一種晶棒表面處理設備的校準裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于多晶硅片生產設備設計領域，具體涉及一種晶棒表面處理設備的校準裝置。
【背景技術】
[0002]為了提高多晶硅切片的成品率，通常在切片之前要利用多晶硅磨床對晶棒表面進行處理(即打磨)，進一步，為了提高多晶硅磨床的打磨效果及打磨效率，在晶棒送入打磨腔前需要將晶棒的擺放位置進行校準，目前，大都通過人工操作的方式對晶棒的擺放位置進行校準的，晶棒重量重，人工校準晶棒擺放位置的操作較為不便，并且人工操作也不能保證晶棒擺放位置的精度，這在很大程度上影響了晶棒的打磨效率及打磨效果，因此，設計能夠方便晶棒擺放并且提高晶棒擺放精度的一種晶棒表面處理設備的自動校準裝置，對于提高晶棒的打磨效率及打磨效果有著重要意義。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型所要解決的技術問題是，克服現有技術的缺陷，提供一種能實現自動校準晶棒位置，并有效保證晶棒擺放精度的晶棒表面處理設備的校準裝置。
[0004]為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案:一種晶棒表面處理設備的校準裝置，包括具有打磨腔的機架，在打磨腔前部設有能上下移動的支架和驅動所述支架上下移動的第一驅動裝置，所述支架上可移動設置有兩相對設置的第一機械臂和第二機械臂，所述支架設有適于驅動所述第一機械臂和所述第二機械臂同步相向或同步相離運動的第二驅動裝置，所述第一機械臂和所述第二機械臂下部相對的位置均設有用于推動晶棒的校準頭。
[0005]優選的，所述第一驅動裝置和所述第二驅動裝置均為氣動驅動裝置。
[0006]優選的，所述校準頭螺接設置于相應的所述第一機械臂和所述第二機械臂上。
[0007]優選的，所述校準頭適于與晶棒接觸的一端設有墊片。
[0008]優選的，所述第一機械臂和第二機械臂的數量均為兩個。
[0009]本實用新型的有益效果是:
[0010]采用本實用新型中的結構，在進行晶棒校準工序時，先由第一驅動裝置驅動支架向下移動，再由第二驅動裝置驅動第一機械臂、第二機械臂同步相向運動即由左右兩側向中間運動，并通過校準頭推動晶棒移動從而將晶棒擺正實現校準目的，完成晶棒校準之后，由第二驅動裝置驅動第一機械臂和第二機械臂同步相離運動即由中間向左右兩側運動，然后再由第一驅動裝置驅動支架向上移動到初始位置即裝棒位置的上方，從而完成晶棒校準的整個工序，這樣一來，就可以通過機械臂實現晶棒擺放位置的自動校準，同時保證校準精度，有效避免了人工校準晶棒擺放位置時操作繁瑣的問題，晶棒位置校準結束后，支架移動到高處，這樣就避免了機械臂對裝棒和卸棒操作帶來的影響，從而提高工作便捷性。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型中晶棒表面處理設備的校準裝置的結構示意圖。
[0012]圖中所示，1、機架，2、支架，3、第一驅動裝置，4、第一機械臂，5、第二機械臂，6、校準頭，7、墊片。
【具體實施方式】
[0013]下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0014]請參閱圖1，本實用新型提供一種技術方案:
[0015]—種晶棒表面處理設備的校準裝置，包括具有打磨腔的機架I，在打磨腔前部設有能上下移動的支架2和驅動支架2上下移動的第一驅動裝置3，支架2上可移動設置有兩相對設置的第一機械臂4和第二機械臂5，支架2設有適于驅動第一機械臂4和第二機械臂5同步相向或同步相離運動的第二驅動裝置，第一機械臂4和第二機械臂5下部相對的位置均設有用于推動晶棒的校準頭6。本實施例中第一機械臂4和第二機械臂5的數量各兩個，共四個校準頭6，四個校準頭6處于同一水平面上，并且第一機械臂4上的兩個校準頭6的連線和第二機械臂5上兩個校準頭6的連線相平行。在進行晶棒校準工序時，先由第一驅動裝置3驅動支架2向下移動，再由所述第二驅動裝置驅動第一機械臂4、第二機械臂5同步相向運動即由左右兩側向中間運動，并通過校準頭6推動晶棒移動從而將晶棒擺正實現校準目的，完成晶棒校準之后，由所述第二驅動裝置驅動第一機械臂4和第二機械臂5同步相離運動即由中間向左右兩側運動，然后再由第一驅動裝置3驅動支架2向上移動到初始位置即裝棒位置的上方，從而完成晶棒校準的整個工序，這樣一來，就可以通過機械臂實現晶棒擺放位置的自動校準，同時保證校準精度，有效避免了人工校準晶棒擺放位置時操作繁瑣的問題，晶棒位置校準結束后，支架移動到高處，這樣就避免了機械臂對裝棒和卸棒操作帶來的影響，從而提高工作便捷性。
