝置在內的多個所述工位進行加工作業后的所述晶棒工件移出晶棒輸送單元810。
[0094]優選地，晶棒輸送單元810的輸送行程上還設置有空位，其中，待加工的晶棒工件在所述空位內獲得定位；
[0095]所述空位，用于作為所述輸送行程的起點而接納晶棒移送單元所移送來的進行切割后的晶棒工件，以供晶棒輸送單元810將其向下一工位輸送；
[0096]所述空位，還用于作為所述輸送行程的終點而接納經歷所述各工位的加工后的晶棒工件，以供所述晶棒移送單元將其移出晶棒輸送單元810。
[0097]其中，晶棒輸送單元810包括:
[0098]圓盤形或圓環形本體，其圓弧形的周側表面設有齒帶；
[0099]驅動電機及連接所述驅動電機而受所述驅動電機驅動的聯動結構，所述聯動結構包括嚙合所述齒輪帶的轉動齒輪；
[0100]所述表面研磨單元包括:
[0101]第一容納空間，用于接納由晶棒輸送單元810輸送來的所述晶棒工件；
[0102]至少一砂輪組件，設置于所述第一容納空間；所述第一容納空間內設有橫向設置的供所述砂輪組件套接的能旋轉的單軸或雙軸，所述單軸或雙軸與所述第一容納空間的豎側壁設有的縱向滑動導引結構間能相對滑動地結合以令各砂輪組件能縱向運動，用于研磨所述第一容納空間中能進行自轉運動的所述晶棒工件的各個第一豎側面，所述第一豎側面是與所述晶棒工件的多邊形截面上倒角以外各邊對應的豎側面；
[0103]所述滾圓/倒角研磨單元包括:
[0104]第二容納空間，用于接納輸送來的晶棒工件；
[0105]至少一對磨輪，設置于所述第二容納空間，所述第二容納空間內設有橫向設置的供所述各磨輪套接的能旋轉的單軸或雙軸，所述單軸或雙軸與所述第二容納空間豎側壁設有的縱向滑動導引結構間能相對滑動地結合以令各磨輪能縱向運動;且所述一對磨輪在縱向及橫向上相互錯位地分置于所述第二容納中間中的晶棒工件兩側，用于以研磨所述第二容納空間中旋轉狀態下的晶棒工件上與其多邊形截面倒角對應的豎側面。
[0106]所述工位加工裝置包括:
[0107]晶棒定位機構100，用于放置待加工的晶棒工件90。
[0108]上述的主軸機構I，通過安裝塊640設置于晶棒定位機構100的側部。優選地，主軸機構I的數量為兩個，兩個主軸機構I對稱設置于晶棒定位機構100的兩側。
[0109]第三驅動裝置，用于驅動主軸機構I沿水平方向進行移動。
[0110]進一步地，參見圖4所示，圖4是本實用新型應用于多工位晶棒加工設備的工位加工裝置的晶棒定位機構的立體示意圖。如圖4所示，晶棒定位機構100包括:
[0111]設置于待加工的晶棒工件90的下方的第一軸承座10，用于放置待加工的晶棒工件90；
[0112]設置于待加工的晶棒工件90的上方的第二軸承座20，用于壓緊待加工的晶棒工件90，第二軸承座20的底部設有壓緊塊210，壓緊塊210的底面與待加工的晶棒工件90的頂面相適配;優選地，壓緊塊210為萬向調節座；
[0113]第四驅動裝置，用于驅動第二軸承座20沿豎直方向做可升降運動；
[0114]第五驅動裝置，用于驅動第二軸承座20的壓緊塊210繞豎直方向做旋轉運動。
[0115]其中，所述第四驅動裝置包括:
[0116]活塞桿310，通過中間連接件而固定連接于第二軸承座20;
[0117]連接于活塞桿310的驅動氣缸320，用于驅動活塞桿310沿豎直方向做可升降運動，以帶動第二軸承座20沿豎直方向做可升降運動。
[0118]通過驅動氣缸320驅動活塞桿310下降，可以通過活塞桿310帶動第二軸承座20下降，進而帶動壓緊塊210下降，使壓緊塊210壓緊待加工的晶棒工件90的頂面，使待加工的晶棒工件90在加工時的位置可以被固定。
[0119]其中，所述中間連接件又包括:
