真空設備的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種真空設備，其包括傳送室、與傳送室連通的過渡室及位于過渡室內用于運送玻璃基板的運送臂，所述真空設備還包括用于清掃運送臂的清掃裝置。本實用新型提供的真空設備上增加了清掃裝置，該清掃裝置可以自動清理真空設備內部運送臂上的玻璃碎片，因此，避免了現有人工清理所產生的問題。同時，該清掃裝置結構簡單，操作方便，裝有該清掃裝置的真空設備進行真空蒸鍍工藝的生產效率高。
【專利說明】
真空設備
技術領域
[0001]本實用新型涉及顯示面板制造技術領域，尤其涉及一種具有清掃裝置的真空設備。
【背景技術】
[0002]在OLED顯示面板的制造過程中，需要在玻璃基板上進行有機膜層的真空蒸鍍，該工作步驟需要在真空蒸鍍機內來完成。真空蒸鍍機內包括可以運送玻璃基板的傳送室、與傳送室連通的過渡室及與過渡室連通且用于進行真空蒸鍍工藝的若干工藝腔以及將玻璃基板從傳送腔及過渡室運送至工藝腔的運送臂。
[0003]玻璃基板在工藝腔內進行真空蒸鍍的過程中，可能受到掩模板下表面凸起的刮擦而使玻璃基板發生缺損的情況。當玻璃基板返回過渡室后，玻璃基板可能會發生破裂而使一些玻璃碎片殘留于運送臂上，該殘留的玻璃碎片會刮擦需要運送的下一片進行真空蒸鍍的玻璃基板，而對玻璃基板的表面造成損害。因此，需要對殘留于運送臂上的玻璃碎品進行及時清理。
[0004]現有清理運送臂上的玻璃碎片的方法一般通過人工清理，S卩，先打開真空蒸鍍機的閥門，往腔室內充氣實現破真空，然而打開腔室人工清理運送臂上玻璃碎片。
[0005]然而通過人工清理的方法會產生以下問題:
[0006]1、工藝室破真空與抽真空所需時間長，再次達到工作壓力大約需要6個小時；
[0007]2、消耗能源多，比如破真空時需要大量氮氣，抽真空時需要大量電能；
[0008]3、具有危險性，工藝室是一個相對密閉的空間，在破真空后內部含有大量氮氣，且不宜擴散，如果稍有操作不慎就可能會發生操作人員窒息等事件。
【實用新型內容】
[0009]本實用新型的目的是為了解決上述問題，提供一種能夠自動清理其內運送臂上玻璃碎片的真空設備。
[0010]為實現上述目的，本實用新型提供了一種真空設備，其包括傳送室、與傳送室連通的過渡室及位于過渡室內用于運送玻璃基板的運送臂，所述真空設備還包括用于清掃運送臂的清掃裝置。
[0011]進一步的，所述清掃裝置包括氣缸、與氣缸連接的氣缸連桿、與氣缸連桿連接的驅動馬達及與驅動馬達連接的用于清掃運送臂的清掃單元。
[0012]進一步的，所述清掃單元包括水平連接桿及位于水平連接桿兩側的毛刷。
[0013]進一步的，所述氣缸、氣缸連桿及驅動馬達位于所述傳送室外，所述清掃單元位于所述傳送室內。
[0014]進一步的，所述氣缸包括兩個，每個氣缸內包括活塞桿，兩個所述活塞桿連接至氣缸連桿的兩端。
[0015]進一步的，所述清掃裝置還包括連接氣缸連桿及驅動馬達的豎直連接桿。
[0016]進一步的，所述清掃裝置還包括連接驅動馬達及水平連接桿的驅動桿，所述驅動桿與所述水平連接桿之間通過絲杠齒輪結構或者渦輪蝸桿結構實現連接。
[0017]與現有技術相比，本實用新型實施例提供的真空設備上增加了清掃裝置，該清掃裝置可以自動清理真空設備內部運送臂上的玻璃碎片，因此，避免了現有人工清理所產生的問題。同時，該清掃裝置結構簡單，操作方便，裝有該清掃裝置的真空設備進行真空蒸鍍工藝的生產效率高。
【附圖說明】
[0018]此處所說明的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，構成本實用新型的一部分，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中:
[0019]圖1為本實用新型優選實施例提供的真空設備的立體視圖；
[0020]圖2為圖1所示真空設備內清掃裝置的放大示意圖。
【具體實施方式】
[0021]為使本實用新型的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合本實用新型具體實施例及相應的附圖對本實用新型技術方案進行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實施例僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0022]如圖1所示，本實用新型較佳實施例提供了一種真空設備100，其內包括運送玻璃基板(未圖示)的傳送室2、與傳送室2連通的過渡室3、與過渡室3連通的用于進行真空蒸鍍工藝的若干工藝室(未圖示)、位于過渡室3內將玻璃基板從傳送室2、過渡室3運送至工藝室內的運送臂4以及用于清掃由于玻璃基板破碎而殘留于運送臂4上的玻璃碎片的清掃裝置
