一種pecvd載板自動清洗平臺的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種PECVD載板自動清洗平臺，包括底座、設在底座上的支架、設在支架上的傳送裝置、控制裝置、載板放置槽、清洗裝置，載板放置槽設有定位裝置和打磨電機，傳送裝置和控制裝置連接，控制著載板放置槽和打磨電機的升降移動。本實用新型清洗效果比傳統手工打磨好，打磨均勻、干凈，清洗載板速度快，節省時間，提高清洗效率，采用伺服電機精確控制載板放置槽的移動，清洗精度高。
【專利說明】
一種PECVD載板自動清洗平臺
技術領域
[0001 ]本實用新型涉及太陽能鍍膜技術領域，尤其涉及PECVD載板自動清洗平臺。
【背景技術】
[0002]PECVD系統是模塊化系統，在制備硅基異質結電池時，將硅片制絨及清洗預處理之后，硅片通過上料機構放置到載板上，進入預熱腔室，然后完成η(或P)層沉積，之后通過具有冷卻功能的冷卻機構進入下料機構，其中，硅片進入PECVD系統反應時是通過放在載板上來實現，因此載板有些部分會有硅的沉積，而載板從大氣進入腔室，加熱到冷卻的這種循環很容易使在載板上的沉積硅剝落到各個腔室內，造成沉積鈍化膜質量的下降。因此需要定期對PECVD載板和Showerhead進行保養清洗。
[0003]傳統方式是通過原位室清潔，此種方式的不足之處在于:占據了PECVD系統時間，降低了運行時間；載板和PECVD室的清潔頻率有很大的不同；原位清潔，使用NF3等離子體，成本高且破壞環境氣體;需要一項技術來增加系統正常運行時間和降低成本。
【實用新型內容】
[0004]針對上述問題，本實用新型提供了一種PECVD載板自動清洗平臺，實現PECVD載板和Showerhead清洗的機械自動化，代替傳統的人工操作，不但提高了清洗效率而且清晰效果佳。
[0005]為解決上述技術問題，本實用新型所采用的技術方案是:一種PECVD載板自動清洗平臺，所述自動清洗平臺包括底座、設在底座上的支架、設在支架上的傳送裝置、控制裝置、載板放置槽、清洗裝置，所述載板放置槽設有定位裝置和打磨電機，所述傳送裝置和控制裝置連接，控制著載板放置槽和打磨電機的升降移動。
[0006]進一步的，所述傳送裝置包括X軸導軌、Y軸導軌、Z軸導軌以及分別連接X軸導軌、Y軸導軌、Z軸導軌的X軸伺服電機、Y軸伺服電機和Z軸升降氣缸，所述X軸伺服電機、Y軸伺服電機設在支架上，所述Z軸升降氣缸設在載板放置槽上，Z軸升降氣缸通過Z軸導軌和打磨電機連接。
[0007]進一步的，所述控制裝置包括多功能電控柜，該多功能電控柜通過正反轉電路連接傳送裝置，所述多功能電控柜上設有步進電機控制器及十字搖桿。
[0008]進一步的，所述清洗裝置包括進水口、氣壓接入口、管道、壓力調節閥、電磁閥、限流閥以及廢水排出口，所述管道設在支架上，進水口通過管道和限流閥連接，氣壓接入口通過壓力調節閥、電磁閥和管道連接，所述廢水排出口設在載板放置槽上。
[0009]進一步的，所述定位裝置包括載板定位塊、載板支撐塊、位置傳感器，所述載板定位塊、載板支撐塊設在載板放置槽上，位置傳感器設在載板放置槽下方。
[0010]進一步的，所述打磨電機由左邊打磨機和右打磨機組成，所述Z軸導軌和Z軸升降氣缸由左Z軸導軌、左Z軸升降氣缸和右Z軸導軌和右Z軸升降氣缸，所述左Z軸升降氣缸通過左Z軸導軌和左打磨電機連接，所述右Z軸升降氣缸通過右Z軸導軌和右打磨電機連接。
[0011]由上述對本實用新型結構的描述可知，和現有技術相比，本實用新型具有如下優占.V W、.
