一種新型掩膜板結構的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及真空蒸鍍技術領域，具體涉及一種新型掩膜板結構。
【背景技術】
[0002]有機電致發光二極管(Organic Light-Emitting D1des，簡稱0LED)是自發光器件，不需要背光源，外觀輕、薄，而傳統的液晶顯示器(LCD)需要背光源才能工作，外觀尺寸較厚。有機發光二極管顯示器的功耗低，視角寬，屏幕響應快，是最能符合人們未來對顯示器功能要求的技術。因此，有機發光二極管有望在不久的將來取代液晶顯示器，具有很高的市場潛力。
[0003]有機小分子發光二極管在制作過程中，目前較成熟的技術是采用真空蒸鍍技術，在器件制備過程中，有機材料會淀積在位于蒸發源上方的基板上，為形成特有的圖案，在基板下方緊貼有掩膜版，掩膜版上留有預先設計排版好的開口，最終有機材料會通過掩膜版上的開口區域，淀積到基板上面。
[0004]掩膜板的淹沒部在重力作用下有一定的下垂量，在重復使用過程中掩膜部液容易松弛變形，通常使用的方法是先對掩膜部進行拉伸張緊，用以控制其下垂量，然后再焊接固定到框架上。參照圖1所示，傳統的掩膜板結構中掩膜部包括鍍膜開口區10和非鍍膜區20，非鍍膜區20設置在鍍膜開口區10四周，在所述掩膜部上對稱且方向相反設置一組拉伸區域30，該拉伸力的受力區域為一整條邊界，因而在拉伸過程中，整個掩膜部的受力不均勻，因而會影響鍍膜開口區10的開口精度。
【實用新型內容】
[0005]本實用新型所要解決的技術問題通過以下技術方案予以實現:
[0006]一種新型掩膜板結構，包括:具有鍍膜開口區的掩膜部，所述掩膜部對稱且方向相反的設置多組拉伸張緊部。
[0007]進一步地，所述拉伸張緊部中相鄰拉伸張緊部之間的過渡區域為曲線狀。
[0008]進一步地，所述掩膜部呈長方形，所述拉伸張緊部設置在長方形的短邊上。
[0009]進一步地，所述掩膜板的材料為金屬。
[0010]進一步地，金屬為鐵镲合金。
[0011]進一步地，所述掩膜板結構還包括框架，所述掩膜部焊接固定在所述框架上。
[0012]本實用新型具有如下有益效果:提出一種掩膜部對稱且方向相反的設置2個或2個以上拉伸張緊部施加拉伸力的掩膜板結構，各個拉伸張緊部上的拉伸力的大小可以分別控制，從而實現控制開口精度的目的，拉伸張緊部之間過渡的區域為曲線，使各拉伸張緊部上拉伸力均勻的傳遞到掩膜板內部，避免出現應力集中而導致的變形。
【附圖說明】
[0013]圖1為傳統的掩膜板結構示意圖；
[0014]圖2為本實用新型新型掩膜板結構的實施例的示意圖；
[0015]圖3為本實用新型新型掩膜板結構的優選實施例的示意圖。
【具體實施方式】
[0016]下面結合附圖和實施例對本實用新型進行詳細的說明。
[0017]本實施例中以長方形掩膜板具體說明本實用新型的結構及工作原理。
[0018]圖2為新型掩膜板結構的實施例的示意圖，如圖2所示，該新型掩膜板結構包括框架及掩膜部，該掩膜部包括鍍膜開口區I和非鍍膜區2，該鍍膜開口區I包括平行或隨機設置的條形開口或矩陣型分布的點狀開口 ；其開口形狀也可以為梯形、三角形、半弧形等其他形狀，但不僅限于此。所示鍍膜開口區I的開口四周外圍設置非鍍膜區2，所示鍍膜開口區I與非鍍膜區2在同一平面上。所述掩膜板的材料為金屬材料，包括鐵鎳合金材料，但不僅限于此。
[0019]在所述掩膜部上對稱且方向相反的設置2組拉伸張緊部3，拉伸張緊部3設置在非鍍膜區2上。其中垂直設置的兩條中心線中較短的那一條作為拉伸張緊部的對稱軸，拉伸張緊部設置在長方形的短邊上。相鄰的拉伸張緊部3與拉伸張緊部3之間通過過渡區域曲線4連接，該曲線4可以為半圓弧形，但不僅限于此。此種設計拉伸力的受力區域為每一拉伸張緊部3，此拉伸張緊部3與過渡區域曲線4均對稱且方向相反的分布，施加在每一組拉伸張緊部3上的拉伸力大小相等，方向相反。此拉伸張緊部3因承受拉力可以增加墊片或做適當的增厚。
[0020]此種設計方式可以分別控制每組拉伸張緊部3的拉伸力，從而掩膜板鍍膜開口區I的開口形變量可根據測量結果進行調整，達到控制開口精度的目的，又因拉伸張緊部3之間過渡的區域為曲線4，曲線狀的設計可以使力的過渡更加自然，可相對均勻的傳遞到掩膜板的內部，避免了傳統拉伸張緊方式造成的應力集中的問題，進一步的防止拉伸變形。
