Cvd設備用吊具的制作方法
【專利說明】
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及微電子制造技術領域，尤其涉及一種CVD設備用吊具。
【【背景技術】】
[0002]化學氣相沉積(CVD，Chemical Vapor Deposit1n)是一種化學氣相反應生長法，目前這種技術不僅應用于制造耐熱物質的涂層，而且還應用于高純度金屬的精制、粉末合成、半導體薄膜等工藝中。其原理是，將反應氣體導入反應器腔室中，使其在熱能、等離子體或光能的作用下發生解離而變成活性極強的離子或離子團，離子或離子團通過擴散方式到達固體基板表面發生化學反應，生成固態產物并沉積在基板表面。整個CVD成膜工藝中，為了使反應沉積物精確地沉積于基板的預定位置形成特定形狀的膜，并防止沉積物薄膜變成顆粒(Particle)，通常會在PC腔的內部安裝屏蔽框(Shield Frame)，作為腔室的側墻，所述屏蔽框通過加熱升溫方式可有效抑制薄膜產生顆粒。但是，現有的屏蔽框普遍是由陶瓷器件拼裝而成，在采用吊具進行吊裝的過程中，由于吊具構造設計得不夠科學合理，時常會發生屏蔽框破碎，從而增加生產成本。
[0003]因此，確有必要提供一種新型的CVD設備用吊具來解決吊裝時屏蔽框易破碎的技術問題。
【【實用新型內容】】
[0004]本實用新型所解決的技術問題在于提供一種CVD設備用吊具，以改善現有技術中吊具吊裝過程屏蔽框易碎的問題。
[0005]為解決上述技術問題，本實用新型采用一種CVD設備用吊具，其包括收放調節裝置、位于收放調節裝置底部的承載導軌、安裝于所述承載導軌上的載板、以及連接相鄰兩個載板的連接板;所述收放調節裝置包括旋轉絲桿以及與旋轉絲桿連接的拉伸件，所述拉伸件的一端與所述載板連接。
[0006]作為本技術方案的進一步改進，所述承載導軌呈十字型;所述載板具有四個，其分別安裝于所述十字型承載導軌的四個方向上并構成一矩形框體。
[0007]作為本技術方案的進一步改進，所述載板的兩端設有與所述連接板連接的安裝部，所述安裝部向內傾斜設置且其與載板的外側邊之間的夾角為45度。
[0008]作為本技術方案的進一步改進，所述載板呈長條形，所述安裝部位于所述長條形載板的兩端且呈凹陷設置，所述安裝部上設有安裝孔，所述連接板上設有與所述安裝孔對應設置的槽孔。
[0009]作為本技術方案的進一步改進，所述載板的安裝部上設有向內凹陷的卡槽，所述卡槽與所述連接板的兩側邊配合連接。
[0010]作為本技術方案的進一步改進，所述拉伸件為拉伸絲桿，且拉伸絲桿的一端連接至所述載板上，另一端連接至所述旋轉絲桿上。
[0011]作為本技術方案的進一步改進，所述拉伸絲桿呈十字型設置，所述旋轉絲桿位于所述十字型拉伸絲桿的中心位置。
[0012]作為本技術方案的進一步改進，所述載板呈底角為45度的等腰梯形。
[0013]與現有技術相比，本實用新型所述CVD設備用吊具采用載板來承載屏蔽框，大大增加了吊具與屏蔽框之間的接觸面，減少了屏蔽框破碎的概率，同時通過旋轉絲桿和拉伸件的配合，可拉伸載板沿承載導軌作運動，方便吊具安全的退出腔室。
【【附圖說明】】
[0014]圖1為本實用新型CVD設備用吊具的結構示意圖。
[0015]圖2為本實用新型CVD設備用吊具一種實施例中載板與連接板的示意圖。
[0016]圖3為本實用新型CVD設備用吊具另一種實施例中載板與連接板的示意圖。
【【具體實施方式】】
[0017]請參閱圖1所示，本實用新型提供一種CVD設備用吊具100，其包括收放調節裝置10、位于收放調節裝置10底部的承載導軌20、位于所述承載導軌20上的載板30、以及連接相鄰兩個載板30的連接板40。
[0018]所述收放調節裝置10包括豎直設置的旋轉絲桿11以及與旋轉絲桿11連接的拉伸件12。所述旋轉絲桿11位于所述載板30的內側，并通過所述拉伸件12與各個載板30連接，所述旋轉絲桿11通過自身的轉動來帶動所述拉伸件12運動，從而由拉伸件12再帶動所述載板30運動。所述拉伸件12的一端連接至所述若干載板30上，另一端連接至所述旋轉絲桿11上，且拉伸件12可以采用多種結構形式，例如拉伸鋼絲或伸縮桿，在本實用新型較佳實施例中，所述拉伸件12為拉伸絲桿，其與各個所述承載導軌20配合連接，用于拉伸所述載板30，以調節載板30在承載導軌20上的位置，在本實施例中，所述拉伸絲桿呈十字型設置，所述旋轉絲桿11位于所述十字型拉伸絲桿的中心位置。
