一種軟啟動研磨盤的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種軟啟動研磨盤。
【背景技術】
[0002]現有的晶體片在研磨的過程中，由于之前控制氣缸上升的氣動裝置在使上研磨盤上升的過程中上升過快，很容易將貼合在上下工作盤上的晶體片帶起，掉落容易使得晶片碎裂，導致成品率降低，增加了生產成本。
【發明內容】
[0003]本實用新型的目的是為了解決上述技術的不足而設計的一種軟啟動研磨盤。
[0004]本實用新型所設計的一種軟啟動研磨盤，包括氣缸，氣桿，支架，研磨液輸送支管，研磨液輸送總管，動力機頭，傳動軸，上研磨盤，下研磨盤，液槽，工作箱，電磁閥，增壓泵，傳感器，過濾吸附機構，研磨液收集管，研磨液收集箱，調壓器，離心過濾器和散熱器，所述的動力機頭與傳動軸連接，所述的傳動軸與上研磨盤連接，所述的下研磨盤固定在液槽內，其特征在于:所述的氣缸一側設有調壓器，所述的調壓器與氣缸的上腔和下腔連接。
[0005]作為一種優選，所述的上研磨盤上設有多個均布的研磨液輸送通道，所述的液槽下方設有研磨液收集管，所述的研磨液收集管與離心過濾器連接。
[0006]作為一種優選，所述的離心過濾器后設有過濾吸附機構。
[0007]作為一種優選，所述的過濾吸附機構為無紡布過濾機構。
[0008]作為一種優選，所述的研磨液輸送總管與研磨液收集箱的下方連接。
[0009]作為一種優選，所述的研磨液輸送總管上設有電磁閥。
[0010]作為一種優選，所述的研磨液輸送總管上設有增壓泵。
[0011]作為一種優選，所述的研磨液輸送支管上設有傳感器。
[0012]作為一種優選，所述的散熱器在研磨液收集箱的上方。
[0013]本實用新型中，通過調壓器的設置，可以調節氣缸上下腔之間的氣壓差，使得氣缸前后的氣壓差減小，從而使得氣缸在上升的過程中上升加速度減小，從而使得晶體片不易掉落，降低了報廢率。
【附圖說明】
[0014]圖1是本實用新型的軟啟動研磨盤結構視圖；
[0015]圖2是本實用新型的軟啟動研磨盤調壓器局部視圖；
[0016]圖中:1、氣缸，la，上腔，lb、下腔，2、氣桿，3、支架，4、研磨液輸送支管，5、研磨液輸送總管，6、動力機頭，7、傳動軸，8、上研磨盤，9、下研磨盤，10、液槽，11、工作箱，12、電磁閥，13、增壓泵，14、傳感器，15、過濾吸附機構，16、研磨液收集管，17、研磨液收集箱，18、調壓器，19、離心過濾器，20、散熱器。
【具體實施方式】
[0017]下面通過實施例結合附圖對本實用新型作進一步的描述。
[0018]實施例:
[0019]如圖1，2所示，本實施例所描述的一種軟啟動研磨盤，包括氣缸1，氣桿2，支架3，研磨液輸送支管4，研磨液輸送總管5，動力機頭6，傳動軸7，上研磨盤8，下研磨盤9，液槽10，工作箱11，電磁閥12，增壓泵13，傳感器14，過濾吸附機構15，研磨液收集管16，研磨液收集箱17，調壓器18，離心過濾器19和散熱器20，所述的動力機頭6與傳動軸7連接，所述的傳動軸7與上研磨盤8連接，所述的下研磨盤9固定在液槽10內，其特征在于:所述的氣缸I 一側設有調壓器18，所述的調壓器18與氣缸I的上腔Ia和下腔Ib連接。
[0020]進一步的，所述的上研磨盤8上設有多個均布的研磨液輸送通道，所述的液槽10下方設有研磨液收集管16，所述的研磨液收集管16與離心過濾器19連接。
[0021]進一步的，所述的離心過濾器19后設有過濾吸附機構15，所述的過濾吸附機構15為無紡布過濾機構。通過過濾吸附機構15的設置，使研磨液達到了二次過濾進一步減少了研磨液中的雜質。
[0022]進一步的，所述的研磨液輸送總管5與研磨液收集箱17，的下方連接。
[0023]進一步的，所述的研磨液輸送總管5上設有電磁閥12，通過電子閥12的設置，保證了研磨液輸送總管5對研磨液的輸送。
[0024]進一步的，所述的研磨液輸送總管5上設有增壓泵13，通過增壓泵13的設置，保證了研磨液輸送總管5的壓力，保證了研磨液輸送總管5的正常輸送研磨液。
