一種晶體頻率微調機的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種晶體制備裝置，特別涉及一種晶體頻率微調機。
【背景技術】
[0002]晶體一次成型后其頻率有的達標有的會不達標，因此需要對晶體頻率進行微調。現有技術中的頻率微調機的擋板在微調圈和蒸發艙之間，鉬舟離得遠，因此噴得散，銀皮容易夾在微調圈和蒸發艙之間，因此對銀的浪費比較大，不容易清理，并且噴射效果不好。
【發明內容】
[0003]本實用新型所要解決的技術問題是針對現有技術的不足，提供一種設計合理，使用方便的晶體頻率微調機。
[0004]本實用新型所要解決的技術問題是通過以下的技術方案來實現的，本實用新型是一種晶體頻率微調機，包括設在工作臺上的底盤，底盤上罩有真空罩，真空罩內形成真空腔室，在底盤的下方設有與真空腔室相連的抽真空機組，其特點是:在真空腔室內設有旋轉盤，旋轉盤上裝有固定晶體的微調圈，在微調圈內設有蒸發艙，在微調圈外設有與蒸發艙配合的頻率測試頭，正對頻率測試頭的蒸發艙前艙壁上設有噴射孔，在蒸發艙內設有蒸鍍機構，蒸鍍機構與蒸發艙前艙壁之間設有與噴射孔配合的擋板。
[0005]本實用新型所要解決的技術問題還可以通過以下的技術方案來進一步實現，所述的晶體頻率微調機中:所述蒸鍍機構包括兩個鉬舟和兩個電極柱，兩個鉬舟分別通過鉬桿與同側的電極柱相連。
[0006]本實用新型所要解決的技術問題還可以通過以下的技術方案來進一步實現，所述的晶體頻率微調機中:在蒸發艙的后方設有驅動擋板左右運動的電磁裝置，所述的電磁裝置包括兩根水平設置并正對的電磁桿，兩根電磁桿之間設有吸附間隙，在吸附間隙處設有穿過蒸發艙的后艙壁與擋板相連的金屬檔桿。
[0007]本實用新型所要解決的技術問題還可以通過以下的技術方案來進一步實現，所述的晶體頻率微調機中:所述的微調圈包括圈體，在圈體的上部沿其周向方向設有若干豎向設置的晶體安裝槽，在圈體的底部設有若干安裝孔。
[0008]本實用新型通過將擋板設在蒸鍍機構與蒸發艙前艙壁之間，這樣減少鉬舟距晶體的距離，使鉬舟噴出的銀集中、不分散，同時被擋住的銀皮留存在擋板上，這樣方便清理，不會出現堵塞現象。與現有技術相比，其結構合理，使用方便，可以調高生產效率，節約生產成本。
【附圖說明】
[0009]圖1是本實用新型的一種俯視結構示意圖。
【具體實施方式】
[0010]以下參照附圖，進一步描述本實用新型的具體技術方案，以便于本領域的技術人員進一步地理解本發明，而不構成對其權利的限制。
[0011]參照圖1，一種晶體頻率微調機，包括設在工作臺7上的底盤1，底盤I上罩有真空罩，真空罩內形成真空腔室，在底盤I的下方設有與真空腔室相連的抽真空機組。在真空腔室內設有旋轉盤，旋轉盤上裝有固定晶體的微調圈9。微調圈9包括圈體，在圈體的上部沿其周向方向設有若干豎向設置的晶體安裝槽，在圈體的底部設有若干安裝孔，旋轉盤上裝有支柱，圈體上的安裝孔插裝在支柱上。
[0012]在微調圈9內設有蒸發艙2，在微調圈9外設有與蒸發艙2配合的頻率測試頭5，正對頻率測試頭5的蒸發艙2前艙壁上設有噴射孔，在蒸發艙2內設有蒸鍍機構，蒸鍍機構包括兩個鉬舟6和兩個電極柱3，兩個鉬舟6分別通過鉬桿與同側的電極柱3相連。蒸鍍機構與蒸發艙2前艙壁之間設有與噴射孔配合的擋板4。在蒸發艙2的后方設有驅動擋板4左右運動的電磁裝置，所述的電磁裝置包括兩根水平設置并正對的電磁桿10，兩根電磁桿10之間設有吸附間隙，在吸附間隙處設有穿過蒸發艙2的后艙壁與擋板4相連的金屬檔桿
8 ο 8 ο
[0013]使用時，將晶體放在微調圈9的晶體安裝槽中，然后將微調圈9放到旋轉盤中，蓋上真空罩。啟動設備，鉬舟6加熱、噴銀，電磁桿10通電，吸附金屬檔桿8，使金屬檔桿移動或歸位，從而使擋板4按一定的頻率擋住噴射孔或離開噴射孔。需要噴銀時擋板4離開噴射孔，不需要噴銀時擋住噴射孔，這樣直到整個微調圈9上的晶體頻率都微調好。
【主權項】
1.一種晶體頻率微調機，包括設在工作臺上的底盤，底盤上罩有真空罩，真空罩內形成真空腔室，在底盤的下方設有與真空腔室相連的抽真空機組，其特征在于:在真空腔室內設有旋轉盤，旋轉盤上裝有固定晶體的微調圈，在微調圈內設有蒸發艙，在微調圈外設有與蒸發艙配合的頻率測試頭，正對頻率測試頭的蒸發艙前艙壁上設有噴射孔，在蒸發艙內設有蒸鍍機構，蒸鍍機構與蒸發艙前艙壁之間設有與噴射孔配合的擋板。
2.根據權利要求1所述的晶體頻率微調機，其特征在于:所述蒸鍍機構包括兩個鉬舟和兩個電極柱，兩個鉬舟分別通過鉬桿與同側的電極柱相連。
3.根據權利要求1所述的晶體頻率微調機，其特征在于:在蒸發艙的后方設有驅動擋板左右運動的電磁裝置，所述的電磁裝置包括兩根水平設置并正對的電磁桿，兩根電磁桿之間設有吸附間隙，在吸附間隙處設有穿過蒸發艙的后艙壁與擋板相連的金屬檔桿。
4.根據權利要求1所述的晶體頻率微調機，其特征在于:所述的微調圈包括圈體，在圈體的上部沿其周向方向設有若干豎向設置的晶體安裝槽，在圈體的底部設有若干安裝孔。
【專利摘要】本實用新型是一種晶體頻率微調機，包括設在工作臺上的底盤，底盤上罩有真空罩，真空罩內形成真空腔室，在底盤的下方設有與真空腔室相連的抽真空機組，在真空腔室內設有旋轉盤，旋轉盤上裝有固定晶體的微調圈，在微調圈內設有蒸發艙，在微調圈外設有與蒸發艙配合的頻率測試頭，正對頻率測試頭的蒸發艙前艙壁上設有噴射孔，在蒸發艙內設有蒸鍍機構，蒸鍍機構與蒸發艙前艙壁之間設有與噴射孔配合的擋板。本實用新型通過將擋板設在蒸鍍機構與蒸發艙前艙壁之間，這樣減少鉬舟距晶體的距離，使鉬舟噴出的銀集中、不分散，同時被擋住的銀皮留存在擋板上，這樣方便清理，不會出現堵塞現象。
【IPC分類】C23C14-54, C23C14-04
【公開號】CN204474744
【申請號】CN201520127692
【發明人】王驥, 關維國, 朱木典, 朱柳典, 許萍, 白長庚
【申請人】江蘇海峰電子有限公司
【公開日】2015年7月15日
【申請日】2015年3月5日