[0120]套筒410，套設于第二軸承座20的外部；
[0121]連接耳板420，連接耳板420的第一端固接于套筒410;
[0122]水平連接桿430，水平連接桿430的第一端固接于連接耳板420，水平連接桿430的弟—而固接于活塞桿310。
[0123]優選地，連接耳板420的數量為兩個，分別位于水平連接桿430的兩側;兩個連接耳板420上均形成有沿豎直方向布置的兩個軸套421，且兩個軸套421中穿設有一直線導軌422。直線導軌422可以起到導向的作用，保證了活塞桿310在進行升降運動時的豎直精度。
[0124]進一步地，第二軸承座20的中部形成有容置通道;所述第五驅動裝置為伺服電機50，伺服電機50的轉動軸穿過第二軸承座20的所述容置通道而連接于壓緊塊210。
[0125]以下是根據上述的工位加工裝置的晶棒加工方法，包括:
[0126]步驟S11:將待加工的晶棒工件90通過晶棒定位機構100定位;
[0127]步驟S102:通過主軸機構I的第一驅動裝置630驅動轉動式底盤610進行轉動，以使主軸機構I的第一加工裝置621轉動至朝向待加工的晶棒工件90的作業面的作業位置；
[0128]步驟S103:通過第三驅動裝置驅動主軸機構I靠近待加工的晶棒工件90，以使第一加工裝置621進入作業范圍內，通過第三驅動裝置驅動主軸機構I上下移動并通過第一加工裝置621對待加工的晶棒工件90進行第一工序加工作業；
[0129]步驟S104:待第一工序加工作業完成，通過所述第三驅動裝置驅動主軸機構I遠離待加工的晶棒工件90，以使第一加工裝置621脫離作業范圍外；
[0130]步驟S105:通過主軸機構I的第一驅動裝置630驅動轉動式底盤610轉動180°，以使主軸機構I的第二加工裝置622轉動至朝向待加工的晶棒工件90的作業面的作業位置；
[0131]步驟S106:通過所述第三驅動裝置驅動主軸機構I靠近待加工的晶棒工件90，以使第二加工裝置622進入作業范圍內，通過第三驅動裝置驅動主軸機構I上下移動并通過第二加工裝置622對待加工的晶棒工件90進行第二工序加工作業；
[0132]步驟S107:待第二工序加工作業完成，通過所述第三驅動裝置驅動主軸機構I遠離待加工的晶棒工件90進行移動，以使第二加工裝置622脫離作業范圍外。
[0133]通過上述的晶棒加工方法，通過在主軸機構的雙頭主軸的兩端分別設置兩種不同的加工裝置，當第一加工裝置加工完成后，通過第一驅動裝置驅動轉動式底盤旋轉180°就可以進行第二加工裝置的加工，這樣既保證了可以完成二種加工工序的要求，又可以節約一個工位，結構簡單實用。
[0134]以下是根據上述的晶棒加工設備的晶棒加工方法，包括:
[0135]步驟S201:利用晶棒定位機構100驅動待加工的晶棒工件90旋轉以轉換作業面;
[0136]步驟S202:利用主軸機構I中的第一加工裝置621對待加工的晶棒工件90中轉換后的作業面進行第一工序加工作業；
[0137]步驟S203:待第一工序加工作業完成，利用主軸機構I中的第二加工裝置622對待加工的晶棒工件90中轉換后的作業面進行第二工序加工作業;以及
[0138]步驟S204:待第二工序加工作業完成，將完成加工的晶棒工件90從晶棒定位機100構上取出。
[0139]其中，在步驟S201中，利用晶棒定位機構100驅動待加工的晶棒工件90旋轉以轉換作業面，包括以下步驟:
[0140]步驟S2011:將待加工的晶棒工件90放置在晶棒定位機構100的第一軸承座10上，此時壓緊塊210與待加工的晶棒工件90處于未接觸狀態，如圖5所示；