[0012]本實用新型一種PECVD載板自動清洗平臺，采用伺服電機精確控制載板放置槽在X和Y軸導軌上移動，并在適當位置裝有位置傳感器，防止過度移動，在支架上安裝氣缸升降導軌，使打磨電機可以沿Z軸導軌上下移動，通過方便載板的取放，調壓閥、電磁閥和限流閥組合控制氣缸升降，確保打磨電機的平穩升降。清洗效果比傳統手工打磨好，打磨均勻、干凈，清洗載板速度快，節省時間，提高清洗效率，采用伺服電機精確控制載板放置槽的移動，清洗精度高。
【附圖說明】
[0013]構成本申請的一部分的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中:
[0014]圖1為本實用新型一種PECVD載板自動清洗平臺的結構示意圖；
[0015]圖2為本實用新型圖1的主視圖；
[0016]圖3為本實用新型一種PECVD載板自動清洗平臺的爆炸圖；
[0017]圖4為本實用新型中支架的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0018]為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。
[0019]實施例
[0020]一種PECVD載板自動清洗平臺采用伺服電機精確控制載板放置槽在X和Y軸導軌上移動，并在適當位置裝有位置傳感器，防止過度移動，在支架上安裝氣缸升降導軌，使打磨電機可以沿Z軸導軌上下移動，通過方便載板的取放，調壓閥、電磁閥和限流閥組合控制氣缸升降，確保打磨電機的平穩升降。
[0021]如圖3所示包括底座1、設在底座I上的支架2、設在支架2上的傳送裝置3、控制裝置
4、載板放置槽5、清洗裝置6，其中載板放置槽5設有定位裝置7和打磨電機8，傳送裝置3和控制裝置4連接，控制著載板放置槽5和打磨電機8的升降移動。
[0022]如圖1?圖2所示傳送裝置3包括X軸導軌30、Y軸導軌31、Z軸導軌32以及分別連接X軸導軌30、Y軸導軌31、Z軸導軌32的X軸伺服電機33、Y軸伺服電機34和Z軸升降氣缸35，所述X軸伺服電機33、Y軸伺服電機34設在支架2上，Z軸升降氣缸35設在載板放置槽5上，Z軸升降氣缸35通過Z軸導軌32和打磨電機8連接。所述控制裝置4包括多功能電控柜40，該多功能電控柜40通過正反轉電路連接傳送裝置3。多功能電控柜40上設有步進電機控制器41及十字搖桿42，多功能電控柜40控制左打磨電機和右打磨電機的開關、精確控制載板放置槽5在X軸導軌30和Y軸導軌31上運動并且可顯示可調節移動速度、控制打磨電機8沿Z軸導軌35上升降和急停功能，雙電機打磨提高清洗效率。，可獨立控制其開關，并可調整電機轉速，所述清洗裝，6包括進水口 60、氣壓接入口 61、管道62、壓力調節閥63、電磁閥64、限流閥65以及廢水排出口 66，所述管道62設在支架2上，進水口 60通過管道62和限流閥65連接，氣壓接入口61通過壓力調節閥63、電磁閥64和管道62連接，廢水排出口 66設在載板放置槽5上。定位裝置7包括載板定位塊70、載板支撐塊71、位置傳感器7 2，所述載板定位塊70、載板支撐塊71設在載板放置槽5上，在載板放置槽5有90°直角載板定位塊70，底部有載板支撐塊71，使載板放置槽5放置樣品的時候準確、輕便、快捷，位置傳感器72設在載板放置槽5下方，采用伺服電機精確控制載板放置槽5在X軸導軌30和Y軸導軌31上移動，并裝有位置傳感器72，防止過度移動。
[0023 ]如圖3為本實用新型一種PECVD載板自動清洗平臺的爆炸圖所示，底座I和支架2活動連接，清洗裝置6和打磨電機8固定在支架2上，底座I和載板放置槽5固定在一起。結構簡單，拆裝方便，方便維修和保養。
[0024]如圖4為為本實用新型中支架的結構示意圖，支架2為“門”字型結構，包括左基座20和右基座21，以及連接左基座20和右基座21的橫梁22，圖4所示的“門”字型結構的支架2提高了本實用新型的穩定性，在工作的時不會搖晃。
[0025]本實用新型清洗效果比傳統手工打磨好，打磨均勻、干凈，清洗載板速度快，節省時間，提高清洗效率，采用伺服電機精確控制載板放置槽的移動，清洗精度高。
[0026]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種PECVD載板自動清洗平臺，其特征在于:所述自動清洗平臺包括底座、設在底座上的支架、設在支架上的傳送裝置、控制裝置、載板放置槽、清洗裝置，所述載板放置槽設有定位裝置和打磨電機，所述傳送裝置和控制裝置連接，控制著載板放置槽和打磨電機的升降移動。2.根據權利要求1所述PECVD載板自動清洗平臺，其特征在于:所述傳送裝置包括X軸導軌、Y軸導軌、Z軸導軌以及分別連接X軸導軌、Y軸導軌、Z軸導軌的X軸伺服電機、Y軸伺服電機和Z軸升降氣缸，所述X軸伺服電機、Y軸伺服電機設在支架上，所述Z軸升降氣缸設在載板放置槽上，Z軸升降氣缸通過Z軸導軌和打磨電機連接。3.根據權利要求1所述PECVD載板自動清洗平臺，其特征在于:所述控制裝置包括多功能電控柜，該多功能電控柜通過正反轉電路連接傳送裝置。4.根據權利要求3所述PECVD載板自動清洗平臺，其特征在于:所述多功能電控柜上設有步進電機控制器及十字搖桿。5.根據權利要求1所述PECVD載板自動清洗平臺，其特征在于:所述清洗裝置包括進水口、氣壓接入口、管道、壓力調節閥、電磁閥、限流閥以及廢水排出口，所述管道設在支架上，進水口通過管道和限流閥連接，氣壓接入口通過壓力調節閥、電磁閥和管道連接，所述廢水排出口設在載板放置槽上。6.根據權利要求1所述PECVD載板自動清洗平臺，其特征在于:所述定位裝置包括載板定位塊、載板支撐塊、位置傳感器，所述載板定位塊、載板支撐塊設在載板放置槽上，位置傳感器設在載板放置槽下方。7.根據權利要求2所述PECVD載板自動清洗平臺，其特征在于:所述打磨電機由左邊打磨機和右打磨機組成，Z軸導軌和Z軸升降氣缸由左Z軸導軌、左Z軸升降氣缸和右Z軸導軌和右Z軸升降氣缸，左Z軸升降氣缸通過左Z軸導軌和左打磨電機連接，右Z軸升降氣缸通過右Z軸導軌和右打磨電機連接。
【文檔編號】B24B27/00GK205415238SQ201520981660
【公開日】2016年8月3日
【申請日】2015年12月2日
【發明人】王武鵬, 李鵬飛, 陳劍雨, 王樹林
【申請人】鈞石(中國)能源有限公司