一種半導體芯片拋光機的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及功率半導體器件生產設備技術領域，具體是一種半導體芯片拋光機。
【背景技術】
[0002]半導體芯片是在半導體片材上進行浸蝕，布線，制成的能實現某種功能的半導體器件，半導體芯片的發明是二十世紀的一項創舉，它開創了信息時代的先河。近年來，隨著國內半導體芯片制造業的迅猛發展及許多世界著名半導體芯片制造商在國內建廠的相繼投產，對半導體芯片制造過程中一些關鍵技術的應用越來越引起人們的高度重視，作為半導體芯片制造過程中頻繁使用的最重要的工序及保持半導體芯片整體和局部平面化的關鍵技術之一，半導體芯片拋光受到了高度關注。
[0003]目前半導體芯片拋光的方法是將待拋光芯片正面向下同拋光機表面接觸，拋光機勻速單向旋轉，以保證半導體芯片各點的相對速度一致，待拋光芯片與拋光機之間引入拋光液來優化拋光效果。這種半導體芯片的拋光方法存在以下問題:
[0004]1、半導體芯片與拋光機表面接觸，需要專門的機器固定住，不僅耗費物力，在重力作用下會出現固定不穩等情況，損害到半導體芯片。
[0005]2、拋光機上引入拋光液，在拋光機高速轉動時拋光液會甩出，給拋光機的使用帶來不便。
【實用新型內容】
[0006]為解決現有技術中的不足，本實用新型提供一種具有新結構的半導體芯片拋光機來對半導體芯片進行拋光，它結構簡單，使用方便，拋光效果好。
[0007]本實用新型為實現上述目的，通過以下技術方案實現:一種半導體芯片拋光機，包括固定架，所述固定架底部安裝電機，所述固定架上安裝用于控制電機轉速的調節開關，所述固定架頂部設置上臺板，所述上臺板上設置半圓孔，所述電機為空心軸電機，所述電機傳動軸上設置空心軸，所述空心軸一端穿過上臺板，暴露在上臺板頂端，所述空心軸另一端穿過固定架，暴露在固定架底端，所述空心軸底部設置萬向接頭，所述萬向接頭底端設置抽氣管，所述抽氣管一端設置抽氣機。
[0008]所述空心軸頂端設置蓋板，所述蓋板中間上設置通孔，所述蓋板與空心軸螺栓連接。
[0009]所述空心軸與上臺板連接處設置上軸承座，所述電機與固定架連接處設置下軸承座。
[0010]對比現有技術，本實用新型的有益效果在于:
[0011]1、本實用新型在使用時將半導體芯片放置在蓋板上，通過抽氣管將半導體芯片吸住，電機轉動帶動空心軸上的芯片轉動，手拿拋光布輕壓進行拋光，芯片固定效果好，結構簡單，使用方便。
[0012]2、本實用新型中將拋光液涂抹在拋光布上對芯片進行拋光，在上臺板的半圓孔內設置拋光液，不會對拋光液造成浪費，合理利用，避免了離心力將拋光液甩出帶來的不便。
[0013]3、蓋板上設置許多細小通孔，可以增大半導體芯片的受力面積，能夠防止半導體芯片在空心軸上受到吸力的損害，蓋板與空心軸之間螺栓連接，可以在空心軸上設置不同面積的蓋板，滿足不同大小的半導體芯片的拋光要求，便捷高效。
[0014]4、軸承座進一步固定住拋光機，提高了裝置運行時的穩定性。
【附圖說明】
[0015]附圖1是本實用新型結構示意圖。
[0016]附圖中所示標號:1、固定架;2、上臺板;3、空心軸;4、蓋板;5、半圓孔;6、電機;7、調節開關;8、萬向接頭;9、抽氣管；10、抽氣機;11、上軸承座;12、下軸承座;13、通孔。
【具體實施方式】
[0017]結合附圖和具體實施例，對本實用新型作進一步說明。應理解，這些實施例僅用于說明本實用新型而不用于限制本實用新型的范圍。此外應理解，在閱讀了本實用新型講授的內容之后，本領域技術人員可以對本實用新型作各種改動或修改，這些等價形式同樣落于本申請所附權利要求書所限定的范圍。
[0018]一種半導體芯片拋光機，包括固定架1，所述固定架I底部安裝電機6，所述固定架I上安裝用于控制電機6轉速的調節開關7，所述固定架I頂部設置上臺板2，所述上臺板2上設置半圓孔5，所述電機6為空心軸電機，所述電機6傳動軸上設置空心軸3，所述空心軸3—端穿過上臺板2暴露在上臺板2頂端，所述空心軸3另一端穿過固定架I暴露在固定架I底端，所述空心軸3底部設置萬向接頭8，所述萬向接頭8底端設置抽氣管9，所述抽氣管9 一端設置抽氣機10。本實用新型在使用時將半導體芯片放置在蓋板4上，通過抽氣管9將半導體芯片吸住，電機6轉動帶動空心軸3上的芯片轉動，手拿拋光布輕壓進行拋光，芯片固定效果好，結構簡單，使用方便，將拋光液涂抹在拋光布上對芯片進行拋光，在上臺板2的半圓孔5內設置拋光液，不會對拋光液造成浪費，合理利用，避免了離心力將拋光液甩出帶來的不便。
