一種藍寶石晶片的研磨裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及藍寶石襯底片的加工領域，特別是涉及一種藍寶石晶片的研磨裝置。
【背景技術】
[0002]藍寶石晶片研磨是藍寶石晶片制造中非常重要的一項工藝流程，它決定了藍寶石研磨后的TTV和WARP，以及表面粗糙度，現有的技術在應用中，一般先對漿料進行攪拌，然后倒入漿料桶中，使用漿料栗加輸送管的方式，把漿料輸送到研磨盤面上進行供給，研磨后的漿料重新回到漿料桶中，再循環利用，實際在研磨粉配置過程中，漿料攪拌往往很不均勻，沒有完全攪拌開，研磨漿料懸浮性差，很容易造成晶片破裂和粗糙度超差的情況，這些崩邊和破裂的晶片顆粒會進入到漿料中，循環使用再次輸送到盤面上，會造成整桶漿料不能繼續使用而浪費，研磨的晶片表面劃傷，出現劃痕，嚴重時會產生整盤爆盤，晶片全部損失的情況，加上研磨工藝過程控制不到位，造成研磨優質率下降，成本增高。
【實用新型內容】
[0003]針對上述問題，本實用新型提出了一種藍寶石晶片的研磨裝置及其研磨方法。
[0004]為解決以上技術問題，本實用新型提供的技術方案是：
[0005]一種藍寶石晶片的研磨裝置，其特征在于，包括漿料桶、蠕動栗和研磨機，所述蠕動栗包括2個栗頭、輸送管和栗出管，所述栗頭對輸送管進行輸送控制，所述輸送管和栗出管上分別套合有輸送軟管和栗出軟管，所述研磨機包括橫梁、漿料槽、研磨上盤和研磨下盤，所述橫梁上設有控制氣缸和軟管支架，所述控制氣缸豎直設置，包括氣缸桿，所述氣缸桿豎直朝下，并通過軸承與研磨上盤轉動連接，實現研磨上盤在豎直方向上的運動和水平方向上的轉動，所述漿料槽固定設置于研磨上盤上方，位于橫梁和研磨上盤之間，并與研磨上盤固接，漿料槽呈圓環形的溝槽狀，開口朝上，其下端面均勻設置于36個漏口，所述研磨上盤上設有36個貫穿研磨上盤的管接頭，所述管接頭均勻排布，并通過透明軟管與漏口連接，連通楽料槽；
[0006]所述漿料桶放置于研磨機一側，所述蠕動栗放置于研磨機的臺面上，所述輸送軟管的一端通過捆縛重物的方式，沉與漿料桶底部，所述栗出軟管的一端通過軟管支架可拆卸式固定于漿料槽正上方，并均勻分布，栗出軟管的出口正對漿料槽；
[0007]進一步的，所述蠕動栗數量至少為2臺；
[0008]進一步的，所述輸送軟管和栗出軟管為直徑為8毫米的透明軟管；
[0009]進一步的，所述研磨機上設有漿料排出口，所述漿料排出口配備有廢漿料桶。
[0010]本實用新型所述的一種藍寶石晶片的研磨裝置及其研磨方法，具有以下特點：
[0011](I)通過研磨機上盤上方的漿料槽，配合均勻分布的36個管接頭，能夠把漿料非常均勻的輸送到研磨盤面的相應位置，保證了漿料輸送的均勻性，同時保證了研磨的品質；
[0012](2)通過使用蠕動栗取代傳統的漿料栗的方式，漿料雖然沒有循環使用，但是蠕動栗輸送漿料更具有均勻性，也采用了較小的流量控制，漿料的耗用量并沒有增加，材料成本沒有上升；
[0013](3)通過使用蠕動栗取代傳統的漿料栗的方式，使漿料不再循環使用，帶有晶片崩邊和破裂顆粒的漿料不會再次循環到盤面上，極大的減少了劃痕和破片，爆盤事故的發生，減少了異常損失；
[0014](4)研磨的移除率更加穩定，不會產生過磨或移除率低的問題，且效率比較快，能達到I. 8um/min的移除率，提高了設備效率。
【附圖說明】
[0015]圖I供給裝置示意圖。
[0016]圖2漿料槽示意圖。
【具體實施方式】
