一種封閉結構的精密研磨拋光機的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種封閉結構的精密研磨拋光機，包括機臺、懸臂控制箱以及電箱，所述機臺外部設有殼體，所述電箱安裝在所述殼體的一側，所述機臺頂端設有與殼體連接的封板，所述懸臂控制箱的懸臂端安裝在所述封板上，所述封板上固設有蓋板，所述蓋板上開設有可連接排氣管的排氣口。本實用新型封閉結構的精密研磨拋光機對晶片研磨拋光過程中，使用的研磨拋光液分解散發出的氣味經排氣口通過排氣管由排氣設備排放至外部，給工作人員創造良好地工作環境。
【專利說明】
一種封閉結構的精密研磨拋光機
技術領域
[0001 ]本實用新型涉及一種封閉結構的精密研磨拋光機。
【背景技術】
[0002]研磨拋光機在晶片加工行業中應用比較廣泛，主要用于晶片的銅拋光與CMP拋光，屬于高精密加工，產品尺寸的精度要求較高。目前研磨機在晶片的研磨拋光等精加工過程中所使用的研磨拋光液，在加工過程中分解散發出比較刺激的氣味，給操作人員在工作上帶來諸多不便。
【發明內容】
[0003]鑒于以上所述，本實用新型有必要提供一種晶片在研磨拋光過程中研磨拋光液產生的氣體排放出去的封閉結構的精密研磨拋光機。
[0004]本實用新型提供的技術方案如下:一種封閉結構的精密研磨拋光機，包括機臺、懸臂控制箱以及電箱，所述機臺外部設有殼體，所述電箱安裝在所述殼體的一側，所述機臺頂端設有與殼體連接的封板，所述懸臂控制箱的懸臂端安裝在所述封板上，所述封板上固設有蓋板，所述蓋板上開設有可連接排氣管的排氣口。
[0005]進一步的，所述殼體包括的上殼體和下殼體，所述上殼體兩側分別開設有第一觀察窗口，第一觀察窗口上安裝有第一門板，所述上殼體的一端開設有第二觀察窗口，第二觀察窗口上安裝有第二門板，所述第一門板通過第一滑軌固定在上殼體上，所述第二門板通過第二滑軌固定在上殼體上。
[0006]進一步的，所述電箱安裝在上殼體上相對于第二門板的一端。
[0007]與現有技術相比，本實用新型封閉結構的精密研磨拋光機對晶片研磨拋光過程中，使用的研磨拋光液分解散發出的氣味經排氣口通過排氣管由排氣設備排放至外部，給工作人員創造良好地工作環境。
【附圖說明】
[0008]圖1是本實用新型封閉結構的精密研磨拋光機的主視圖；
[0009]圖2是本實用新型封閉結構的精密研磨拋光機的左視圖；
[0010]圖3是本實用新型封閉結構的精密研磨拋光機的右視圖；
[0011 ]圖4是本實用新型封閉結構的精密研磨拋光機的俯視圖。
【具體實施方式】
[0012]下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例，在不沖突的情況下，本申請中的實施例及實施例中的特征可以相互組合，下面將參考附圖并結合實施例來詳細說明本實用新型。
[0013]請參閱圖1、圖2，一種封閉結構的精密研磨拋光機，包括機臺、懸臂控制箱10以及電箱20。
[0014]機臺對晶片研磨拋光。
[0015]懸臂控制箱10用以控制機臺的工作狀態。
[0016]電箱20與機臺連接。
[0017]所述機臺外部設有殼體30，殼體30包括的上殼體31和下殼體32。結合參閱圖2、圖3，上殼體31兩側(圖示左右兩側)分別開設有第一觀察窗口，第一觀察窗口上安裝有第一門板311。請再次參閱圖1，上殼體31的一端(圖示前端)開設有第二觀察窗口，第二觀察窗口上安裝有第二門板312。第一門板311通過第一滑軌(圖未示)固定在上殼體31上，第一門板311在第一滑軌的行程內左右滑動，第二門板312通過第二滑軌(圖未示)固定在上殼體31上，并由氣缸控制第二門板312在有效行程內上下運動。通過第一門板311與第二門板312便于在機臺上取放晶片。
[0018]電箱20安裝在殼體30的一側，具體地，電箱20安裝在上殼體31上相對于第二門板312的一端，電箱20在上殼體31的后方獨立懸掛，以使電氣部分從設備中獨立出來，提高電氣安全等級。
[0019]請參閱圖4，所述機臺頂端設有與殼體30連接的封板40，懸臂控制箱10的懸臂端安裝在封板40上，控制箱面板置于殼體30的一側，便于操作。
[0020]封板40上固設有蓋板50，蓋板50上開設有可連接排氣管的排氣口51。以便于在排氣口 51處連接排氣管的一端，并使排氣管的另一端接入至排氣設備，工作時，研磨拋光液分解散發出的氣味經排氣口 51通過排氣管由排氣設備排放至外部。
[0021]晶片研磨拋光時，工作人員把晶片置放在機臺上，并將第一門板311與第二門板312關閉，使機臺外部形成封閉結構，通過操作懸臂控制箱10的控制箱面板，控制機臺對晶片研磨拋光，此加工過程中研磨拋光液分解散發出的氣味經排氣口 51通過排氣管由排氣設備排放至外部，給工作人員創造良好地工作環境。
[0022]綜上所述，本實用新型封閉結構的精密研磨拋光機對晶片研磨拋光過程中，使用的研磨拋光液分解散發出的氣味經排氣口通過排氣管由排氣設備排放至外部，給工作人員創造良好地工作環境。
[0023]以上所述僅為本實用新型的實施例，并非因此限制本實用新型的專利范圍，凡是利用本實用新型說明書內容所作的等效結構或等效流程變換，或直接或間接運用在其他相關的技術領域，均同理包括在本實用新型的專利保護范圍內。
【主權項】
1.一種封閉結構的精密研磨拋光機，包括機臺、懸臂控制箱(10)以及電箱(20)，其特征在于:所述機臺外部設有殼體(30)，所述電箱(20)安裝在所述殼體(30)的一側，所述機臺頂端設有與殼體(30)連接的封板(40)，所述懸臂控制箱(10)的懸臂端安裝在所述封板(40)上，所述封板(40)上固設有蓋板(50)，所述蓋板(50)上開設有可連接排氣管的排氣口(51)。2.根據權利要求1所述的封閉結構的精密研磨拋光機，其特征在于:所述殼體(30)包括的上殼體(31)和下殼體(32)，所述上殼體(31)兩側分別開設有第一觀察窗口，第一觀察窗口上安裝有第一門板(311)，所述上殼體(31)的一端開設有第二觀察窗口，第二觀察窗口上安裝有第二門板(312)，所述第一門板(311)通過第一滑軌固定在上殼體(31)上，所述第二門板(312)通過第二滑軌固定在上殼體(31)上。3.根據權利要求2所述的封閉結構的精密研磨拋光機，其特征在于:所述電箱(20)安裝在上殼體(31)上相對于第二門板(312)的一端。
【文檔編號】B24B37/34GK205438163SQ201620163116
【公開日】2016年8月10日
【申請日】2016年3月3日
【發明人】洪志清
【申請人】東莞金研精密研磨機械制造有限公司