一種真空中樣品臺的二維調節裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種金屬屏蔽罩，具體涉及一種錐形金屬短管熒光屏屏蔽罩。
【背景技術】
[0002]PLD的系統設備簡單，相反，它的原理卻是非常復雜的物理現象。它涉及高能量脈沖輻射沖擊固體靶時，激光與物質之間的所有物理相互作用，亦包括等離子羽狀物的形成，其后已熔化的物質通過等離子羽狀物到達已加熱的基片表面的轉移，及最后的膜生成過程。所以，PLD—般可以分為以下四個階段:1.激光輻射與靶的相互作用；2.熔化物質的動態;3.恪化物質在基片的沉積;4.薄膜在基片表面的成核(nuc I eat i on)與生成。所以，在沉積的過程中樣品的位置很重要，很難一步到位將樣品固定在一個固定的位置。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型目的是，針對現有技術存在的問題，本實用新型提供一種可以對真空中的樣品進行二維微調節的調節機構。
[0004]本實用新型的技術方案是，真空中樣品臺的二維調節裝置，樣品臺由樣品架固定置于柔性波紋管內，樣品架的樣品桿穿過柔性波紋管并固定在柔性波紋管的兩端法蘭，兩端法蘭分別裝置在柔性波紋管上的兩端，設有兩個固定板分別固定在柔性波紋管兩端的法蘭上，兩端的法蘭各固定一個固定板;兩個固定板之間且在柔性波紋管的上下位置用兩個耳板連接;兩個固定板之間用兩個耳板連接;每個耳板分別用第一微型調節器和第二微型調節器的活絡端頂住，第一微型調節器和第二微型調節器分別固定在兩個固定架上。
[0005]進一步，第一微型調節器和第二微型調節器的活絡端伸出方向互相垂直。
[0006]第一微型調節器和第二微型調節器的活絡端伸出方向互相垂直。
[0007]兩個固定板之間通過兩個耳板相連接。每個耳板各用一個微型調節器頂住，通過控制微型調節器的前進和后退來調節兩個CF35法蘭之間的相對位置，從而調節樣品臺在腔體中的位置。對樣品臺進行二維微型調節的調節機構。
[0008]本實用新型的有益效果:PLD的系統在真空沉積的過程中，樣品的位置很重要，可以一步到位將樣品調節固定在一個固定的位置。本實用新型可以對真空中的樣品臺進行兩個維度進行微調節的調節機構。調節機構方便簡明。
【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型的二維調節機構的結構使用說明圖。
[0010]圖2是圖1中左端法蘭安裝第二微型調節器9的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0011 ]下面結合附圖對本實用新型作進一步的說明。
[0012]本實用新型的實施方式:如圖所示，波紋管1、兩端的兩只法蘭2、3、兩塊耳板4、5、兩塊固定板6、7、第一微型調節器8、第二微型調節器9。樣品臺由樣品架固定置于柔性波紋管內，樣品架的樣品桿穿過柔性波紋管并固定在柔性波紋管的兩端法蘭，兩端法蘭分別裝置在柔性波紋管上的兩端，設有兩個固定板分別固定在柔性波紋管兩端的CF35法蘭上兩端的法蘭上各固定一個固定板。兩個固定板之間用兩個耳板連接，每個耳板各用一個微型調節器頂住，微型調節器固定在兩個固定架上。通過旋轉微型調節器來推進或放松耳板來調節兩個CF35法蘭的相對位置從而調節樣品的位置。將兩個固定板分別裝在兩頭是CF35法蘭的波紋管的法蘭上，兩個固定板之間通過兩個耳板連接，每一個耳板各用一個微型螺旋調節器頂住。
[0013]第一微型調節器和第二微型調節器均裝在左端法蘭2上，圖2中左端法蘭安裝第二微型調節器9的結構示意圖；圖1中左端法蘭安裝第一微型調節器8安裝結構。第一微型調節器和第二微型調節器的活絡端伸出方向互相垂直。
[0014]通過旋轉微型調節器(具有螺旋結構)來推進或放松耳板來調節兩個CF35法蘭的相對位置，從而起到調節樣品的位置的作用。如第一微型調節器可以控制樣品在水平方向上的擺動，則第二微型調節器可以控制樣品在豎直方向上的擺動。
[0015]雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然其并非用以限定本實用新型。本實用新型所屬技術領域具有通常知識者，在不脫離本實用新型的精神和范圍內，當可作各種更改和潤飾，但不超出本實用新型范圍。
【主權項】
1.真空中樣品臺的二維調節裝置，其特征是樣品臺由樣品架固定置于柔性波紋管內，樣品架的樣品桿穿過柔性波紋管并固定在柔性波紋管的兩端法蘭，兩端法蘭分別裝置在柔性波紋管上的兩端，設有兩個固定板分別固定在柔性波紋管兩端的法蘭上，兩端的法蘭各固定一個固定板;兩個固定板之間且在柔性波紋管的上下位置用兩個耳板連接;兩個固定板之間用兩個耳板連接;每個耳板分別用第一微型調節器和第二微型調節器的活絡端頂住，第一微型調節器和第二微型調節器分別固定在兩個固定架上。2.根據權利要求1所述的真空中樣品臺的二維調節裝置，其特征是第一微型調節器和第二微型調節器的活絡端伸出方向互相垂直。
【專利摘要】真空中樣品臺的二維調節裝置，樣品臺由樣品架固定置于柔性波紋管內，樣品架的樣品桿穿過柔性波紋管并固定在柔性波紋管的兩端法蘭，兩端法蘭分別裝置在柔性波紋管上的兩端，設有兩個固定板分別固定在柔性波紋管兩端的法蘭上，兩端的法蘭各固定一個固定板；兩個固定板之間且在柔性波紋管的上下位置用兩個耳板連接；兩個固定板之間用兩個耳板連接；每個耳板分別用第一微型調節器和第二微型調節器的活絡端頂住，第一微型調節器和第二微型調節器分別固定在兩個固定架上。
【IPC分類】G01N1/28, C23C14/54, C23C14/50
【公開號】CN205258595
【申請號】CN201520888567
【發明人】邵瑋
【申請人】蘇州新銳博納米科技有限公司
【公開日】2016年5月25日
【申請日】2015年11月10日