一種用于板式pecvd設備的石墨框的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種用于板式PECVD設備的石墨框，包括復數個承載硅片的方格孔；石墨框的4條邊上均設有復數個頂針結構；且位于石墨框四周邊緣的方格孔內具有至少1個頂針結構，使其內放置的硅片高出方格孔所在的水平面。本實用新型使石墨框四周邊緣的方格孔內的硅片與石墨框之間保持一定的距離，從而避免了電池片與石墨框之間的鞘層效應，并以此達到改善上鍍膜邊緣色差和效率偏低的目的。
【專利說明】
-種用于板式PECVD設備的石墨框
技術領域
[0001] 本實用新型設及太陽能電池片生產領域，特別是一種用于板式PECVD設備的石墨 框，用于娃片的陽CVD鍛膜工藝。
【背景技術】
[0002] 太陽能是一種沒有污染、使用方便的可再生能源，有效地利用太陽能己經成為人 類的共識。在開發和利用太陽能的過程中，人們研制了太陽能電池，利用光伏效應直接把太 陽能轉化為電能。在太陽能電池中，晶體娃太陽能電池占市場主要分額。在制備晶體娃太陽 能電池過程中，制備減反射膜是一個必不可少的工序。近幾年來，氮化娃薄膜應用于晶體娃 太陽能電池的減反射膜，它不僅具有減反射膜的作用，還能起到純化作用，其成膜工藝、純 化及減反射性能受到人們的重視。
[0003] 目前，制備氮化娃薄膜主要采用等離子體增強化學氣相沉淀(PECVD)的方法，其使 用的設備主要有倒掛式PECVD設備和板式PECVD設備。現有的板式PECVD設備中承載娃片工 裝主要包括石墨框和架于石墨框上的石墨碳板;所述石墨框一般呈長方形，其2條長邊上設 有多個支撐片，用來支撐石墨碳板。石墨碳板上設有多個承載娃片的方格孔1。娃片需要鍛 膜時，將娃片2水平放置在石墨碳板的方格孔內，每一個方格孔內放置一片娃片。參見圖^2 所示。
[0004] 然而，實際應用發現：當載有電池片的石墨框運行至工藝反應腔體內時，石墨框邊 緣處與電池片直接接觸的區域，受等離子體中銷層現象的影響，會導致石墨框邊緣處電池 片沉積的氮化娃薄膜偏低，從而產生色差現象;此外，邊緣兩列電池片受色差影響，其轉換 效率(EF巧偏低0.05%W上，影響了電池片的外觀和質量。
【發明內容】
[0005] 本實用新型的目的在于提供一種用于板式PECV的受備的石墨框。
[0006] 為達到上述目的，本實用新型采用的技術方案是:一種用于板式PECVD設備的石墨 框，包括復數個承載娃片的方格孔;石墨框的4條邊上均設有復數個頂針結構;且位于石墨 框四周邊緣的方格孔內具有至少1個頂針結構，使其內放置的娃片高出方格孔所在的水平 面D
[0007] 優選的，所述頂針結構使方格孔內放置的娃片高出方格孔所在的水平面0.5~10 mm D
[000引上述技術方案中，所述石墨框的邊上設有插槽，插槽內插設有頂針，構成所述頂針 結構。
[0009] 優選的，所述頂針的厚度為0.^30 mm。
[0010] 上述技術方案中，所述位于石墨框四周邊緣的方格孔內具有^5個頂針結構。
[0011] 由于上述技術方案運用，本實用新型與現有技術相比具有下列優點：
[0012] 1.本實用新型通過在石墨框的邊上設置頂針結構，使石墨框四周邊緣的方格孔內 的娃片與石墨框之間保持一定的距離，從而避免了電池片與石墨框之間的銷層效應，并W 此達到改善上鍛膜邊緣色差和效率偏低的目的;提高了電池片的外觀和質量；
[0013] 2.本實用新型的結構簡單，成本較低，適于推廣應用。
【附圖說明】
[0014] 圖1為【背景技術】中板式陽CV的受備的石墨框的結構示意圖。
[0015] 圖2為【背景技術】中石墨框四周邊緣的方格孔內放置娃片的側視圖。
[0016] 圖3為本實用新型實施例一的結構示意圖。
[0017] 圖4為本實用新型實施例一中石墨框四周邊緣的方格孔內放置娃片的側視圖。
[0018] 圖5為本實用新型實施例一中頂針結構中頂針的結構示意圖。
[0019]其中：1、方格孔;2、娃片;3、邊;4、頂針結構。
【具體實施方式】
[0020] 下面結合附圖及實施例對本實用新型作進一步描述：
[0021] 實施例一；
[0022] 參見圖3~5所示，一種用于板式陽CVD設備的石墨框，包括復數個承載娃片的方格 孔1;石墨框的4條邊3上均設有復數個頂針結構4;且位于石墨框四周邊緣的方格孔內具有2 個頂針結構，使其內放置的娃片高出方格孔所在的水平面。
[0023] 所述頂針結構使方格孔內放置的娃片高出方格孔所在的水平面5 mm。
[0024] 所述石墨框的邊上設有插槽，插槽內插設有頂針，構成所述頂針結構。
[00巧]所述頂針的厚度為10 mm。
[0026] 對比例一
[0027] 采用【背景技術】中板式陽CV的受備的石墨框。
[0028] 然后采用實施例一和對比例一的設備制備氮化娃薄膜，測試其均勻性和轉換效率 (EFF)，對比如下： r00991
L0031J 從上表可見，與對比例一相比，本實用新型避免r電池片與石墨樞之同的稱層效 應，達到了改善上鍛膜邊緣色差和效率偏低的目的;最終提高了電池片的外觀和轉換效率。
【主權項】
1. 一種用于板式PECVD設備的石墨框，包括復數個承載硅片的方格孔（1);其特征在于： 石墨框的4條邊(3)上均設有復數個頂針結構(4);且位于石墨框四周邊緣的方格孔內具有 至少1個頂針結構，使其內放置的硅片高出方格孔所在的水平面。2. 根據權利要求1所述的用于板式PECVD設備的石墨框，其特征在于:所述頂針結構使 方格孔內放置的硅片高出方格孔所在的水平面〇. 5~10 mm。3. 根據權利要求1所述的用于板式PECVD設備的石墨框，其特征在于:所述石墨框的邊 上設有插槽，插槽內插設有頂針，構成所述頂針結構。4. 根據權利要求3所述的用于板式PECVD設備的石墨框，其特征在于:所述頂針的厚度 為0·1~30 mm。5. 根據權利要求1所述的用于板式PECVD設備的石墨框，其特征在于:所述位于石墨框 四周邊緣的方格孔內具有1~5個頂針結構。
【文檔編號】C23C16/458GK205420543SQ201520714692
【公開日】2016年8月3日
【申請日】2015年9月15日
【發明人】袁中存, 黨繼東, 張標, 沈波濤
【申請人】鹽城阿特斯陽光電力科技有限公司, 蘇州阿特斯協鑫陽光電力科技有限公司