[0016]第一驅動裝置3和所述第二驅動裝置均為氣動驅動裝置，這樣就提高了第一驅動裝置3和所述第二驅動裝置的驅動精度及強度;所述第二驅動裝置為雙端雙軸氣缸，即氣缸兩端均伸出兩個氣缸桿分別連接第一機械臂4和第二機械臂5，該氣缸的結構為現有技術，故本實施中對其結構不予贅述。
[0017]本實施例中，為了提高支架2上下移動時的穩定性，所述支架2與所述機架I之間設有導向結構，如在所述支架2上設置有導向槽，對應的在所述機架I相應位置設置導向凸條；或者作為上述結構的一種變形結構，為了進一步提高支架2上下移動時的穩定性，并減小所述支架2上下移動的過程中的摩擦力，確保支架2順暢移動，可在支架2上設置兩個導輪，對應的，在機架I上相應位置設置兩個導槽，所述導槽的長度方向沿上下方向設置。
[0018]校準頭6螺接設置于相應的第一機械臂4和第二機械臂5上;這樣設置，首先能夠使校準頭6安裝更加便捷，同時在對各校準頭6的位置進行調節時也比較方便，即通過旋擰校準頭6使其發生合適的軸向位移即可。
[0019]校準頭6適于與晶棒接觸的一端設有墊片7，墊片7可采用橡膠材料制成或采用皮革材料制成，這樣就可防止校準頭6推動晶棒移動進行位置校準的過程中對晶棒表面產生擦傷，保證產品質量。
[0020]盡管已經示出和描述了本實用新型的實施例，對于本領域的普通技術人員而言，可以理解在不脫離本實用新型的原理和精神的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型，本實用新型的范圍由所附權利要求及其等同物限定。
【主權項】
1.一種晶棒表面處理設備的校準裝置，包括具有打磨腔的機架(I)，其特征在于:在打磨腔前部設有能上下移動的支架(2)和驅動支架(2)上下移動的第一驅動裝置(3)，支架(2)上可移動設置有兩相對設置的第一機械臂(4)和第二機械臂(5)，支架(2)設有適于驅動第一機械臂(4)和第二機械臂(5)同步相向或同步相離運動的第二驅動裝置，第一機械臂(4)和第二機械臂(5)下部相對的位置均設有用于推動晶棒的校準頭(6)。2.根據權利要求1所述的一種晶棒表面處理設備的校準裝置，其特征在于:第一驅動裝置(3)和所述第二驅動裝置均為氣動驅動裝置。3.根據權利要求1所述的一種晶棒表面處理設備的校準裝置，其特征在于:校準頭(6)螺接設置于相應的第一機械臂(4)和第二機械臂(5)上。4.根據權利要求3所述的一種晶棒表面處理設備的校準裝置，其特征在于:校準頭(6)適于與晶棒接觸的一端設有墊片(7)。5.根據權利要求1所述的一種晶棒表面處理設備的校準裝置，其特征在于:第一機械臂(4)和第二機械臂(5)的數量均為兩個。
【專利摘要】本實用新型提出一種晶棒表面處理設備的校準裝置，包括具有打磨腔的機架，在打磨腔前部設有能上下移動的支架和驅動支架上下移動的第一驅動裝置，支架上可移動設置有兩相對設置的第一機械臂和第二機械臂，支架設有適于驅動第一機械臂和第二機械臂同步相向或同步相離運動的第二驅動裝置，第一機械臂和第二機械臂下部相對的位置均設有用于推動晶棒的校準部件。本實用新型具有減少人工校準晶棒擺放位置的勞動強度和提高生產效率的特點，并且防止機械臂在校準過程中對晶棒表面產生損傷的缺陷，大幅提高后續多晶硅切片的成品率。
【IPC分類】B24B41/00, B24B49/00
【公開號】CN205184526
【申請號】CN201521014450
【發明人】沈羽佳
【申請人】海寧光泰太陽能工業有限公司
【公開日】2016年4月27日
【申請日】2015年12月9日