一種弧形石英支架的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及石英制品領域，特別涉及一種能用于氣相反應的石英支架組件。
【背景技術】
[0002]由于CVD化學氣相沉積法制備石墨烯簡單易行，所得石墨烯質量很高，可實現大面積生長，而且較易于轉移到各種基體上使用，目前已逐漸成為制備高質量石墨烯薄膜的主要方法。然而用CVD法制備石墨烯需要在高溫真空腔體中進行，由于爐管內恒溫區的長度與管徑的尺寸有限，限制了單次生長石墨烯薄膜的尺寸和面積，難以實現工業化量產。若石墨烯薄膜的尺寸過小，會影響后續的器件應用；若單次生長的數量少，則直接導致生產成本的增加。合適的單個支架設計尤為重要。其次，在化學氣相沉積工藝中，當在高溫或高壓的條件下，會發生明顯的熱對流，氣流的穩定性和分布的均勻性直接影響薄膜生長的均勻性。
【發明內容】
[0003]針對現有技術中單次生長石墨烯薄膜的尺寸小和數量少，以及氣流分布不均勻的問題，本方法提供了一種弧形石英支架。
[0004]弧形石英支架，包括弧形底座以及位于弧形底座兩端的弧形擋板，在弧形擋板上端開設有半開通的凹槽，在弧形擋板上設置有通孔。
[0005]進一步地，上述弧形底座和擋板均為石英材質。
[0006]進一步地，弧形底座的弧度和寬度根據CVD生長腔體的形狀和大小進行調整；弧形底座的長度根據CVD生長腔體的保溫區長度進行調整；弧形擋板的高度根據CVD生長腔體的直徑進行調整。
[0007]進一步地，上述半開通的凹槽用來放置石英棒或金屬棒，凹槽的大小和個數根據所使用的石英棒或金屬棒的尺寸進行調整。
[0008]本實用新型的有益效果是:弧形底座和弧形的擋板可以更好地與腔體進行結合，保證最大的空間利用率；弧形部分的掛裝尺寸得到了增加；半開通凹槽對放置進去的石英棒能起到良好的固定作用，防止石英棒的來回移動；弧形擋板上的通孔能夠保證氣流的均勻性。
【附圖說明】
[0009]附圖1是本實用新型的主視圖。
[0010]附圖2是本實用新型的側視圖。
[0011]附圖3是本實用新型的俯視圖。
[0012]圖中標號:1、石英支架；2、圓形CVD腔體；11、弧形底座；12、弧形擋板；121、擋板上端凹槽；122、擋板通孔；H、石英支架總高度；L、石英支架總長。
【具體實施方式】
[0013]下面結合附圖，說明本實用新型的【具體實施方式】。
[0014]弧形石英支架包括弧形底座11、位于底座兩端的弧形擋板12、位于弧形擋板12上端的凹槽121以及在擋板12上設置的通孔122，弧形底座11和擋板12均為石英材質，所述凹槽121是未貫穿石英擋板的半開通槽，槽大小和形狀根據所用支撐桿決定，支撐桿剛好能夠放入槽內固定。弧形底座11的弧度和寬度根據CVD生長腔體的形狀和大小進行調整；弧形底座的長度根據CVD生長腔體的保溫區長度進行調整；弧形擋板的高度根據CVD生長腔體的直徑進行調整。
[0015]本實施例中，石英支架總高度H為10mm ;石英支架總長度L為650mm ;弧形擋板12的兩側為平面而非弧面；凹槽121的數量為4個，均勻分布且中心面對稱；擋板通孔122為方形，數量為1，尺寸為35mmX40mm。
[0016]最后應說明的是:以上所述僅為本實用新型的優選實施例而已，并不用于限制本實用新型，盡管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細的說明，對于本領域的技術人員來說，其依然可以對前述各實施例所記載的技術方案進行修改，或者對其中部分技術特征進行等同替換。凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種弧形石英支架，其特征在于:包括弧形底座以及位于弧形底座兩端的弧形擋板，在弧形擋板上端開設有半開通的凹槽，在弧形擋板上設置有通孔。2.如權利要求1所述的弧形石英支架，其特征在于:所述的弧形底座和擋板均為石英材質。3.如權利要求1所述的弧形石英支架，其特征在于:弧形底座的弧度和寬度根據CVD生長腔體的形狀和大小進行調整；弧形底座的長度根據CVD生長腔體的保溫區長度進行調整；弧形擋板的高度根據CVD生長腔體的直徑進行調整。4.如權利要求1所述的弧形石英支架，其特征在于:所述半開通的凹槽用來放置石英棒或金屬棒，凹槽的大小和個數根據所使用的石英棒或金屬棒的尺寸進行調整。
【專利摘要】本實用新型提供了一種弧形石英支架，包括弧形底座以及位于弧形底座兩端的弧形擋板，在弧形擋板上端開設有半開通的凹槽，在弧形擋板上設置有通孔。弧形底座和擋板均為石英材質。半開通的凹槽用來放置石英棒或金屬棒，凹槽的大小和個數根據所使用的石英棒或金屬棒的尺寸進行調整。本實用新型的弧形底座和弧形的擋板可以更好地與腔體進行結合，保證最大的空間利用率；弧形部分的掛裝尺寸得到了增加；半開通凹槽對放置進去的石英棒能起到良好的固定作用，防止石英棒的來回移動；弧形擋板上的通孔能夠保證氣流的均勻性。
【IPC分類】C23C16/458
【公開號】CN204702805
【申請號】CN201520368809
【發明人】蔣健偉, 廖威
【申請人】無錫格菲電子薄膜科技有限公司
【公開日】2015年10月14日
【申請日】2015年6月2日