I。上述真空設備100內還包括可以控制運送臂4的控制單元(未圖示)，運送臂4用于承載玻璃基板，在控制單元的控制下運送臂4可以進行伸縮、旋轉、升降及直線移動等動作。如此，待處理的玻璃基板可以在傳送室2、過渡室3及工藝室之間移動。真空設備100可以為真空蒸鍍機等設備。
[0023]以下針對本實用新型實施例提供的真空設備100的清掃裝置I作具體說明。
[0024]清掃裝置I包括安裝于傳送室2外的兩個氣缸11、安裝于傳送室2外且與兩個氣缸11連接的氣缸連桿12、與氣缸連桿12連接的驅動馬達13及與驅動馬達13連接的清掃單元14。兩個氣缸11可以驅動氣缸連桿12、與氣缸連桿12連接的驅動馬達13及與驅動馬達13連接的清掃單元14在豎直方向上移動。
[0025]具體的，兩個氣缸11安裝并固定于傳送室2外，每個氣缸11內具有一個可以移動的活塞桿111。每個活塞桿111的一端與氣缸連桿12的一端連接，因此，氣缸連桿12的兩端分別與兩個氣缸11連接。氣缸11工作時，兩個活塞桿111在氣體的帶動下驅動氣缸連桿12上下移動。
[0026]氣缸連桿12水平設置于傳送室2外，其通過一個豎直連接桿131連接至驅動馬達13。由于氣缸連桿12連接至驅動馬達13，當氣缸連桿12向下移動時，也帶動驅動馬達13向下移動。由于清掃單元14連接至驅動馬達13，因此，清掃單元14也會隨驅動馬達13鄉下移動而到達運動臂4的上方。豎直連接桿131連接至氣缸連桿12的中間位置使得驅動馬達13位于兩個氣缸11之間。
[0027]驅動馬達13設置于傳送室2外，其下方設置一個沿豎直方向延伸的驅動桿132。驅動桿132上端連接至驅動馬達13，驅動桿132的下端連接至清掃單元12。驅動桿132在驅動馬達13的驅動下在水平面內作旋轉運動，即沿Dl方向旋轉。
[0028]清掃單元14設置于傳送室2內，且位于傳送室2內的上方。清掃單元14包括水平連接桿141及位于水平連接桿141兩端的兩個毛刷142。驅動桿132連接至清掃單元14的水平連接桿141上，且與水平連接桿141之間通過絲杠齒輪結構或者渦輪蝸桿結構實現連接。這樣，驅動桿132在水平面內作旋轉運動時(沿Dl方向旋轉)，可以驅動水平連接桿141在豎直平面內也作旋轉運動，即沿D2方向旋轉，從而帶動毛刷142也沿D2方向作旋轉運動。
[0029]當需要清掃運送臂4上的玻璃碎片時，兩個氣缸11同時工作帶動氣缸連桿12、驅動馬達13及清掃單元14向下移動一定距離使得清掃單元14到達運送臂4的上方。此時，驅動馬達13開始工作帶動驅動桿132沿Dl方向作旋轉運動，在驅動桿132旋轉運動的帶動下，水平連接桿141及連接于水平連接桿141上的毛刷142也沿D2方向作旋轉運動。運送臂4在真空設備100內的控制單元的控制下作移動，使得運送臂4上的玻璃碎片能夠被清理干凈。
[0030]綜上，由于真空設備100上增加了清掃裝置I，該清掃裝置I自動清理真空設備100內部運送臂4上的玻璃碎片，因此，避免了現有人工清理所產生的問題。同時，該清掃裝置I結構簡單，操作方便，裝有該清掃裝置I的真空設備100進行真空蒸鍍工藝的生產效率高。
[0031]以上所述的具體實例，對本實用新型的目的、技術方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應理解的是，以上所述僅為本實用新型的具體實施例而已，并不用于限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種真空設備，其包括傳送室、與傳送室連通的過渡室及位于過渡室內用于運送玻璃基板的運送臂，其特征在于:所述真空設備還包括用于清掃所述運送臂的清掃裝置，所述清掃裝置包括氣缸、與所述氣缸連接的氣缸連桿、與所述氣缸連桿連接的驅動馬達及與所述驅動馬達連接的用于清掃運送臂的清掃單元。2.如權利要求1所述的真空設備，其特征在于，所述清掃單元包括水平連接桿及位于水平連接桿兩側的毛刷。3.如權利要求1或2所述的真空設備，其特征在于，所述氣缸、氣缸連桿及驅動馬達位于所述傳送室外，所述清掃單元位于所述傳送室內。4.如權利要求3所述的真空設備，其特征在于，所述氣缸包括兩個，每個氣缸內包括活塞桿，兩個所述活塞桿連接至氣缸連桿的兩端。5.如權利要求1所述的真空設備，其特征在于，所述清掃裝置還包括連接氣缸連桿及驅動馬達的豎直連接桿。6.如權利要求2所述的真空設備，其特征在于，所述清掃裝置還包括連接驅動馬達及水平連接桿的驅動桿，所述驅動桿與所述水平連接桿之間通過絲杠齒輪結構或者渦輪蝸桿結構實現連接。
【文檔編號】C23C14/24GK205443430SQ201521082653
【公開日】2016年8月10日
【申請日】2015年12月22日
【發明人】張珅駿, 朱曉慶
【申請人】昆山國顯光電有限公司