[0019]進一步的，所述空心軸3頂端設置蓋板4，所述蓋板4上設置通孔13，所述蓋板4與空心軸3螺栓連接。蓋板4上設置許多細小通孔13，可以增大半導體芯片的受力面積，能夠防止半導體芯片在空心軸3上受到吸力的損害，蓋板4與空心軸3之間螺栓連接，可以在空心軸3上設置不同面積的蓋板4，滿足不同大小的半導體芯片的拋光要求，便捷高效。
[0020]進一步的，所述空心軸3與上臺板2連接處設置上軸承座11，所述電機6與固定架I連接處設置下軸承座12。軸承座固定住拋光機，提高了裝置運行時的穩定性。
[0021]實施例1:
[0022]一種半導體芯片拋光機，包括固定架1，所述固定架I底部安裝電機6，所述固定架I上安裝用于控制電機6轉速的調節開關7，所述固定架I頂部設置上臺板2，所述上臺板2上設置半圓孔5，所述電機6為空心軸電機，所述電機6傳動軸上設置空心軸3，所述空心軸3—端穿過上臺板2暴露在上臺板2頂端，所述空心軸3另一端穿過固定架I暴露在固定架I底端，所述空心軸3底部設置萬向接頭8，所述萬向接頭8底端設置抽氣管9，所述抽氣管9 一端設置抽氣機10。本實用新型在使用時將半導體芯片放置在蓋板4上，通過抽氣管9將半導體芯片吸住，通過調節開關7將電機6調到合適轉速，電機6轉動帶動空心軸3上的芯片轉動，手拿拋光布輕壓進行拋光，芯片固定效果好，結構簡單，使用方便，將拋光液涂抹在拋光布上對芯片進行拋光，在上臺板2的半圓孔5內設置拋光液，不會對拋光液造成浪費，合理利用，避免了離心力將拋光液甩出帶來的不便。所述空心軸3頂端設置蓋板4，所述蓋板4上設置通孔13，所述蓋板4與空心軸3螺栓連接。蓋板4上設置許多細小通孔13，可以增大半導體芯片的受力面積，能夠防止半導體芯片在空心軸3上受到吸力的損害，蓋板4與空心軸3之間螺栓連接，可以在空心軸3上設置不同面積的蓋板4，滿足不同大小的半導體芯片的拋光要求，便捷高效。所述空心軸3與上臺板2連接處設置上軸承座11，所述電機6與固定架I連接處設置下軸承座12。軸承座進一步固定住拋光機，提高了裝置運行時的穩定性。
【主權項】
1.一種半導體芯片拋光機，包括固定架(I)，其特征在于:所述固定架(I)底部安裝電機(6)，所述固定架(I)上安裝用于控制電機(6)轉速的調節開關(7)，所述固定架(I)頂部設置上臺板(2)，所述上臺板(2)上設置半圓孔(5)，所述電機(6)為空心軸電機，所述電機(6)傳動軸上設置空心軸(3)，所述空心軸(3)—端穿過上臺板(2)暴露在上臺板(2)頂端，所述空心軸(3)另一端穿過固定架(I)暴露在固定架(I)底端，所述空心軸(3)底部設置萬向接頭(8)，所述萬向接頭(8)底端設置抽氣管(9)，所述抽氣管(9) 一端設置抽氣機(1)。2.根據權利要求1所述的一種半導體芯片拋光機，其特征在于:所述空心軸(3)頂端設置蓋板(4)，所述蓋板(4)上設置通孔(13)，所述蓋板(4)與空心軸(3)螺栓連接。3.根據權利要求1所述的一種半導體芯片拋光機，其特征在于:所述空心軸(3)與上臺板(2)連接處設置上軸承座(11)，所述電機(6)與固定架(I)連接處設置下軸承座(12)。
【專利摘要】本實用新型公開了一種半導體芯片拋光機，涉及功率半導體器件生產設備技術領域。一種半導體芯片拋光機，包括固定架，固定架上安裝電機和調節開關，固定架頂部設置上臺板，上臺板上設置半圓孔，電機為空心軸電機，電機傳動軸上設置空心軸，空心軸下方設置萬向接頭，萬向接頭底端設置抽氣管，抽氣管一端設置抽氣機，空心軸頂端設置蓋板，蓋板上設置通孔，蓋板與空心軸螺栓連接，空心軸與上臺板連接處設置上軸承座，電機與固定架連接處設置下軸承座。本實用新型的有益效果在于：芯片固定效果好，結構簡單，使用方便，提高了裝置運行的穩定性。
【IPC分類】B24B37/27, B24B57/02
【公開號】CN205310072
【申請號】CN201620095556
【發明人】于如遠, 高培成
【申請人】濟南金銳電子有限公司
【公開日】2016年6月15日
【申請日】2016年1月29日