[0025]進一步的，所述的研磨液輸送支管4上設有傳感器14，通過傳感器14的設置，防止了研磨機在無研磨液輸送的情況下對晶體片進行研磨，造成晶體片的損壞。
[0026]進一步的，所述的散熱器20在研磨液收集箱17的上方。
[0027]本實用新型中，當研磨液通過增壓泵13，泵入研磨液輸送總管5后，通過研磨液輸送支管4將研磨液輸送至上研磨盤8與下研磨盤9之間，隨后液槽10內的研磨液通過研磨液收集管16后進入離心過濾器19，隨后過濾后的研磨液再次經過無紡布過濾機構進行二次過濾后，研磨液進入散熱器20進行散熱，隨后研磨液進入研磨液收集箱14，當研磨完畢后，氣缸I使氣桿2上行，帶動上研磨盤8上行，通過調壓器18的設置，使氣缸I在泄壓時，達到緩慢泄壓的效果，防止了迅速泄壓導致上研磨盤8上有晶片，導致晶片到高處后損壞。
[0028]當氣缸I進行泄壓時，通過調壓器18對上腔進行增壓，導致氣桿2上行速度減緩。
[0029]當研磨液輸送支管4上傳感器14的感應到研磨液輸送支管4內無研磨液后，將信號發送至控制機構，使研磨機停止工作，防止了晶體片的損壞。
[0030]本實用新型中，通過調壓器的設置，可以調節氣缸前后之間的氣壓差，使得氣缸上下的氣壓差減小，從而使得氣缸在上升的過程中上升加速度減小，從而使得晶體片不易掉落，降低了報廢率。
[0031]本文中所描述的具體實施例僅僅是對本實用新型的構思作舉例說明。本實用新型所屬技術領域的技術人員可以對所描述的具體實施例做各種各樣的修改或補充或采用類似的方式替代，但并不會偏離本實用新型的精神或者超越所附權利要求書所定義的范圍。
【主權項】
1.一種軟啟動研磨盤，包括氣缸，氣桿，支架，研磨液輸送支管，研磨液輸送總管，動力機頭，傳動軸，上研磨盤，下研磨盤，液槽，工作箱，電磁閥，增壓泵，傳感器，過濾吸附機構，研磨液收集管，研磨液收集箱，調壓器，離心過濾器和散熱器，所述的動力機頭與傳動軸連接，所述的傳動軸與上研磨盤連接，所述的下研磨盤固定在液槽內，其特征在于:所述的氣缸一側設有調壓器，所述的調壓器與氣缸的上腔和下腔連接。
2.如權利要求1所述的軟啟動研磨盤，其特征在于:所述的上研磨盤上設有多個均布的研磨液輸送通道，所述的液槽下方設有研磨液收集管，所述的研磨液收集管與離心過濾器連接。
3.如權利要求1所述的軟啟動研磨盤，其特征在于:所述的離心過濾器后設有過濾吸附機構。
4.如權利要求3所述的軟啟動研磨盤，其特征在于:所述的過濾吸附機構為無紡布過濾機構。
5.如權利要求1所述的軟啟動研磨盤，其特征在于:所述的研磨液輸送總管與研磨液收集箱的下方連接。
6.如權利要求1所述的軟啟動研磨盤，其特征在于:所述的研磨液輸送總管上設有電磁閥。
7.如權利要求1所述的軟啟動研磨盤，其特征在于:所述的研磨液輸送總管上設有增壓栗O
8.如權利要求1所述的軟啟動研磨盤，其特征在于:所述的研磨液輸送支管上設有傳感器。
9.如權利要求1所述的軟啟動研磨盤，其特征在于:所述的散熱器在研磨液收集箱的上方。
【專利摘要】本實用新型涉及的一種軟啟動研磨盤，包括氣缸，氣桿，支架，研磨液輸送支管，研磨液輸送總管，動力機頭，傳動軸，上研磨盤，下研磨盤，液槽，工作箱，電磁閥，增壓泵，傳感器，過濾吸附機構，研磨液收集管和研磨液收集箱，所述的動力機頭與傳動軸連接，所述的傳動軸與上研磨盤連接，所述的下研磨盤固定在液槽內，其特征在于：所述的氣缸一側設有分流器，所述的分流器與氣缸的上腔和下腔連接。本實用新型中，通過調壓器的設置，可以調節氣缸前后之間的氣壓差，使得氣缸前后的氣壓差減小，從而使得氣缸在上升的過程中上升加速度減小，從而使得晶體片不易掉落，降低了報廢率。
【IPC分類】B24B37-34
【公開號】CN204584947
【申請號】CN201520095872
【發明人】章仁上
【申請人】德清晶生光電科技有限公司
【公開日】2015年8月26日
【申請日】2015年2月11日