[0141]步驟S2012:通過晶棒定位機構100的所述第四驅動裝置的驅動氣缸320驅動活塞桿310下降，通過活塞桿310帶動第二軸承座20下降，通過第二軸承座20帶動壓緊塊210下降，使壓緊塊210壓緊待加工的晶棒工件90的頂面，以供對待加工的晶棒工件90的待加工部位進行加工，此時壓緊塊210與待加工的晶棒工件90處于壓緊狀態，如圖6所示；
[0142]步驟S2013:通過主軸機構I對待加工的晶棒工件90的待加工部位加工完成后，通過晶棒定位機構100的所述第五驅動裝置(伺服電機50)驅動壓緊塊210旋轉一設定角度，通過壓緊塊210帶動待加工的晶棒工件90旋轉所述設定角度，以供對待加工的晶棒工件90的其他待加工部位進行加工；
[0143]步驟S2014:通過主軸機構I對待加工的晶棒工件90的全部待加工部位完成加工后，通過晶棒定位機構100的所述第四驅動裝置的驅動氣缸320驅動活塞桿310上升，通過活塞桿310帶動第二軸承座20上升，通過第二軸承座20帶動壓緊塊210上升，使壓緊塊210脫離完成加工的晶棒工件90的頂面，此時壓緊塊210與待加工的晶棒工件90再次處于未接觸狀態，如圖5所示；
[0144]步驟S2015:將完成加工的晶棒工件90從晶棒定位機構100的第一軸承座10上取出。
[0145]本實用新型通過上述的晶棒加工方法，通過在主軸機構的雙頭主軸的兩端分別設置兩種不同的加工裝置，當第一加工裝置加工完成后，通過第一驅動裝置驅動轉動式底盤旋轉180°就可以進行第二加工裝置的加工，這樣既保證了可以完成二種加工工序的要求，又可以節約一個工位，結構簡單實用。通過第四驅動裝置壓緊待加工的晶棒工件，通過第五驅動裝置驅動壓緊塊帶動待加工的晶棒工件旋轉一設定角度，既可以對待加工的晶棒工件進行定位，又可以對待加工的晶棒工件進行旋轉，以供對待加工的晶棒工件的全部待加工部位進行全方位的加工。
[0146]本實用新型有效克服了現有技術中的種種缺點而具高度產業利用價值。
[0147]上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用于限制本實用新型。任何熟悉此技術的人士皆可在不違背本實用新型的精神及范疇下，對上述實施例進行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術領域中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精神與技術思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應由本實用新型的權利要求所涵蓋。
【主權項】
1.一種應用于多工位晶棒加工設備的主軸機構，其特征在于，包括: 基板，所述基板上設有轉動式底盤； 設置于所述轉動式底盤上的雙頭主軸，所述雙頭主軸的第一端設有第一加工裝置，所述雙頭主軸的第二端設有第二加工裝置； 設置于所述基板上且與所述轉動式底盤相連的第一驅動裝置，用于驅動所述轉動式底盤進行轉動以使所述雙頭主軸中的所述第一加工裝置和所述第二加工裝置切換位置。2.根據權利要求1所述的應用于多工位晶棒加工設備的主軸機構，其特征在于，所述第一加工裝置為磨削機，所述第二加工裝置為拋光機。3.根據權利要求1所述的應用于多工位晶棒加工設備的主軸機構，其特征在于: 所述轉動式底盤為圓形底盤； 所述轉動式底盤的外周面布置有至少一對定位結構，所述一對定位結構之間的夾角與所述第一加工裝置和所述第二加工裝置之間的夾角相一致； 所述基板上設有鎖止裝置，所述鎖止裝置包括與所述定位結構相適配的鎖止結構以及用于驅動所述鎖止結構移動的第二驅動裝置。4.根據權利要求3所述的應用于多工位晶棒加工設備的主軸機構，其特征在于: 所述定位結構為插孔或插槽； 所述鎖止結構為伸縮式插銷。