一種有蠟貼片臺用甩蠟罩驅動裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于單晶硅襯底片拋光生產技術領域，主要涉及一種有蠟貼片臺用甩蠟罩驅動裝置。
【背景技術】
[0002]有蠟貼片是大直徑單晶硅襯底片化學機械拋光工藝中通用的技術手段，而在硅片上蠟過程中通過高速旋轉將蠟層均勻鋪開時用于回收和防止多余蠟外濺的甩蠟罩是有蠟貼片臺必要的部件。
[0003]目前在有蠟貼片生產過程中普遍用于不二越公司SCMM-19型有蠟貼片臺回收和防止多余蠟外濺的甩蠟罩驅動裝置是采用兩個氣缸牽引驅動甩蠟罩做上下運行，在硅片上蠟過程中，首先，甩蠟罩由兩個氣缸牽引降到真空吸盤以下，機械手將硅片放到真空吸盤上，然后滴蠟管移動到硅片中心上方給硅片供給一定量的液體蠟，接著再由氣缸牽引帶動甩蠟罩向上移動，將硅片置于甩蠟罩腔體內，這時硅片開始以高速旋轉的方式將蠟層鋪開，被甩掉的液體蠟由甩蠟罩承接，防止濺到周圍環境中造成污染。
[0004]上述這種雙氣缸牽引帶動甩蠟罩上下運動的方式在使用過程中發現許多問題，例如，兩個氣缸運行的速度都是由進/出氣量調節閥開合程度決定的，在實際操作中很難始終使兩個氣缸上下運行的速度調成一致，一旦兩個氣缸上下運行速度不一致時，兩個氣缸就會相互較勁，導致氣缸的損壞，發生漏氣、漏油的情況，進而破壞了裝片臺的潔凈環境；同時也會出現氣缸與甩蠟罩間固定螺栓損壞以及在甩蠟過程中液體蠟外濺的現象。
【實用新型內容】
[0005]鑒于現有技術中所存在的實際問題，本實用新型設計并公開了一種采用單氣缸帶動甩蠟罩上下運行的驅動裝置，以改變現有技術中由于雙氣缸運動速度不一致時導致氣缸損壞的問題和解決由于氣缸損壞所造成漏氣、漏油、甩蠟過程中液體蠟外濺的問題。
[0006]為實現上述發明目的，本實用新型采取的具體技術方案是:一種有蠟貼片臺用甩蠟罩驅動裝置，主要是由法蘭式直線軸承、法蘭式直線軸承固定支架、圓柱軸、甩蠟罩、固定螺栓、壓空進口調節閥、氣缸、壓空出口調節閥構成；其中兩個圓柱軸分別焊接在甩蠟罩頂部的兩端，一個圓柱軸通過固定螺栓與氣缸連接，另一個圓柱軸通過法蘭式直線軸承安裝在法蘭式直線軸承固定支架上，圓柱軸可在法蘭式直線軸承中上下移動，法蘭式直線軸承固定支架安裝在裝片臺的機體上，氣缸的上下兩端安裝有壓空進口調節閥和壓空出口調節閥。
[0007]本實用新型所述的一種有蠟貼片臺用甩蠟罩驅動裝置，設計結構簡單，安裝使用方便，采用單個氣缸牽引驅動甩蠟罩，使甩蠟罩上的圓柱軸在直線軸承中上下運行順暢，延長了氣缸的使用壽命，解決了因氣缸損壞所導致的漏氣、漏油的問題，提高了生產效率。
【附圖說明】
[0008]圖1為本實用新型的結構示意圖。
[0009]圖中:1、法蘭式直線軸承；2、液體蠟；3、圓柱軸；4、硅片；5、法蘭式直線軸承固定支架；6、甩蠟罩；7、固定螺栓；8、壓空進口調節閥；9、氣缸；10、壓空出口調節閥；11、真空吸盤；12、旋轉電機。
【具體實施方式】
[0010]下面結合附圖給出本實用新型的【具體實施方式】如下:
[0011]如圖1所示，本實用新型所述的一種有蠟貼片臺用甩蠟罩驅動裝置，主要是由法蘭式直線軸承1、圓柱軸3、法蘭式直線軸承固定支架5、甩蠟罩6、固定螺栓7、壓空進口調節閥8、氣缸9、壓空出口調節閥10構成；其中，兩個圓柱軸3分別焊接在甩蠟罩6頂部的兩端，一個圓柱軸3通過固定螺栓7與氣缸9連接，另一個圓柱軸3穿過法蘭式直線軸承安裝在法蘭式直線軸承固定支架5上，圓柱軸3可在法蘭式直線軸承I中上下移動，法蘭式直線軸承固定支架5裝在裝片臺的機體上；氣缸9的上下兩端安裝有壓空進口調節閥8和壓空出口調節閥10。本實用新型在實際操作使用時，由機械手將硅片4放到真空吸盤11上，滴蠟管給硅片4供給一定量的液體蠟2，由壓空進口調節閥8和壓空出口調節閥10調整氣缸9的上下運行速度。氣缸9上升時，驅動連接在氣缸9上的圓柱軸3和安裝在法蘭式直線軸承固定支架5上可在法蘭式直線軸承I中上下移動的圓柱軸3均速向上移動，帶動甩蠟罩6向上移動，將硅片4置于甩蠟罩腔體內，以防止旋轉電機12在高速旋轉時，硅片4上的液體蠟2飛濺到周圍環境中造成污染。
【主權項】
1.一種有蠟貼片臺用甩蠟罩驅動裝置，其特征是:所述的一種有蠟貼片臺用甩蠟罩驅動裝置，主要是由法蘭式直線軸承(1)、圓柱軸(3)、法蘭式直線軸承固定支架(5)、甩蠟罩(6)、固定螺栓(7)、壓空進口調節閥(8)、氣缸(9)、壓空出口調節閥(10)構成；其中，兩個圓柱軸(3)分別焊接在甩蠟罩(6)頂部的兩端位置，一個圓柱軸(3)通過固定螺栓(7)與氣缸(9)連接在一起，另一個圓柱軸(3)穿過法蘭式直線軸承(I)安裝在法蘭式直線軸承固定支架(5)上；法蘭式直線軸承固定支架(5)裝在裝片臺的機體上；氣缸(9)的上下兩端安裝有壓空進口調節閥(8)和壓空出口調節閥(10)。
2.根據權利要求1所述的一種有蠟貼片臺用甩蠟罩驅動裝置，其特征是:安裝在法蘭式直線軸承固定支架(5 )上的圓柱軸(3 )可在法蘭式直線軸承(I)中上下移動。
【專利摘要】一種有蠟貼片臺用甩蠟罩驅動裝置，適用于單晶硅襯底片拋光生產過程中，有蠟貼片臺回收和防止多余蠟外濺。本實用新型通過壓空進口調節閥（8）和壓空出口調節閥（10）控制氣缸（9）上下運行速度，氣缸（9）上升時驅動連接在氣缸（9）上的圓柱軸（3）和安裝在法蘭式直線軸承固定支架（5）上并可在法蘭式直線軸承（1）中上下移動的圓柱軸（3）均速向上移動的同時帶動甩蠟罩（6）向上移動，將硅片（4）置于甩蠟罩腔體內，以防止在高速運轉時硅片（4）上的液體蠟（2）向外飛濺并回收液體蠟（2）。本實用新型采用由一個氣缸（9）牽引驅動甩蠟罩（6）上下移動的結構設計使甩蠟罩上下運行均速、順暢，解決了因雙氣缸驅動產生的運行速度不一致而造成的氣缸損壞問題，本實用新型結構簡單，使用方便。
【IPC分類】B24B37-34
【公開號】CN204565868
【申請號】CN201520191341
【發明人】胡曉亮, 趙文龍, 高燁, 崔小換
【申請人】麥斯克電子材料有限公司
【公開日】2015年8月19日
【申請日】2015年4月1日