[0019]所述承載導軌20呈十字型，而且所述十字型承載導軌20與所述十字型拉伸絲桿形狀吻合。所述載板30安裝于所述承載導軌20上，并可在拉伸件12的作用下沿所述承載導軌20滑移，且在本實用新型較佳實施例中，所述載板30具有四個，其分別安裝于十字型承載導軌20的四個方向上，且相鄰兩個載板30之間通過所述連接板40銜接固定，如圖2所示，在本實施例中所述載板30呈長條形，其兩端設有凹陷的安裝部31，用于與相鄰位置的載板30配合連接，所述安裝部31朝向所述旋轉絲桿11傾斜設置，且所述安裝部31上設有安裝孔32，在較佳實施例中，所述載板30呈底角為45度的等腰梯形，即安裝部31與載板30外側邊之間的夾角為45度，因而相鄰兩個載板30在連接位置出的兩個安裝部31呈相互平行設置。所述連接板40的兩側設有與載板30連接的槽孔41，所述槽孔41與所述安裝孔32對應設置，通過在槽孔41和安裝孔32內設置固定件42(如螺栓、螺釘、定位銷等)實現連接板40與載板30的固定連接，而且所述連接板40還設有圓弧形外側邊43。
[0020]值得一提的是，所述載板30與連接板40的連接方式可以有多種實施方式，如圖3所示，所述載板30兩端的安裝部31為向內凹陷的卡槽33，在與連接板40連接時只需將所述連接板40的兩側邊44卡入所述卡槽33內即可，取下時也只需通過滑移的方式將連接板40抽出即可，可簡化安裝過程。
[0021]運行時，通過調節旋轉絲桿11將所述載板30均勻向四周拉伸，然后安裝所述連接板40，利用連接板40將四個載板30兩端銜接起來，使載板30構成一矩形框體;然后，將屏蔽框(未圖示)放置在所述載板30上，經天車(未圖示)吊裝至工藝腔室(未圖示)安裝好后，下降吊具100并取下連接板40;最后，調節旋轉絲桿11使四周載板30均向旋轉絲桿11中心收縮，確認吊具100與屏蔽框上下無交叉面(即吊具100垂直上升時不會觸碰到屏蔽框)后取出吊具100。整個過程中，通過設置載板30增加了吊具100與屏蔽框的接觸面積，可大大降低屏蔽框破碎的情況發生。
[0022]以上所述，僅是本實用新型的最佳實施例而已，并非對本實用新型作任何形式上的限制，任何熟悉本領域的技術人員，在不脫離本實用新型技術方案范圍情況下，利用上述揭示的方法內容對本實用新型技術方案做出許多可能的變動和修飾，均屬于權利要求書保護的范圍。
【主權項】
1.一種CVD設備用吊具，其特征在于，包括收放調節裝置、位于收放調節裝置底部的承載導軌、安裝于所述承載導軌上的載板、以及連接相鄰兩個載板的連接板;所述收放調節裝置包括旋轉絲桿以及與旋轉絲桿連接的拉伸件，所述拉伸件的一端與所述載板連接。2.根據權利要求1所述的CVD設備用吊具，其特征在于:所述承載導軌呈十字型;所述載板具有四個，其分別安裝于所述十字型承載導軌的四個方向上并構成一矩形框體。3.根據權利要求2所述的CVD設備用吊具，其特征在于:所述載板的兩端設有與所述連接板連接的安裝部，所述安裝部向內傾斜設置且其與載板的外側邊之間的夾角為45度。4.根據權利要求3所述的CVD設備用吊具，其特征在于:所述載板呈長條形，所述安裝部位于所述長條形載板的兩端且呈凹陷設置，所述安裝部上設有安裝孔，所述連接板上設有與所述安裝孔對應設置的槽孔。5.根據權利要求3所述的CVD設備用吊具，其特征在于:所述載板的安裝部上設有向內凹陷的卡槽，所述卡槽與所述連接板的兩側邊配合連接。6.根據權利要求1至5項中任意一項所述的CVD設備用吊具，其特征在于:所述拉伸件為拉伸絲桿，且拉伸絲桿的一端連接至所述載板上，另一端連接至所述旋轉絲桿上。7.根據權利要求6所述的CVD設備用吊具，其特征在于:所述拉伸絲桿呈十字型設置，所述旋轉絲桿位于所述十字型拉伸絲桿的中心位置。8.根據權利要求7所述的CVD設備用吊具，其特征在于:所述載板呈底角為45度的等腰梯形。
【專利摘要】本實用新型提供了一種CVD設備用吊具，其包括收放調節裝置、位于收放調節裝置底部的承載導軌、安裝于所述承載導軌上的載板、以及連接相鄰兩個載板的連接板；所述收放調節裝置包括旋轉絲桿以及與旋轉絲桿連接的拉伸件，所述拉伸件的一端與所述載板連接。與現有技術相比，本實用新型所述CVD設備用吊具采用載板來承載屏蔽框，大大增加了吊具與屏蔽框之間的接觸面，減少了屏蔽框破碎的概率，同時通過旋轉絲桿和拉伸件的配合，可拉伸載板沿承載導軌作運動，方便吊具的安全的退出腔室。
【IPC分類】C23C16/458
【公開號】CN205205224
【申請號】CN201520996939
【發明人】檀長兵
【申請人】昆山國顯光電有限公司
【公開日】2016年5月4日
【申請日】2015年12月3日