一種旋轉靶材澆鑄工裝的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種工裝，具體涉及一種旋轉靶材澆鑄工裝，屬于機械技術領域。
【背景技術】
[0002]自旋轉靶材被開發出來后，靶材的利用率由傳統矩形平面靶材的40%提高到80%，大量節約鍍膜成本，從此旋轉靶材在大面積鍍膜行業得到了廣發應用。然而，制備長達4米的矩形靶材尚且不容易，而制備類似長度的中空圓柱靶材，更為不易，現有的旋轉Sn、ZnSn、ZnAl等低熔點的靶材一般都是采用澆鑄和噴涂工藝，在實際的實用過程中，存在著澆鑄工藝制備的管型管不可避免晶粒的過分長大，影響鍍膜的均勻性;噴涂工藝得到的管型管材料氧氮含量都比較高，且致密度較低，導致膜層品質與靶材壽命相對較低。
[0003]現有技術中公開了一些旋轉靶材的澆鑄工裝，例如CN102554149A、CN102260847A、CN104032271A、CN104399897A均公開了一種旋轉靶材的立式澆鑄工裝，其工裝組裝難度大，安全性能差，而且靶材密度均勻性不夠完美。
【實用新型內容】
[0004]為了解決上述技術問題，本實用新型提供一種旋轉靶材澆鑄工裝，該旋轉靶材澆鑄工裝用于低熔點的金屬或合金旋轉靶材的生產加工。可以加工旋轉銦靶材，旋轉鋅鋁靶材，旋轉鋅錫靶材，旋轉鋅錫銅靶材，旋轉鋁靶材等，采用橫澆鑄的形式，大大降低了模具安裝的難度，也提高了澆鑄操作的安全性。
[0005]本實用新型的技術方案如下:
[0006]—種旋轉靶材澆鑄工裝，其包括內模、外模、鎖緊裝置、定位端蓋、橫澆道、直澆道以及冒口；所述外模設置在內模的外周;所述定位端蓋用于連接內模和外模;所述鎖緊裝置用于鎖緊定位端蓋，并與內模螺紋連接;所述冒口在垂直軸向方向上設置在外模的管壁上。
[0007]其中，所述內模為不銹鋼管。
[0008]其中，所述鎖緊裝置為鎖緊螺母。
[0009]本實用新型具有如下有益效果:
[0010](I)該澆鑄工裝采用橫澆鑄的形式，大大降低了模具安裝的難度，也提高了澆鑄操作的安全性；
[0011](2)澆鑄工裝設置了兩個補縮點(冒口和澆道)，最終精加工將去除，保證靶材不會因為端部的補縮產生縮松縮孔缺陷，靶材密度均勻性更好；
[0012](3)澆鑄完成后，內模內通水霧冷卻能大大縮短靶材的冷卻時間，能生產細晶粒的金屬或合金靶材，且晶粒生長方向沿徑向生長，靶材的使用性能大大提供。(晶粒越細，靶材濺射速率越快，晶粒生長方向作為濺射面亦能提高濺射速率)
[0013](4)該澆鑄工裝安裝簡單，生產效率高。且可用于生產多種低熔點的金屬或合金旋轉靶材。最長可加工4米長的旋轉靶材。
【附圖說明】
[0014]圖1為本實用新型工裝的整體結構圖；
[0015]圖2是本實用新型圖1中的工裝沿著A-A方向切面的剖面圖；
[0016]圖中附圖標記表示為:
[0017]1-鎖緊裝置、2-定位端蓋、3-外模、4-內模、5-直澆道、6-橫澆道、7-冒口。
【具體實施方式】
[0018]下面結合附圖和具體實施例來對本實用新型進行詳細的說明。
[0019]參見圖1、圖2，一種旋轉靶材澆鑄工裝，其包括內模4、外模3、鎖緊裝置1、定位端蓋
2、橫澆道6、直澆道5以及冒口 7;所述外模3設置在內模4的外周;所述定位端蓋2用于連接內模4和外模3;所述鎖緊裝置I用于鎖緊定位端蓋2，并與內模4螺紋連接;所述冒口 7在垂直軸向方向上設置在外模3的管壁上;所述定位端蓋2確保澆鑄成品壁厚的一致性;所述外模3的內徑可以控制靶材的大小;所述直澆道5用于澆鑄液的注入，同時作為凝固階段的補縮;所述橫澆道用于澆鑄液形成穩流進入澆鑄型腔內；所述冒口7用于澆鑄凝固階段的補縮。
[0020]優選的，所述內模為不銹鋼管。
[0021 ]優選的，所述鎖緊裝置為鎖緊螺母。
[0022]以上所述僅為本實用新型的實施例，并非因此限制本實用新型的專利范圍，凡是利用本實用新型說明書及附圖內容所作的等效結構或等效流程變換，或直接或間接運用在其他相關的技術領域，均同理包括在本實用新型的專利保護范圍內。
【主權項】
1.一種旋轉靶材澆鑄工裝，其特征在于:包括內模、外模、鎖緊裝置、定位端蓋、橫澆道、直澆道以及冒口；所述外模設置在內模的外周;所述定位端蓋用于連接內模和外模;所述鎖緊裝置用于鎖緊定位端蓋，并與內模螺紋連接;所述冒口在垂直軸向方向上設置在外模的管壁上。2.如權利要求1所述的旋轉靶材澆鑄工裝，其特征在于:所述內模為不銹鋼管。3.如權利要求1或2所述的旋轉靶材澆鑄工裝，其特征在于:所述鎖緊裝置為鎖緊螺母。
【專利摘要】本實用新型涉及一種旋轉靶材澆鑄工裝，其包括內模、外模、鎖緊裝置、定位端蓋、橫澆道、直澆道以及冒口；所述外模設置在內模的外周；所述定位端蓋用于連接內模和外模；所述鎖緊裝置用于鎖緊定位端蓋，并與內模螺紋連接；所述冒口在垂直軸向方向上設置在外模的管壁上。
【IPC分類】C23C14/34
【公開號】CN205347564
【申請號】CN201521124653
【發明人】陳欽忠, 張科, 林志河
【申請人】福建阿石創新材料股份有限公司
【公開日】2016年6月29日
【申請日】2015年12月31日