[0021]圖3為本實用新型新型掩膜板結構的優選實施例的示意圖，如圖3所示該新型掩膜板結構包括框架及掩膜部，該掩膜部包括鍍膜開口區100和非鍍膜區200，該鍍膜開口區100包括平行或隨機設置的條形開口或矩陣型分布的點狀開口 ；其開口形狀也可以為梯形、三角形、半弧形等其他形狀，但不僅限于此。所示鍍膜開口區100的開口四周外圍設置非鍍膜區200，所示鍍膜開口區100與非鍍膜區200在同一平面上。所述掩膜板的材料為金屬材料，包括鐵鎳合金材料，但不僅限于此。
[0022]在所述掩膜部上對稱且方向相反的設置3組拉伸張緊部300，拉伸張緊部300設置在非鍍膜區200上。其中垂直設置的兩條中心線中較短的那一條作為拉伸張緊部的對稱軸，拉伸張緊部設置在長方形的短邊上。相鄰的拉伸張緊部300與拉伸張緊部300之間通過過渡區域曲線400連接，該曲線400可以為半圓弧形，但不僅限于此。此種設計拉伸力的受力區域為每一拉伸張緊部300，此拉伸張緊部300與過渡區域曲線400均對稱且方向相反的分布，施加在每一組拉伸張緊部300上的拉伸力均大小相等，方向相反。此拉伸張緊部300因承受拉力可以增加墊片或做適當的增厚。
[0023]更優選地，在所述掩膜部上對稱且方向相反的設置更多組拉伸張緊部，相鄰的拉伸張緊部與拉伸張緊部之間過渡區域為曲線，在每組拉伸張緊部上施加大小相等，方向相反的拉伸力。
[0024]本實用新型的設計原理為:
[0025]參照圖1所示的傳統的掩膜板結構，其拉伸力的受力點為一整條邊界中一點處，其拉伸力F從該點開始向整個面擴散，則在該點的拉伸力F會最大，隨著與該點的距離越來越大則拉伸力F越來越小。則拉伸力度無法保證均勻，則開口區的精度受到影響。
[0026]參照圖2、圖3，在拉伸邊界上設置2個、3個以及多個拉伸張緊部，并通過曲線連接，分別在每組拉伸張緊部上施加拉伸力F1、F2、F3......，此時整個拉伸力F被分解為:F=F1+F2+F3......，將整個拉伸面分解成多個拉伸張緊部，相鄰拉伸張緊部之間通過曲線相連接，這樣作用在拉伸張緊部上的拉伸力則可以均勻的傳遞到掩膜部內部，并且Fl、F2、F3......可以根據需要進行調整，可以更加精確的控制其開口區的精度，
更好的防止拉伸變形。
[0027]以上所述實施例僅表達了本實用新型的實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對本實用新型專利范圍的限制，但凡采用等同替換或等效變換的形式所獲得的技術方案，均應落在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種新型掩膜板結構，包括:具有鍍膜開口區的掩膜部，其特征在于:所述掩膜部上對稱且方向相反的設置有至少兩組拉伸張緊部。
2.根據權利要求1所述的新型掩膜板結構，其特征在于，所述拉伸張緊部中相鄰拉伸張緊部之間的過渡區域為曲線狀。
3.根據權利要求1所述的新型掩膜板結構，其特征在于，所述掩膜部呈長方形，所述拉伸張緊部設置在長方形的短邊上。
4.根據權利要求1所述的新型掩膜板結構，其特征在于，所述掩膜板的材料為金屬。
5.根據權利要求4所述的新型掩膜板結構，其特征在于，所述金屬為鐵鎳合金。
6.根據權利要求1所述的新型掩膜板結構，其特征在于，所述掩膜板結構還包括框架，所述掩膜部焊接固定在所述框架上。
【專利摘要】本實用新型公開了一種新型掩膜板結構，包括具有鍍膜開口區的掩膜部，所述掩膜部對稱且方向相反的設置多組拉伸張緊部，相鄰的拉伸張緊部之間通過曲線相連，每組拉伸張緊部的受力大小相等方向相反，同時拉伸張緊部的拉伸力可以分別控制，從而實現掩膜板開口變形量可根據測量結果進行調整，達到控制開口精度的目的。
【IPC分類】C23C14-04, C23C14-24
【公開號】CN204434720
【申請號】CN201520014245
【發明人】馬得貴, 吳俊雄, 冉應剛, 柯賢軍, 蘇君海
【申請人】信利（惠州）智能顯示有限公司
【公開日】2015年7月1日
【申請日】2015年1月9日