傘形氣動擋板的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種真空蒸發鍍膜系統中的擋板，具體的說是一種傘形氣動擋板。
【背景技術】
[0002]真空蒸發鍍膜系統中光電倍增管鍍AL薄膜設備是加工生產光電倍增管的重要工藝組成部分，光電倍增管為直徑Φ500_全橢球形石英玻璃球殼，球殼豎直放置(球殼口向上)要求蒸鍍鋁膜位置為球殼開口方向赤道以上至玻殼頸部位置，同時赤道以下至球殼頂部不允許有任何劃傷，鍍膜邊緣整齊。
[0003]光電倍增管內部半球鍍膜，由于球殼開口遠小于球殼內徑，一直以來都是較難實現的鍍膜形式；為實現其只鍍半球，另外半球不鍍膜，普遍采取的方式為手動安置擋板于球殼內部，遮擋不鍍膜的半球。
[0004]手動安置擋板于球殼內部，難以避免對球殼內表面造成劃傷，不能滿足光電倍增管鍍膜要求；手動擋板為幾塊扇形板拼接成圓，鍍膜邊緣呈現鋸齒狀，極不整齊，鍍膜合格率低。同時由于球殼開口小、內徑大，手動安置擋板極不方便，工作效率低。
【實用新型內容】
[0005]針對現有技術中光電倍增管內部半球鍍膜采用手動遮擋方式導致球殼內表面造成劃傷、鍍膜邊緣極不整齊、工作效率低等不足，本實用新型要解決的技術問題是提供一種可避免對玻殼造成損害、增大光電倍增管鍍膜合格率、提高工作效率的傘形氣動擋板。
[0006]為解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案是:
[0007]本實用新型傘形氣動擋板，包括控制氣缸、傘支桿及傘形擋板，其中控制氣缸安裝于傘支桿的一端，傘支桿的另一端連接傘形擋板。
[0008]傘支桿為一細長形桿，細長形桿內部設有抽拉桿，抽拉桿的一端與控制氣缸的活塞桿連接，抽拉桿的另一端連接傘形擋板的固定盤。
[0009]傘形擋板為四連桿機構，其上有兩個圓盤，其中一個為固定盤，與傘支桿連接，固定不動，另外一個為移動盤，與抽拉桿連接，上下移動，兩個圓盤通過多套四連桿機構相互連接。
[0010]所述四連桿機構為16?40套。
[0011]傘形擋板懸浮于球殼內部，打開或收起時與球殼沒有任何接觸點。
[0012]本實用新型具有以下有益效果及優點:
[0013]1.本實用新型針對光電倍增管半球鍍AL薄膜研制開發了傘形氣動擋板，實現擋板自動展開及收起，擋板不接觸玻殼，避免了對玻殼造成損害，增大了光電倍增管鍍膜合格率，提高工作效率。
[0014]2.本實用新型傘形氣動擋板為氣動控制，操作極為簡單，點動控制按鈕即可實現擋板撐開及回收，極大的提高了鍍膜效率。
[0015]3.本實用新型傘形氣動擋板撐開后為一圓形平面，球殼鍍膜后，邊緣極為整齊。
【附圖說明】
[0016]圖1為本實用新型傘形氣動擋板展開狀態示意圖；
[0017]圖2為本實用新型傘形氣動擋板收起狀態示意圖。
[0018]其中，I為傘形擋板，2為傘支桿，3為光電倍增管，4為控制氣缸，A為鍍膜面，B為不鍍膜面。
【具體實施方式】
[0019]下面結合說明書附圖對本發明作進一步闡述。
[0020]如圖1所示，本實用新型傘形氣動擋板包括控制氣缸4、傘支桿2及傘形擋板1，其中控制氣缸4安裝于傘支桿2的一端，傘支桿2的另一端連接傘形擋板I。
[0021]傘支桿2為一細長形桿，細長形桿內部設有抽拉桿，抽拉桿的一端與控制氣缸4的活塞桿連接，抽拉桿的另一端連接傘形擋板I的固定盤。
[0022]傘形擋板I為四連桿機構，其上有兩個圓盤，其中一個為固定盤，與傘支桿2連接，固定不動，另外一個為移動盤，與抽拉桿連接，上下移動，兩個圓盤通過多套四連桿機構相互連接。四連桿機構為16?40套，本實施例采用36套。
[0023]控制氣缸4主要控制傘形擋板I的撐開至直徑Φ500ι?πι以內及收回至直徑90mm以內，依靠電磁閥控制。傘形擋板I主體外部的細長形桿為直線度及圓度極高的不銹鋼管，內部安裝直線度及圓度極高的不銹鋼抽拉桿，控制氣缸4帶動不銹鋼桿于不銹鋼管內部上下運動，實現傘形擋板I的撐開及收起，收起狀態示意圖如圖2所示。
[0024]傘形擋板I懸浮于球殼內部，傘形氣動擋板撐開后為一圓形平面，與球殼內壁之間留有縫隙，沒有任何接觸點，就實現了鍍膜時對球殼內表面的零劃傷，保證了球殼鍍膜的合格率，球殼鍍膜后，邊緣極為整齊。
[0025]本實用新型為氣動控制，操作極為簡單，點動控制按鈕即可實現擋板撐開及回收，極大的提高了鍍膜效率。
【主權項】
1.一種傘形氣動擋板，其特征在于:包括控制氣缸、傘支桿及傘形擋板，其中控制氣缸安裝于傘支桿的一端，傘支桿的另一端連接傘形擋板。2.按權利要求1所述的傘形氣動擋板，其特征在于:傘支桿為一細長形桿，細長形桿內部設有抽拉桿，抽拉桿的一端與控制氣缸的活塞桿連接，抽拉桿的另一端連接傘形擋板的固定盤。3.按權利要求1所述的傘形氣動擋板，其特征在于:傘形擋板為四連桿機構，其上有兩個圓盤，其中一個為固定盤，與傘支桿連接，固定不動，另外一個為移動盤，與抽拉桿連接，上下移動，兩個圓盤通過多套四連桿機構相互連接。4.按權利要求3所述的傘形氣動擋板，其特征在于:所述四連桿機構為16?40套。5.按權利要求1所述的傘形氣動擋板，其特征在于:傘形擋板懸浮于球殼內部，打開或收起時與球殼沒有任何接觸點。
【專利摘要】本實用新型涉及一種傘形氣動擋板，包括控制氣缸、傘支桿及傘形擋板，其中控制氣缸安裝于傘支桿的一端，傘支桿的另一端連接傘形擋板；傘支桿為一細長形桿，細長形桿內部設有抽拉桿，抽拉桿的一端與控制氣缸的活塞桿連接，抽拉桿的另一端連接傘形擋板的固定盤。本實用新型實現擋板自動展開及收起，擋板不接觸玻殼，避免了對玻殼造成損害，增大了光電倍增管鍍膜合格率，提高工作效率，球殼鍍膜后，邊緣極為整齊。
【IPC分類】C23C14/04, C23C14/24
【公開號】CN204779783
【申請號】CN201520490801
【發明人】慈連鰲
【申請人】沈陽騰鰲真空技術有限公司
【公開日】2015年11月18日
【申請日】2015年7月9日