5.—種應用于多工位晶棒加工設備的工位加工裝置，其特征在于，包括: 晶棒定位機構，用于放置待加工的晶棒工件； 根據權利要求1?4中任一項所述的主軸機構，設置于所述晶棒定位機構的側部； 第三驅動裝置，用于驅動所述主軸機構進行三維移動。6.根據權利要求5所述的應用于多工位晶棒加工設備的工位加工裝置，其特征在于，所述主軸機構的數量為兩個，兩個所述主軸機構對稱設置于所述晶棒定位機構的兩側。7.根據權利要求5所述的應用于多工位晶棒加工設備的工位加工裝置，其特征在于，所述晶棒定位機構包括: 第一軸承座，用于放置待加工的晶棒工件； 相對設置于所述第一軸承座上方的第二軸承座，用于壓緊待加工的晶棒工件，所述第二軸承座的底部設有與待加工的晶棒工件的頂面相適配的壓緊塊； 第四驅動裝置，用于驅動所述第二軸承座沿豎直方向做可升降運動； 第五驅動裝置，用于驅動所述壓緊塊繞豎直方向做旋轉運動以使待加工的晶棒工件轉換作業面。8.一種多工位晶棒加工設備，其特征在于，包括: 晶棒輸送單元，呈圓盤形或圓環形且能旋轉運動以輸送待加工晶棒工件； 設置于所述晶棒輸送單元的輸送行程上的多個工位，多個所述工位中的至少一個工位處設置有如權利要求5至7中任一項所述的工位加工裝置，至少一個工位處設置有表面研磨單元，至少一個工位處設置有滾圓/倒角研磨單元； 晶棒移送單元，用于將待加工的晶棒工件移送至所述晶棒輸送單元以及將隨所述晶棒輸送單元運動而經包括所述工位加工裝置在內的多個所述工位進行加工作業后的所述晶棒工件移出所述晶棒輸送單元。9.根據權利要求8所述的多工位晶棒加工設備，其特征在于，所述晶棒輸送單元的輸送行程上還設置有空位，其中，待加工的晶棒工件在所述空位內獲得定位； 所述空位，用于作為所述輸送行程的起點而接納晶棒移送單元所移送來的進行切割后的晶棒工件，以供所述晶棒輸送單元將其向下一工位輸送； 所述空位，還用于作為所述輸送行程的終點而接納經歷所述各工位的加工后的晶棒工件，以供所述晶棒移送單元將其移出所述晶棒輸送單元。10.根據權利要求8所述的多工位晶棒加工設備，其特征在于: 所述晶棒輸送單元包括: 圓盤形或圓環形本體，其圓弧形的周側表面設有齒帶； 驅動電機及連接所述驅動電機而受所述驅動電機驅動的聯動結構，所述聯動結構包括嚙合所述齒帶的轉動齒輪； 所述表面研磨單元包括: 第一容納空間，用于接納由所述晶棒輸送單元輸送來的所述晶棒工件； 至少一砂輪組件，設置于所述第一容納空間；所述第一容納空間內設有橫向設置的供所述砂輪組件套接的能旋轉的單軸或雙軸，所述單軸或雙軸與所述第一容納空間的豎側壁設有的縱向滑動導引結構間能相對滑動地結合以令各砂輪組件能縱向運動，用于研磨所述第一容納空間中能進行自轉運動的所述晶棒工件的各個第一豎側面，所述第一豎側面是與所述晶棒工件的多邊形截面上倒角以外各邊對應的豎側面； 所述滾圓/倒角研磨單元包括: 第二容納空間，用于接納輸送來的晶棒工件； 至少一對磨輪，設置于所述第二容納空間，所述第二容納空間內設有橫向設置的供所述各磨輪套接的能旋轉的單軸或雙軸，所述單軸或雙軸與所述第二容納空間豎側壁設有的縱向滑動導引結構間能相對滑動地結合以令各磨輪能縱向運動;且所述一對磨輪在縱向及橫向上相互錯位地分置于所述第二容納中間中的晶棒工件兩側，用于以研磨所述第二容納空間中旋轉狀態下的晶棒工件上與其多邊形截面倒角對應的豎側面。
【文檔編號】B24B19/22GK205497177SQ201620281401
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2016年4月6日
【發明人】盧建偉
【申請人】上海日進機床有限公司