[0017]如圖所示的一種藍寶石晶片的研磨裝置，其特征在于，包括漿料桶1、蠕動栗2和研磨機3，所述蠕動栗2包括2個栗頭4、輸送管5和栗出管6，所述栗頭4對輸送管5進行輸送控制，所述輸送管5和栗出管6上分別套合有輸送軟管7和栗出軟管8，所述研磨機3包括橫梁9、漿料槽10、研磨上盤11和研磨下盤19，所述橫梁9上設有控制氣缸12和軟管支架13，所述控制氣缸12豎直設置，包括氣缸桿14，所述氣缸桿14豎直朝下，并通過軸承與研磨上盤11轉動連接，實現研磨上盤11在豎直方向上的運動和水平方向上的轉動，所述漿料槽10固定設置于研磨上盤11上方，位于橫梁9和研磨上盤11之間，并與研磨上盤11固接，漿料槽10呈圓環形的溝槽狀，開口朝上，其下端面均勻設置于36個漏口 15，所述研磨上盤11上設有36個貫穿研磨上盤11的管接頭16，所述管接頭16均勻排布，并通過透明軟管與漏口 15連接，連通漿料槽10 ;
[0018]所述漿料桶I放置于研磨機3 —側，所述蠕動栗2放置于研磨機3的臺面上，所述輸送軟管7的一端通過捆縛重物的方式，沉與漿料桶I底部，所述栗出軟管8的一端通過軟管支架13可拆卸式固定于漿料槽10正上方，并均勻分布，栗出軟管8的出口正對漿料槽10 ；
[0019]其中，所述蠕動栗2數量至少為2臺，所述輸送軟管7和栗出軟管8為直徑為8毫米的透明軟管，所述研磨機3上設有漿料排出口 17，所述漿料排出口 17配備有廢漿料桶18。
[0020]本實用新型的一種藍寶石晶片的研磨裝置，研磨漿料經過蠕動栗抽取到漿料槽內，并通過漿料槽均勻輸送到研磨機的盤面上，研磨后，漿料通過漿料排出口直接排入廢漿料桶，不循環使用。
[0021]以上所述，僅為本實用新型較佳的【具體實施方式】，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍內。因此，本實用新型的保護范圍應該以權利要求書的保護范圍為準。
【主權項】
1.一種藍寶石晶片的研磨裝置，其特征在于，包括漿料桶、蠕動栗和研磨機，所述蠕動栗包括2個栗頭、輸送管和栗出管，所述栗頭對輸送管進行輸送控制，所述輸送管和栗出管上分別套合有輸送軟管和栗出軟管，所述研磨機包括橫梁、漿料槽、研磨上盤和研磨下盤，所述橫梁上設有控制氣缸和軟管支架，所述控制氣缸豎直設置，包括氣缸桿，所述氣缸桿豎直朝下，并通過軸承與研磨上盤轉動連接，實現研磨上盤在豎直方向上的運動和水平方向上的轉動，所述漿料槽固定設置于研磨上盤上方，位于橫梁和研磨上盤之間，并與研磨上盤固接，漿料槽呈圓環形的溝槽狀，開口朝上，其下端面均勻設置于36個漏口，所述研磨上盤上設有36個貫穿研磨上盤的管接頭，所述管接頭均勻排布，并通過透明軟管與漏口連接，連通漿料槽。2.如權利要求I所述的一種藍寶石晶片的研磨裝置，其特征在于，所述漿料桶放置于研磨機一側，所述蠕動栗放置于研磨機的臺面上，所述輸送軟管的一端通過捆縛重物的方式，沉與漿料桶底部，所述栗出軟管的一端通過軟管支架可拆卸式固定于漿料槽正上方，并均勻分布，栗出軟管的出口正對漿料槽。3.如權利要求I所述的一種藍寶石晶片的研磨裝置，其特征在于，所述蠕動栗數量至少為2臺。4.如權利要求I所述的一種藍寶石晶片的研磨裝置，其特征在于，所述輸送軟管和栗出軟管為直徑為8毫米的透明軟管。5.如權利要求I所述的一種藍寶石晶片的研磨裝置，其特征在于，所述研磨機上設有漿料排出口，所述漿料排出口配備有廢漿料桶。
【專利摘要】本實用新型提出的一種藍寶石晶片的研磨裝置，包括漿料桶、蠕動泵和研磨機，研磨機包括橫梁、漿料槽、研磨上盤和研磨下盤，研磨漿料經過蠕動泵抽取到漿料槽內，并通過漿料槽均勻輸送到研磨機的盤面上，研磨后，漿料通過漿料排出口直接排入廢漿料桶，不循環使用，本實用新型的特點在于，漿料的供給流量更精確，輸送更均勻，漿料的耗用量并沒有增加，材料成本沒有上升，漿料不再循環使用，極大的減少了劃痕、破片、爆盤事故的發生，減少了異常損失，保證了研磨的品質。
【IPC分類】B24B37/04, B24B37/34, B24B37/08, B24B57/02
【公開號】CN205148037
【申請號】CN201520854854
【發明人】趙元亞, 王晨宇, 王祿寶
【申請人】江蘇吉星新材料有限公司
【公開日】2016年4月13日
【申請日】2015年10月29日